【課題】
磁気ヘッドのローバーに形成された個々の磁気ヘッド素子が形成する磁場の二次元分布を外部環境の影響を受けることなく測定することを可能にする。
【解決手段】
磁気ヘッドが多数形成されたローバーの各磁気ヘッドのライトトラックの実効トラック幅を検査する磁気ヘッド素子検査装置において、トレイ部とステージ部と試料受渡部と磁場計測部と実効トラック幅計測部とを外部からの振動を遮断する除振テーブル部に搭載し、トレイ部とステージ部と試料受渡部と磁場計測部と実効トラック幅計測部と除振テーブル部とを防音部で覆って外部の騒音を遮断する構成した。 （もっと読む）

古い世代のこれらの装置では徐々に提供不能になりつつある、迅速な測定結果を提供するモジュールＡＦＭ／ＳＰＭであって、より小さな力とより小さな移動を以てノイズ・アーチファクトのない小プローブを使用するモジュールＡＦＭ／ＳＰＭ。モジュールＡＦＭ／ＳＰＭは、シャーシ、機器のモジュールを支持する基盤、サンプルとプローブを観察するオプティックを提供するビュー・モジュール、光てこ機構用部品を提供すると共にこれらの部品を操舵しかつ合焦させるヘッド・モジュール、サンプルをそれらの次元で作動させるＸＹＺ並進ステージと係合機構を提供するスキャナ・モジュール、シャーシを収納して機器を遮音及び熱的分離状態にする隔離モジュール、及び別のコントローラと共に画像を獲得・処理すると共に機器の他の機能を制御する電子技術を提供する電子モジュールを備える。
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