【課題】熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光と磁界との両方を測定して、熱アシスト磁気ヘッドの検査を行えるようにする。
【解決手段】走査プローブ顕微鏡のカンチレバーを、板状の部材の先端部に探針が形成されたレバーと、レバーの探針の表面に薄膜状に形成された磁性体膜と、磁性体膜の表面に形成された貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜とを備えて構成した。また、熱アシスト磁気ヘッド素子を検査する検査装置に、探針の表面に磁性膜が形成されていてこの磁性膜の表面に貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜が形成されているカンチレバーと、カンチレバーの振動を検出する変位検出手段と、近接場光発光部から発生しカンチレバーの探針の貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜で増強された近接場光による散乱光を検出する近接場光検出手段と、変位検出手段と近接場光検出手段とで検出して得た信号を処理する処理手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】増強度の高い分光測定方法、散乱型近接場顕微鏡、及びチップ増強ラマンプローブの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかるチップ増強ラマンプローブの製造方法は、シリコン製のプローブを用意するステップと、プローブを酸化させるステップと、酸化したプローブの上に金属膜を形成するステップと、を備え、プローブを酸化させるステップでは、金属膜が形成されたプローブのプラズモン共鳴波長と、励起レーザの波長とが等しくなる厚さまでシリコンを酸化するものである。 （もっと読む）

【課題】近接場光デバイスにおいて、エネルギー効率を高める。
【解決手段】近接場光デバイスは、基板（１２）上に配置されており、量子ドット（１６）を含み、基板により導かれる入射光をエネルギー源として量子ドットの光発生作用により近接場光（１８）を発生可能な量子ドット層（１３、１４、１５）を備える。近接場光デバイスは更に、量子ドット層上に配置されており、量子ドット層で発生された近接場光をエネルギー源として近接場光（６５）を発生可能且つ外部へ出力可能な出力端（１７）を備える。 （もっと読む）

【課題】製造工程途中のできるだけ早い段階で熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光または近接場光発光部の物理形状の検査を行うことができるようにする。
【解決手段】熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置において、試料である熱アシスト磁気ヘッド素子を走査プローブ顕微鏡装置の平面内で移動可能なテーブルに載置し、試料の近接場光発光部から近接場光を発生させ、探針を有する走査プローブ顕微鏡のカンチレバーを試料の表面の近傍で上下に振動させた状態でテーブルを平面内で移動させることにより熱アシスト磁気ヘッド素子から発生させた近接場光による散乱光を検出し、検出した散乱光に基づく近接場光の発生位置情報を用いてローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子の近接場光発光部から発光する近接場光の強度分布又は近接場光発光部の表面形状を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】近接場光顕微鏡において、高分解能と高感度を両立させ、数ナノメートルの微小な試料の観察を可能とするプローブ及びそれを用いた近接場光顕微鏡を提供すること。
【解決手段】数ナノメートルサイズの試料に付随した光を波長より充分近傍で採光することを目的とする、プラズマ振動数が近赤外域〜可視域にある金属または金属に類する材質の細線を二本平行に並べ先端を揃えたものであり、他端はダイポールアンテナ状に開き、光ファイバーや光導波路へ接続する近接場光顕微鏡用プローブ。 （もっと読む）

【課題】近接場光の発生効率を向上させるとともに、同一点で偏光依存性なく光を励起または検出する。
【解決手段】導波路１１の端面にコア３２とクラッドとの境界Ｂをまたぐように、少なくとも２つの金属構造体４１を配置する。上記２つの金属構造体４１は、先端がコア３２側に位置し、後端がクラッド３３側に位置して、後端から先端に向かって細くなる先細り形状でそれぞれ形成されているとともに、後端から先端に向かう方向が互いに直角となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】
開口プローブを用いた近接場走査顕微鏡では実用上数十ｎｍの開口形成が限界であり、
また散乱プローブ用いた近接場走査顕微鏡では外部照明光が背景雑音となり、数十ナノメ
ートルが分解能の限界であった。またプローブの損傷や磨耗により測定再現性が著しく低
かった。
【解決手段】
ナノメートルオーダの円筒形構造とナノメートルオーダの微小粒子を組み合わせて、ナ
ノメートルオーダの光学分機能を有するプラズモン増強近接場プローブを構成し、試料上
の各測定点で低接触力での接近・退避を繰り返すことにより、プローブと試料の双方にダ
メージを与えることなく、ナノメートルオーダの分解能でかつ高い再現性で、試料表面の
光学情報及び凹凸情報を測定する。 （もっと読む）

【課題】従来の散乱型近接場光プローブが電場増強を示す波長領域だけでなく、可視光の長波長領域においても電場増強を示す散乱型近接場光プローブ等を提供する。
【解決手段】プローブの先端部に光源からの光を照射し、プローブの先端部に近接場光を発生させる散乱型近接場光プローブであって、
前記プローブは、該プローブの先端部に、角をなす２辺が交わって形成された鋭角の頂点を有する平板状の金属単結晶を備え、
前記プローブの先端部に、前記光源から前記鋭角の頂点を二等分する軸に対して平行な電界成分を有する光が照射された際に、可視光の長波長領域においても電場増強を示す構成とする。 （もっと読む）

【課題】近接場光やマイクロ波のような微小スケールのエネルギー源の空間分布を広い測定範囲、高空間分解能で観測することができるＳＰＭプローブを提供する。
【解決手段】ＳＰＭカンチレバー１と、ＳＰＭカンチレバーの探針部に形成された熱抵抗２と、熱抵抗２の上に形成された絶縁膜３と、絶縁膜３の上に形成された微小スケールエネルギー源を熱に変換する１本の細線４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、高度な微細加工技術を用いなくても、素子先端部分を簡便かつ低コストで加工することである。
【解決手段】 本発明は、多角推の形状をした錐台１０２を有し、錐台１０２の先端に形成された開口から近接場光を発生する近接場光発生素子の製造方法であって、錐台１０２の側面上に金属膜を形成する形成工程と、金属膜を形成した後に錐台１０２の側面上と頂面において残存している金属膜の残滓に対して外力を与えることにより残滓を除去する残滓除去工程とを含む。 （もっと読む）