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国際特許分類[G01Q60/38]の内容

国際特許分類[G01Q60/38]の下位に属する分類

導電性プローブ (1)
機能化

国際特許分類[G01Q60/38]に分類される特許

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【課題】液体に浸漬した試料を測定する際に、構成が簡単で低コストでありながら高精度の測定が可能なスプリアスフリーのカンチレバー励振方法を提供する。
【解決手段】カンチレバー5の背面に形成された金属薄膜5aと、カンチレバー5が固定された台座部4の透明体4aの下面に形成された対向電極9との間に、高周波の搬送波信号を振幅変調することで生成した励振電圧を印加する。カンチレバー5と液体8との界面に形成される電気二重層容量は誘電緩和するため界面張力効果による力は無視できる程度になり、静電気力による作用が支配的になるため、励振スペクトルが理想的な調和振動子モデルに近づき、共振周波数よりも十分低い周波数領域では振幅及び位相は周波数に依存しない平坦な特性となる。 (もっと読む)


【課題】 プローブの振動に基づく電流である振動成分を感度良く検出する振動成分検出方法、及び、該振動成分検出方法を用いることで、測定感度が高い原子間力顕微鏡を提供する。
【解決手段】2つの振動腕部6a,6bを有する電歪素子により構成された試料3の表面を走査するプローブ6を備え、振動腕部6a,6b夫々に設けられた電極7a,7bからの2つの検知信号の差分を求めることで、該2つの検知信号間で同相に出現する擾乱成分を除去し、逆相で発生するプローブ6の振動に基づく振動成分を検出して処理信号を生成する差動増幅回路9と、該差動増幅回路9で生成した処理信号に基づき試料3の情報を検出する周波数検出回路11を備える。 (もっと読む)


【課題】 カンチレバーの周波数・振動特性検出は、長時間を要することにより、測定条件設定時の誤差を生じさせる問題があった。また、1次共振周波数の検出の誤りが発生する可能性があった。
【解決手段】 カンチレバーの共振周波数を含む範囲の周波数帯域で、加振信号発生器より、往復の高速周波数スイープ信号を発生させ、カンチレバーを振動させ、往路と復路それぞれの振幅の最大値の周波数を計測し、その中間値をカンチレバーの共振周波数として、検出することを特徴とする。さらに、1次共振周波数を検出時に6.3倍の2次共振周波数が存在するかを確認することにより、共振周波数検出の誤りを未然に防ぐ。 (もっと読む)


【課題】走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーにおいて、レバー部面上に探針部を接着固定する際に、所望の位置への取付けが容易で、レバー長を一定にすることにより、レバー特性を均一にし、安定したAFM測定を可能にする。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーは、支持部1と、該支持部より延びたレバー部2と、該レバー部の自由端あるいは自由端近傍に接着固定された探針部5とを具備し、前記レバー部の自由端又は自由端近傍に、前記探針部をレバー部に位置決め固定するための探針部位置決め用ガイドとしての突起部3を備える。 (もっと読む)


【課題】 気液界面でも安定した高い信号雑音比(SNR)を得ることができる、気液界面で共振するマイクロカンチレバーセンサを提供する。
【解決手段】 気液界面で共振するマイクロカンチレバーセンサにおいて、シリコン薄膜に数μmの単位の幅のスリット2Bを形成することによって作製されたカンチレバー2Aを、気体と溶液の気液界面に配置することにより、気体4に面する面における親水性負荷を取り除き高い信号雑音比(SNR)が得られるようにし、レーザーを用いて駆動した前記カンチレバー2Aの共振周波数を前記気体4側に配置した監視装置5によって測定するようにした。 (もっと読む)


【課題】ダイナミックモードで駆動されるカンチレバー、原子間力顕微鏡、および原子間力の測定方法において、原子間力の測定精度を高める。
【解決手段】原子間力顕微鏡1用のカンチレバー2は縦バネ2Aおよび回転バネ2Bからなる振動部と探針2Cとを備える。縦バネ2Aは第一の機械振動モードで振動自在であり、回転バネ2Bは第二の機械振動モードで振動自在である。第一の機械振動モードと第二の機械振動モードとは、互いの振動が独立する機械振動モードであり、それぞれの共振周波数が近接または一致する。探針2Cは、縦バネ2Aの振動に伴って変位する位置であって、且つ、当該変位に基づく原子間力の変化により回転バネ2Bの振動を振動部に励起させる位置に付設される。 (もっと読む)


【課題】メゾスコピック領域での高精度且つ高ダイナミックレンジでの物質表面状態の評価を行うことができるプローブを実現する。
【解決手段】ビーム先端部にチップ22、32、42が下向きに形成され、ビーム基端部が支持部材12、14、16を介してベースプレート10の下面に支持された、共振周波数が異なる複数のカンチレバー20、30、40が、共振周波数が最低の第1カンチレバー20から最高の最終カンチレバー40まで、チップ先端が同一直線C上に一致するように順次配設されていると共に、前記各カンチレバーの上下方向の変位を検出する変位検出手段24、26等と、第2カンチレバー以降の各カンチレバーに、自カンチレバーより低い共振周波数のカンチレバーによる測定結果に基づいて上下方向のオフセットを設定するオフセット設定手段38、48と、を備えた高ダイナミックレンジプローブ。 (もっと読む)


【課題】剛性のない被測定物の形状を高精度に測定できる原子間力顕微鏡を提供する。
【解決手段】原子間力顕微鏡100は、先端に探針142を有するカンチレバー130と、カンチレバー130を支持する支持部110と、カンチレバー130に振動を与える振動発生部120とを備えている。カンチレバー130は、基端側に位置する基端側部132と、探針側に位置する探針側部136とを有している。探針側部136は基端側部132から屈折して延びている。基端側部132と探針側部136は、一方が他方に対して整数倍の固有振動数を有している。 (もっと読む)


本発明は、微小物体20、23、33を空間的に操作するための方法に関し、前記方法は、開口19を持つ先端と内部を長手方向に延びる微小流路15とを有し、微小流路が先端の開口に流体接続されて成るカンチレバー12を用意するステップと、カンチレバーを保持しかつカンチレバーを予め定められた空間経路に沿って移動させるための懸吊手段を用意するステップと、カンチレバー内の微小流路に予め定められた圧力を加えるための加圧手段を用意するステップと、先端の開口が微小物体に隣接するように微小物体にカンチレバーの先端を移動させるステップと、カンチレバーの先端の外側の圧力に対して微小流路内の圧力を低減させることによって、カンチレバーにより微小物体をピックアップするステップと、カンチレバーを用いて微小物体を予め定められた空間経路に沿って移動させるステップとを含む。 (もっと読む)


【課題】より細くかつ耐久性の高い探針を備えるカンチレバーを製造することができるカンチレバー製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】板状の梁部と、梁部の一方の端部を支持する支持部と、梁部の支持部に支持されている側とは反対側の端部に配置された探針とで構成され、走査型プローブ顕微鏡に用いるカンチレバーの製造方法であって、試料からバルクを切り出すバルク切り出し工程と、バルクを梁部に接合させる接合工程と、バルクに収束イオンビームを照射し、探針の針部を作成する針部加工工程と、を有することで上記課題を解決する。 (もっと読む)


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