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国際特許分類[G01Q60/18]の内容

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国際特許分類[G01Q60/18]に分類される特許

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【課題】高速現象を精度よく測定できる、ポンププローブ測定装置を提供する。
【解決手段】ポンププローブ測定装置1は、ポンプ光3aとなる第1の超短光パルス列とプローブ光となる第2及び第3の超短光パルス列3b,3cとを発生させる超短光パルスレーザー発生部2と、第2及び第3の超短光パルス列3b,3cが入射される光シャッタ部6と、ポンプ光3a及びプローブ光3b,3cを試料7に照射する照射光学系8と、試料7からのプローブ信号を検出するセンサー11と、センサー11に接続される位相敏感検出手段12と、を含む検出部20とを備え、光シャッタ制御部10によってポンプ光3aに対するプローブ光3b,3cの遅延時間が周期的に変調されて交互にプローブ光3b,3cとして試料7に照射され、プローブ信号を遅延時間の周期的変調信号に同期して位相敏感検出手段12で検出する。 (もっと読む)


【課題】 本発明はプラズモン伝播形光SPMにおいて、信号対雑音比が低下させずに近接場光を用いて試料の形状と光学特性を測定する走査プローブ顕微鏡の測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 上記課題を解決するため、本発明は、近接場光を励起させ、近接場光と試料の相対位置を走査し、試料による近接場光の散乱光を検出することにより、試料の形状と光学特性を観察する走査プローブ顕微鏡の測定方法であって、近接場光を変調させ、近接場光と試料の相対位置を周期的に変動させ、近接場光に印加した変調の周波数と、近接場光と試料の相対位置を変動させる周波数によって発生する干渉信号を選択的に抽出することを特徴とする走査プローブ顕微鏡の測定方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、効率的に真のスペクトル情報を得ることのできる近接場分光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 試料24の近接場スペクトル情報を得る際は該試料24とプローブ12先端を近接場25領域内の所定距離に近接させ、バックグラウンドスペクトル情報を得る際は近接場領25域外の所定距離に離隔させるZ軸走査手段18,20と、近接場スペクトル情報よりバックグラウンドスペクトル情報を差し引き、該バックグラウンドが除去された真の近接場スペクトル情報を得る演算手段46と、を備え、該バックグラウンド情報取得手段は試料24とプローブ12先端を近接場領域25外の所定距離に離隔中に、対応する測定部位のバックグラウンドスペクトル情報を得ることを特徴とする近接場分光装置10。 (もっと読む)


【課題】微細な場所の状態を高精度で検出することができ、半導体デバイスに生じる欠陥の解析に適用可能な準静電界解析装置及び準静電界解析方法を提供する。
【解決手段】レーザ光の波長よりも小さいサイズの孔を有する近接場プローブ15を介して検査対象10に光を照射する。また、準静電界検出プローブ16を検査対象10の表面近傍に配置し、光の照射により発生する準静電界を検出する。制御部20は、検査対象10の光照射位置に対応する位置情報を画像処理部19に出力する。画像処理部19は、準静電界検出プローブ16で検出された準静電界の強度を制御部20から入力される位置情報に対応付けて信号処理し、ステージ11の移動にともなって検査対象10の表面状態の画像を生成する。 (もっと読む)


【課題】 近接場光学顕微鏡装置において、プローブを作成してから測定の間にプローブ表面が汚染され、ラマン増強が減少するという課題と、汚染によりラマン増強が経時変化するという課題がある。
【解決手段】 金属膜作製ユニットと測定ユニットの間に搬送機構を設け、金属膜をコートしたプローブを作製し次第、迅速に測定に移る事を可能にすることにより、大気によるプローブの汚染を軽減する。さらに、測定用のプローブ作製からラマン測定までの各作業をモニタリングし、時刻を記録する事によって測定の再現性を上げる。 (もっと読む)


撮像機器は、特に、感光性のピクセルアレイを有し、アレイに関連する表面は、試料の少なくとも一部がピクセルの平均幅の約半分未満に等しい距離だけ表面から離れた状態で試料を受けるように構成される。

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