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国際特許分類[G01Q30/02]の内容

国際特許分類[G01Q30/02]に分類される特許

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【課題】簡易な方法で確実にステージ上におけるマスクの微小スリップを検出可能とするとともに、検出されたスリップ量に基づいて荷電粒子ビームの補正を行うことができる荷電粒子ビーム描画装置及びマスクの微小スリップ検出方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームBの偏向を制御して、かつ自在にステージを制御して任意の原画パターンをマスク上に描画するための描画動作を制御するための制御計算機31を備える電子ビーム描画装置1であって、電子ビームBによってパターンが描画されるマスクMと、マスクMを3点支持部材64にて支持するマスク保持機構62と、マスク保持機構62及びマスクMを水平方向に加速移動させるステージ61と、電子ビームで描画される表面に対するマスク裏面とマスク保持機構62との間に設置され、マスクMの微小スリップの有無を検出する原子間力顕微鏡65とを備える。 (もっと読む)


【課題】XY走査時に生じる慣性力に起因する振動ノイズが低減された検出光追従型の走査機構を提供する。
【解決手段】走査機構10は、固定枠11と、XY方向に移動可能なXY可動部14を有するXYステージ13と、XY可動部14をXY方向に走査するXYアクチュエータを構成する圧電素子12A,12Bを有している。走査機構10はまた、XY可動部14に保持された圧電素子21と、圧電素子21に保持されたホルダ22と、ホルダ22に保持されたカンチレバー23を有している。圧電素子21は、カンチレバー23をZ方向に走査するZアクチュエータを構成している。走査機構10はさらに、XY可動部14に保持された集光部25を有している。集光部25は、カンチレバー23の変位を検出するための光をカンチレバー23に入射させる働きをする。圧電素子21と集光部25は、X−Y平面への投影において並ぶように配置されている。 (もっと読む)


【課題】優れたレーザーアトムプローブシステム、およびレーザーアトムプローブトモグラフィによって試料を分析するための方法を提供する。
【解決手段】レーザーアトムプローブシステムは、チップ形状を有する分析試料2を取り付けるように構成した試料ホルダ3と、検出器4と、試料ホルダ3と検出器4との間に配置された電極1と、試料チップと電極との間に電位差を印加するように構成した電源1と、レーザービームを試料チップに横方向から照射するように構成したレーザーシステム5と、試料チップの形状を検出および測定するように構成したチップ形状監視手段10、ならびに/または試料チップの形状を維持、復元もしくは制御するために、前記レーザービームの1つ以上のレーザーパラメータを変更および/もしくは制御するための手段とを備えた。 (もっと読む)


【課題】
走査プローブ顕微鏡において,走査時に走査機構の非駆動方向すなわち上下方向の変動により、試料のプロファイルを高精度に測定することが,困難であった。
【解決手段】
試料ステージ側の裏側に試料ステージの水平方向走査時の非駆動方向への上下動を測定するための高精度変位計を備え、この結果によって、探針による試料表面形状測定結果を補正することで、試料のnm以下のオーダ精度をもつ高精度な平坦性評価を可能とした。 (もっと読む)


【課題】装着されるケーブル付きの付属機器に制約を生じることなく、安価で汎用性の高い複合顕微鏡を実現する。
【解決手段】レボルバ15に対物レンズ18と、ケーブル31が接続されるSTM検出部30を混在させて装着する複合顕微鏡10において、レボルバ15の回転中心軸15aの近傍でケーブル31を保持するケーブル保持部材43を設け、STM検出部30に特別な改造等を必要とすることなく、低コストかつ高い汎用性にてレボルバ15の回動時のケーブル31の遊動による経路変動等によるケーブル31やSTM検出部30における好ましくない負荷の発生を防止する。 (もっと読む)


【課題】試料の高さ方向のばらつきを検査する。
【解決手段】試料29を保持するホルダ211と、ホルダ211に保持された試料29帯電処理する帯電制御部23と、ホルダ211に保持された試料29に電圧を印加するリターディング電源24と、リターディング電源24により電圧が印加された試料29に向けて電子線を照射して、試料29の表面近傍で引き戻されたミラー電子を結像させる電子光学系20と、ミラー電子を結像させることで得られたミラー画像を画像処理する画像処理部27と、を有する。画像処理部27は、ミラー電子を結像させることで得られたミラー画像と、予め用意された標準品のミラー画像との差に応じた情報を、試料29の高さ方向のばらつきとして出力する。 (もっと読む)


【課題】簡素な構成で小型化することができ、被測定物Wを適切に観察することができるプローブ顕微鏡の提供。
【解決手段】プローブ顕微鏡1は、探針21を有するカンチレバー2と、変位検出光学系3と、観察光学系4と、対物レンズ6Aとを備える。変位検出光学系3は、第1の光源31と、光検出素子35とを備える。観察光学系4は、第2の光源41Aと、結像レンズ42と、カメラ43とを備える。第2の光源41Aは、第1の光源31と異なる波長の光を射出する。対物レンズ6は、第1の光源31から射出される光の波長に対してカンチレバー2の位置を焦点とし、且つ、第2の光源41Aから射出される光の波長に対して被測定物Wの位置を焦点とする。 (もっと読む)


本発明は、圧電共振子(11)を有する局所プローブ、及びその信号の前置増幅と処理のための電子制御装置であって、このプローブが、前記プローブ(11)の方へ向けられた粒子線(12)を有する環境におけるサンプル(10)の物理的性質の局所測定のために設計されると共に、励起手段(15)によって生成された励起電圧が、第1のガルバニック絶縁変圧器(TR_1)を通して前記圧電共振子(11)に印加され、前記圧電共振子(11)の機械的な振動の測定に関する電流が、第2のガルバニック絶縁変圧器(TR_2)を通して、出力側の前置増幅手段(18)に印加される電子制御装置に関係する。
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ある方法及び装置が、たとえば音叉などが大気中または液体中で使用される非光学的フィードバック機構(1.2)を有する走査プローブ顕微鏡を可能にする。本発明の実施形態は、上側または下側から幾何学的に本質的にレンズ(1.3)を妨害しないで、サンプルと相互に作用する当該プローブとの自由なアクセスを可能にする方法において、非光学的フィードバック機構を一体化できる走査型装置の幾何学的構造を必要とする。1つのそのような実施形態において、x、y及びzでのスキャナー(1.1)は、非光学的フィードバック機構が液体中または大気中いずれかに存在する構造を有するプローブを移動させることができ、カンチレバー型プローブまたは直線プローブを使用できる。当該システムはまた、液体中及び/または大気中で動作できる複数の独立した走査プローブ顕微鏡プローブを用いて構成される。
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