国際特許分類［G01Q40/00］の内容
物理学 (1,541,580) | 測定；試験 (294,940) | 走査プローブ技術または装置；走査プローブ技術の応用，例．走査プローブ型顕微鏡［ＳＰＭ］ (274) | キャリブレーション，例．プローブのキャリブレーション (2)
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カンチレバーのバネ定数特定方法およびその方法を採用した走査型プローブ顕微鏡
【課題】走査型プローブ顕微鏡などに用いられるシリコンプロセスにおける異方性エッチングにより断面形状が台形形状をしたカンチレバーにおいて、厚さを直接測定することなくカンチレバーのバネ定数を特定する。
【解決手段】断面の台形の上底と下底の長さａ、ｂおよび異方性エッチングにより現れる面の幾何学的規則性とからカンチレバー２の厚さｔを特定して、それらとカンチレバー２の長さＬおよびヤング率からカンチレバー２のバネ定数を特定する。
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