【課題】トナー表面上の電荷分布をSPM探針に誘導される電流の測定値をもとに逆推定することができる画像処理装置、画像処理システム、及びプログラムを提供する。
【解決手段】カンチレバーに接続する導電性のプローブがカンチレバーとともに振動しながら帯電表面を非接触で走査し、かつプローブの変位を検出する検出手段、帯電表面上の電荷によりプローブに誘導される電荷を交流電流として計測する計測手段、及び、数式(A)で示される連立１次方程式から表面電荷xjを逆推定する逆推定手段を有する走査プローブ顕微鏡。i = ai1x1 + ai2x2 +‥ aijxj + ‥ + aiNxN ( i = 1, 2, ‥N )…(A) （もっと読む）

【課題】表面形状と位相遅れの相関を利用したデータ補正により、解析精度を高めたポリマの相構造解析方法を提供する。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡観察でポリマ材料の表面をスキャンして同時計測された表面形状像と位相像とを用い、位相像から各測定点における位相遅れ値を求め、表面形状像から各測定点における傾斜値を求めると共に傾斜値に比例する補正値を求め、位相遅れ値に補正値を加減算して分布像を生成し、分布像を用いてポリマの相構造を解析する方法である。 （もっと読む）

【課題】強誘電体の分極の可視化方法とその可視化装置において、試料表面に垂直な分極と平行な分極とを同時に可視化すること。
【解決手段】交流電圧V_ACが印加される第１の探針３と、第１の探針３から間隔をおいて設けられた第２の探針４と、第１の探針３に発生する第１の振動成分を検出する第１の検出部１３と、第２の探針４に発生する第２の振動成分を検出する第２の検出部１４と、画像化部３０とを備え、前記画像化部３０は、強誘電体試料Sの分極の向きが第１の方向D₁に平行か反平行かを可視化した第１の分極像IM₁を生成し、強誘電体試料Sの分極の向きが前記第２の方向D₂に平行か反平行かを可視化した第２の分極像IM₂を生成し、第１の分極像IM₁と第２の分極像IM₂とを合成した合成像IM₃を生成する強誘電体の分極の可視化装置による。 （もっと読む）

【課題】ＳＰＭを用いた観察において、観察者が位相等、高さ以外の物理量について試料上の関心領域を指定する際の作業性を向上させる。
【解決手段】試料観察表示画面３０中のナビゲーションウインドウ３３には試料上の観察可能範囲を示す範囲指示画像３４が表示され、該画像３４には拡大観察範囲を指示するための関心領域設定指示枠３５が重ねて表示される。また、画像履歴一覧表示ウインドウ３２には同試料に対してそれまでに取得された拡大画像のサムネイルが一覧表示され、観察者が任意の画像を選択指示すると、そのサムネイルが範囲指示画像３４上にマッピング表示される。これを参照して観察者がマウス操作により関心領域設定指示枠３５の位置、大きさ、角度を変更すると、それに応じた試料上の拡大画像が新たに取得される。 （もっと読む）

【課題】試料上の関心領域における高さと位相等、複数の物理量の定量的な比較を簡便な操作で行えるようにする。
【解決手段】分析結果表示画面３０内に、試料表面高さの２次元分布データに基づく３次元画像に位相に対応した色情報をマッピングして重ねたカラー３次元画像３２を表示し、該画像３２上にユーザ操作により任意の移動可能な２つのポインタＰ、Ｑに基づいて形成される仮想平面像３３を重ねて表示する。仮想平面像３３と試料とが交差した一次元領域を関心領域とし、この関心領域に沿った高さと位相とをグラフ化してグラフ表示領域３７に表示し、さらにそのグラフ上に表示したカーソルＡ〜Ｆで特定される位置における高さ及び位相の値や２本のカーソル間の差分値などを特性値テーブル３８中に表記する。 （もっと読む）

【課題】膜厚測定の対象測定領域内の絶縁性薄膜の膜厚の空間分布を得る。
【解決手段】試料と、カンチレバーに保持された探針との間に可変直流電圧を印加する原子間力顕微鏡を用いて、絶縁性薄膜の膜厚分布を測定する膜厚評価方法で、試料の測定領域に電圧を変化させて印加するとともに、発生電流および絶縁破壊電圧を測定し、前記測定領域のうち任意の１点の膜厚を基準値として、各測定点の絶縁破壊電圧および（１）式の関係に基づいて、前記測定領域内の相対膜厚の分布を求めることとする。
膜厚＝絶縁破壊電圧÷絶縁破壊電場強度 （１） （もっと読む）

【課題】多探針を用いたＡＦＭナノプローバで、ステージ側のスキャンを行う構造にして、試料と探針の位置関係の補正を迅速に行い、探針同士の衝突を回避して、サブミクロン領域での電気測定を容易にできるようにする。
【解決手段】それぞれの探針によるＡＦＭイメージを同時に取得する。この際、重複領域があるようにする。ＡＦＭイメージから、その重複領域を探索し、それぞれの相対位置を見出し、さらに、それぞれの探針位置を導出する。また、その探針位置から、測定用にあらためて探針位置を設定し、被測定物に探針を圧接して電気的測定を行う。最初に探針間が近接していることを検出するようにして、探針が近接状態にあるところから開始することで、重複領域を小さくすることができ、迅速な測定を行うことができる。上記スキャンは、ラスタスキャンまたはスパイラルスキャンである。 （もっと読む）

【課題】簡易な設定で精度が高い３次元計測ベースの設定を行う。
【解決手段】ピークがＺ軸正方向に出る場合は、半球・半楕円体（Ｚ≧０）を求めるべきベース点の座標（ｘ_ｉ、ｙ_ｉ）を含むように配置し、その底面が（ｘ_ｉ，ｙ_ｉ）を含むように走査させ、それぞれの位置で表面形状像のＺ位置と半球・半楕円体の高さの差の最小値ｌ_ｍｉｎと、（ｘ_ｉ、ｙ_ｉ）での半球・半楕円体の高さを求める。これらをそれぞれ足し合わせ、最大値をＬ_{（Ｘｉ，Ｙｉ）}とし、ベース点を（Ｘ_ｉ，Ｙ_ｉ，Ｌ_{（Ｘｉ，Ｙｉ）}）として設定する。そして、対象面の全体にベース点を設定するために、同様の方法により対象面内全体にベース点を設定していき、得られた複数のベース点に基づいて３次元計測ベースを設定する。 （もっと読む）