国際特許分類［G01Q40/02］の内容
物理学 (1,541,580) | 測定；試験 (294,940) | 走査プローブ技術または装置；走査プローブ技術の応用，例．走査プローブ型顕微鏡［ＳＰＭ］ (274) | キャリブレーション，例．プローブのキャリブレーション (2) | キャリブレーションの基準またはその製造方法 (1)
国際特許分類［G01Q40/02］に分類される特許
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ナノメーター標準原器、標準試料、ナノメーター標準原器の製造方法、及び標準試料の製造方法
【課題】大気中の物質に対する耐食性に優れ、かつ高精度なナノメーター標準原器を提供する。
【解決手段】ナノメーター標準原器としての標準試料は、比較の基準となる標準長さを有している。また、この標準試料は、ステップ／テラス構造が形成されたＳｉＣ層を有している。そして、ステップの高さが、ＳｉＣ分子の積層方向の１周期分であるフルユニットの高さ、又はＳｉＣ分子の積層方向の半周期分であるハーフユニットの高さと同一である。また、このステップの高さが前記標準長さとして用いられる。
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