【課題】走査型プローブ顕微鏡におけるカンチレバーの初期取り付け時およびカンチレバーの交換時の光軸調整作業を容易にする。
【解決手段】光軸調整作業時、ビデオカメラ画像上でカンチレバーおよびレーザ光輝度重心位置にマーカを表示し、レーザ光位置の移動に追随するマーカを目視しながら重ね合わせる。また、初期光軸調整後に記憶したマーカ位置座標データを用いて、新規カンチレバーの光軸調整を行う。さらに目標位置座標を設定することにより、レーザ光の移動方向と目標位置までの距離を数値で認識する。 （もっと読む）

【課題】ＸＹ走査時に生じる慣性力に起因する振動ノイズが低減された検出光追従型の走査機構を提供する。
【解決手段】走査機構１０は、固定枠１１と、ＸＹ方向に移動可能なＸＹ可動部１４を有するＸＹステージ１３と、ＸＹ可動部１４をＸＹ方向に走査するＸＹアクチュエータを構成する圧電素子１２Ａ，１２Ｂを有している。走査機構１０はまた、ＸＹ可動部１４に保持された圧電素子２１と、圧電素子２１に保持されたホルダ２２と、ホルダ２２に保持されたカンチレバー２３を有している。圧電素子２１は、カンチレバー２３をＺ方向に走査するＺアクチュエータを構成している。走査機構１０はさらに、ＸＹ可動部１４に保持された集光部２５を有している。集光部２５は、カンチレバー２３の変位を検出するための光をカンチレバー２３に入射させる働きをする。圧電素子２１と集光部２５は、Ｘ−Ｙ平面への投影において並ぶように配置されている。 （もっと読む）

【課題】測定に必要な干渉信号のＳ／Ｎを低下させることなく、高精度な光干渉測定を実行可能な光干渉測定装置を提供すること。
【解決手段】第一面１２Ａから内部を透過して第二面１２Ｂへ直角に入射される透過光の一部を反射して参照光５４にするとともに、反射しないで透過光を第二面１２Ｂから出射する参照鏡１２と、第二面１２Ｂからの透過光の進行方向に沿って変位自在で、透過光を反射する可変反射体３６と、可変反射体３６からの反射光のうち参照鏡１２を透過する光を測定光５６として、該測定光５６と参照光５４との干渉光５８を検出する干渉光検出手段３０とを備える。参照鏡１２と可変反射体３６との間に光減衰手段７６を配置する。光減衰手段７６は、参照鏡１２と可変反射体３６との間を往復する光を減衰させて、ここで生じる多重反射光７５による干渉ノイズを低減する。 （もっと読む）

【課題】 測定対象が変わっても測定対象の反射率などの光学特性、あるいは形状や機械的特性に依存せずに検出感度やノイズの割合が調整可能で、測定対象への照射光による測定対象の熱変形の影響が小さくでき、最適な条件下で測定精度を確保することが可能な光学式変位検出方法を提供する。
【解決手段】 測定対象となるカンチレバー６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０からカンチレバー６に照射した後の光を受光し、光強度を検出する光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の増幅率で増幅する増幅器２２から構成される光学式変位検出機構において、光強度調整器２８と増幅率調整器２７を設けカンチレバー６への照射光強度や光検出器１６の増幅率を調整できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 光源からの光を測定対象や光検出器の受光面へ位置合わせを行う際に、位置合わせを容易に、かつ確実に行うことが可能な光学式変位検出機構のスポット光の位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】 測定対象となるカンチレバー６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０からカンチレバー６に照射した後の光を受光し、光強度を検出する光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の利得で増幅する増幅器２２から構成される光学式変位検出機構において、光検出器１６で検出される検出感度を利得（増幅率）調整器を用いて実際に測定対象を測定する時よりも小さい値に設定して、光検出器１６の所定の位置に光検出器用位置決め機構１８により光のスポット２０の位置決めを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】 光源の出力を大きくして光路上の光の伝達効率を高めることで、光検出器の受光面への入射光量を大きくし、検出感度に対するショットノイズやジョンソンノイズの割合を少なくするような変位検出方法を提供する。
【解決手段】 測定対象６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０から測定対象６に照射した後の光を受光し電気信号に変換して光強度を検出する半導体よりなる光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の増幅率で電流／電圧変換する電流／電圧変換回路を含む増幅器２２からなる光学式の変位検出機構９において、スペクトルの半値幅が１０ｎｍ以上となる光源１０を用いて、光源１０の強度を２ｍＷ以上で駆動してもモードホップノイズや戻り光ノイズの発生を抑えるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で小型化することができ、被測定物Ｗを適切に観察することができるプローブ顕微鏡の提供。
【解決手段】プローブ顕微鏡１は、探針２１を有するカンチレバー２と、変位検出光学系３と、観察光学系４と、対物レンズ６Ａとを備える。変位検出光学系３は、第１の光源３１と、光検出素子３５とを備える。観察光学系４は、第２の光源４１Ａと、結像レンズ４２と、カメラ４３とを備える。第２の光源４１Ａは、第１の光源３１と異なる波長の光を射出する。対物レンズ６は、第１の光源３１から射出される光の波長に対してカンチレバー２の位置を焦点とし、且つ、第２の光源４１Ａから射出される光の波長に対して被測定物Ｗの位置を焦点とする。 （もっと読む）

【課題】剛性のない被測定物の形状を高精度に測定できる原子間力顕微鏡を提供する。
【解決手段】原子間力顕微鏡１００は、先端に探針１４２を有するカンチレバー１３０と、カンチレバー１３０を支持する支持部１１０と、カンチレバー１３０に振動を与える振動発生部１２０とを備えている。カンチレバー１３０は、基端側に位置する基端側部１３２と、探針側に位置する探針側部１３６とを有している。探針側部１３６は基端側部１３２から屈折して延びている。基端側部１３２と探針側部１３６は、一方が他方に対して整数倍の固有振動数を有している。 （もっと読む）

【課題】小型ながら検出感度が高い光テコ方式カンチレバー変位検出機構を提供する。
【解決手段】カンチレバー１３０は先端に探針１３６を有し、支持部材１１０に片持ち支持されている。支持部材１１０は、カンチレバー１３０から間隔を置いてカンチレバー１３０に対向して延びた固定反射部１１４を有している。光源１７０から射出された光ビームは、固定反射部１１４に設けられた透光部１１８を通ってカンチレバー１３０に入射し、カンチレバー１３０の反射面１３８と固定反射部１１４の反射面１１６とによって繰り返し反射されたのち、光センサー１８０に入射する。この繰り返し反射は、カンチレバー１３０の反射面１３８による複数回の反射を含んでいる。光センサー１８０は、カンチレバー１３０の変位によって引き起こされる光ビームの入射位置の変化を反映した信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】ＡＦＭ測定方法及びＡＦＭ測定システムが提供される。
【解決手段】光源から入射光が照射される基板の上の複数個の地点にカンチレバーの先端を提供し、前記入射光によって前記カンチレバーの先端と前記基板との間で発生された散乱光の強度を測定し、前記散乱光の強度をデータ処理部へ入力して前記入射光の強度が最高である地点を探す。前記カンチレバーの先端を前記入射光の強度が最高である地点へ移動させる。 （もっと読む）