【課題】光てこ方式又は自己検知型の変位検出ではないカンチレバーの変位検出機構ならびにそれを用いた走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】ＬＣ共振器とＦ−Ｖ変換器とから構成されるカンチレバー変位検出器により、カンチレバーと試料表面との間の静電容量変化を検出することで、カンチレバーの変位を検出可能とした。これにより光を遮断した状態で形状測定や物性測定が可能となり、更には光の有無による試料の形状や物性情報の変化を測定可能とした。 （もっと読む）