国際特許分類［G01Q30/16］の内容
物理学 (1,541,580) | 測定；試験 (294,940) | 走査プローブ技術または装置；走査プローブ技術の応用，例．走査プローブ型顕微鏡［ＳＰＭ］ (274) | 走査プローブ技術または装置の補助または改良に資する補助的手段，例．表示装置またはデータ処理装置 (46) | サンプルチェンバー内に所望の環境条件を確立し調節するための手段 (20) | 真空環境 (1)
国際特許分類［G01Q30/16］に分類される特許
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原子間力顕微鏡を利用したナノ構造の堆積のための装置
【課題】確実にＡＬＤチャンバ内の汚染物質を最小限に抑えることができるようにし、かつ前駆体蒸気による重要な顕微鏡部品の損傷を防止する。
【解決手段】２室に分割されたチャンバを有する局所的ナノ構造成長装置であって、第１室（１０４）が走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）を含み、第２室（１０８）が原子層堆積（ＡＬＤ）チャンバを含み、第１室が第２室から気密分離されており、ＳＰＭの少なくとも１つのＳＰＭプローブ先端がＡＬＤチャンバ内の試料の近位に配置されている、該ナノ構造成長装置を提供する。
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