国際特許分類[G01Q60/10]の内容
物理学 (1,541,580) | 測定;試験 (294,940) | 走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[SPM] (274) | 特定の型のSPM[走査プローブ型顕微鏡]またはそのための装置;その基本的な構成部品 (135) | STM[走査型トンネル顕微鏡法]またはそのための装置,例.STM用プローブ (9)
国際特許分類[G01Q60/10]の下位に属する分類
STS[走査型トンネルスペクトロスコピー] (1)
STP[走査型トンネルポテンショメトリー]
プローブまたはその製造または関連する器具類,例.プローブホルダー (1)
国際特許分類[G01Q60/10]に分類される特許
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走査型トンネル顕微鏡およびこれを用いたナノスケール表面観察法
【課題】広いダイナミックレンジにわたって高感度かつ定量性の良いトンネル抵抗の測定を可能とするトンネル抵抗を利用した走査型トンネル顕微鏡を提供する。トンネル抵抗を利用した走査型トンネル顕微鏡における安定なフィードバック制御を可能とする。
【解決手段】試料5を載置可能とする試料載置台2と、試料5と試料5に離間して対向配置される探針3との間のトンネル抵抗Rt、トンネル抵抗Rtに並列接続されたマッチング抵抗Rmを含む共振回路10と、共振回路10に接続される方向性結合器12と、方向性結合器12を介して共振回路10に高周波信号を送信する高周波入出力装置14と、共振回路10から方向性結合器12を介して反射信号を受信する反射測定装置16とを有する走査型トンネル顕微鏡1。
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構造解析方法および構造解析システム
【課題】数ナノメートルの空間分解能を有し、短時間で容易に測定を行うことができる構造解析方法および構造解析システムを提供する。
【解決手段】測定対象1の表面に、半径が5nm以下の銀微粒子から成る金属微粒子11を吸着させる。走査型トンネル顕微鏡(STM)から成る照射手段12により、その金属微粒子11にトンネル電子を照射する。電子の照射により放出される光の発光スペクトルを、分光器から成る検出手段13により検出する。解析手段14により、検出された発光スペクトルに基づいて、金属微粒子11の近傍における測定対象の格子振動を抽出する。
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検査装置及び検査方法
【課題】導電膜と絶縁膜が交互に積層された積層体に形成されたコンタクトホールの異常を検出できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係る検査装置は、積層体に電子線を照射する電子線照射部と、積層体の端面に沿って上下方向に動作し、端面におけるトンネル電流値を計測する計測部と、計測部で計測されたトンネル電流値を所定の閾値と比較する比較部と、比較部での比較結果に基づいて、コンタクトホールの異常を判定する判定部と、を具備する。
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複合顕微鏡および複合顕微鏡のケーブル支持装置
【課題】装着されるケーブル付きの付属機器に制約を生じることなく、安価で汎用性の高い複合顕微鏡を実現する。
【解決手段】レボルバ15に対物レンズ18と、ケーブル31が接続されるSTM検出部30を混在させて装着する複合顕微鏡10において、レボルバ15の回転中心軸15aの近傍でケーブル31を保持するケーブル保持部材43を設け、STM検出部30に特別な改造等を必要とすることなく、低コストかつ高い汎用性にてレボルバ15の回動時のケーブル31の遊動による経路変動等によるケーブル31やSTM検出部30における好ましくない負荷の発生を防止する。
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試料によって引き起こされる力の相互作用を測定する方法
試料によって引き起こされる力の相互作用を測定する方法であって、先端は、試料に対するバイアス電圧を印加されて、先端と試料の間に測定可能な電流が流れるような小さい間隔にまで試料の方に動かれるとともに、その先端と試料の接点を通って流れる電流を力の相互作用の大きさに応じて変化させるセンサー・信号変換器(S)が、力の相互作用の範囲内に形成されて使用される方法である。そのための走査トンネル顕微鏡を開示している。
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測定プローブ及びその構成方法
ナノ又はナノメートル以下の寸法の個別サンプルの幅広い物理的特性の測定を可能とした測定プローブを設ける。プローブは、プローブ本体と、プローブ本体に連結された基板と、基板の近くにあるチップとを備える。さらに、プローブは、電気入力部を有する粗圧電アクチュエーターを備える。粗ピエゾは、第1電気信号を電気入力部に供給するとチップ及び/又は基板を互いに対して移動させるように構成されている。さらに、プローブは、粗ピエゾの電気入力部と電気通信される低域通過フィルターを備える。さらに、プローブは、第2電気信号を電気入力部に供給するとチップ及び/又は基板を互いに対して移動させるように構成された電気入力部を有する細圧電アクチュエーターを備える。 (もっと読む)
原子間力顕微鏡を利用したナノ構造の堆積のための装置
【課題】確実にALDチャンバ内の汚染物質を最小限に抑えることができるようにし、かつ前駆体蒸気による重要な顕微鏡部品の損傷を防止する。
【解決手段】2室に分割されたチャンバを有する局所的ナノ構造成長装置であって、第1室(104)が走査型プローブ顕微鏡(SPM)を含み、第2室(108)が原子層堆積(ALD)チャンバを含み、第1室が第2室から気密分離されており、SPMの少なくとも1つのSPMプローブ先端がALDチャンバ内の試料の近位に配置されている、該ナノ構造成長装置を提供する。
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