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国際特許分類[G01Q20/02]の内容

国際特許分類[G01Q20/02]に分類される特許

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動的なプローブ検出システム(29、32)は、試料表面に向かっておよび試料表面から離れて繰り返し動かされるプローブ(18)を含むタイプの走査型プローブ顕微鏡とともに使用するためのものである。試料表面が走査されると、干渉計(88)がプローブから反射された光(80a、80b、80c)と高さ基準ビームとの間の経路差を示す出力高さ信号を生成する。信号処理装置は、高さ信号を監視し、プローブの高さを示す各振動サイクルの測定値を導出する。これは、平均化またはフィルタリングに頼らずに、試料の画像を形成するために使用され得る試料の高さを表す測定値の抽出を可能にする。この検出システムはまた、フィードバックパラメータの平均値を設定されたレベルに維持するように動作可能なフィードバック機構を含むことができる。
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走査型プローブ顕微鏡とともに使用するプローブ検出システム(74)は、高さ検出システム(88)およびたわみ検出システム(28)の両方を備える。試料表面が走査される際、顕微鏡プローブ(16)から反射された光が2つの成分に分割される。第1の成分(84)は、たわみ検出システム(28)によって分析され、走査時に平均のプローブたわみを実質的に一定に維持するフィードバックシステムで使用される。第2の成分(86)は、高さ検出システム(88)によって分析され、固定の基準点上方のプローブの高さの指示が得られ、それにより試料表面の画像が得られる。このような複式検出システムは、フィードバックシステムが画素位置間でプローブ高さを調整するために必要な速度で応答することができない、高速の走査アプリケーションで使用するのに特に適する。
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