【課題】 プローブの振動に基づく電流である振動成分を感度良く検出する振動成分検出方法、及び、該振動成分検出方法を用いることで、測定感度が高い原子間力顕微鏡を提供する。
【解決手段】２つの振動腕部６ａ，６ｂを有する電歪素子により構成された試料３の表面を走査するプローブ６を備え、振動腕部６ａ，６ｂ夫々に設けられた電極７ａ，７ｂからの２つの検知信号の差分を求めることで、該２つの検知信号間で同相に出現する擾乱成分を除去し、逆相で発生するプローブ６の振動に基づく振動成分を検出して処理信号を生成する差動増幅回路９と、該差動増幅回路９で生成した処理信号に基づき試料３の情報を検出する周波数検出回路１１を備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロマシン構成部材の片持梁の幅を大幅に減じることにより、より高い周波数に適したものにするための方法を提案する。
【解決手段】少なくとも１つの第１の給電線路４１が第１の平坦な面２１に配置されており、少なくとも１つの第２の給電線路４２が、第１の平坦な面２１とは反対側に配置された、片持梁の第２の平坦な面２２に配置されており、第１の給電線路４１が第１の平坦な面２１において機能エレメント３まで延びており、第２の給電線路４２が、第１の平坦な面２１と第２の平坦な面２２との間の局所的な電気接続部４３，４３１，４３２を有する。 （もっと読む）

【課題】メゾスコピック領域での高精度且つ高ダイナミックレンジでの物質表面状態の評価を行うことができるプローブを実現する。
【解決手段】ビーム先端部にチップ２２、３２、４２が下向きに形成され、ビーム基端部が支持部材１２、１４、１６を介してベースプレート１０の下面に支持された、共振周波数が異なる複数のカンチレバー２０、３０、４０が、共振周波数が最低の第１カンチレバー２０から最高の最終カンチレバー４０まで、チップ先端が同一直線Ｃ上に一致するように順次配設されていると共に、前記各カンチレバーの上下方向の変位を検出する変位検出手段２４、２６等と、第２カンチレバー以降の各カンチレバーに、自カンチレバーより低い共振周波数のカンチレバーによる測定結果に基づいて上下方向のオフセットを設定するオフセット設定手段３８、４８と、を備えた高ダイナミックレンジプローブ。 （もっと読む）

【課題】環境測定装置において、圧電抵抗型カンチレバーセンサを用いる場合に、周辺環境の気体や液体の検出又は測定の精度を向上させることができるようにする。
【解決手段】環境測定装置を、圧電抵抗型カンチレバーセンサ１と、圧電抵抗型カンチレバーセンサ１の印加電圧をｏｎ／ｏｆｆが繰り返されるように制御し、圧電抵抗型カンチレバーセンサ１の印加電圧をｏｎにしている期間に検出又は測定された圧電抵抗型カンチレバーセンサ１の圧電抵抗値に基づいて周辺環境の気体又は液体を検出又は測定する制御演算部５とを備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】形状の制約なしに３次元の立体形状を測定することが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】カンチレバー１１と、カンチレバーホルダ１４と、サンプルホルダ８と、サンプル９表面の任意の２次元面内で探針１０を相対的に移動させる水平方向微動機構４と、２次元面に垂直な方向に探針１０とサンプル９を相対的に移動させる垂直方向微動機構１５と、カンチレバー１１の撓み量を検出するための変位検出機構２２を有する走査型プローブ顕微鏡において、変位検出機構をカンチレバー１１に組み込み、カンチレバー１１の長軸に直交し探針１０先端を通る軸が、２次元平面に直交する任意の平面内となるように前記カンチレバー１１を配置し、サンプル９表面の被測定面が、水平方向微動機構４の移動面と略平行になるようにサンプル９とカンチレバー１１の相対位置を規定する角度調整機構を含む位置決め機構（３、５，６，７，１７）を設けた。 （もっと読む）

ある方法及び装置が、たとえば音叉などが大気中または液体中で使用される非光学的フィードバック機構（１．２）を有する走査プローブ顕微鏡を可能にする。本発明の実施形態は、上側または下側から幾何学的に本質的にレンズ（１．３）を妨害しないで、サンプルと相互に作用する当該プローブとの自由なアクセスを可能にする方法において、非光学的フィードバック機構を一体化できる走査型装置の幾何学的構造を必要とする。１つのそのような実施形態において、ｘ、ｙ及びｚでのスキャナー（１．１）は、非光学的フィードバック機構が液体中または大気中いずれかに存在する構造を有するプローブを移動させることができ、カンチレバー型プローブまたは直線プローブを使用できる。当該システムはまた、液体中及び／または大気中で動作できる複数の独立した走査プローブ顕微鏡プローブを用いて構成される。
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カンチレバーが窒化ケイ素または炭化ケイ素を含み、かつピエゾ抵抗器がドープ（doped）ケイ素を含む、少なくとも一つの該ピエゾ抵抗器を備える少なくとも一つの該カンチレバーを備える装置が記載される。そのような装置を製造および使用するための方法も提供される。

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