国際特許分類［G01Q60/46］の内容
物理学 (1,541,580) | 測定；試験 (294,940) | 走査プローブ技術または装置；走査プローブ技術の応用，例．走査プローブ型顕微鏡［ＳＰＭ］ (274) | 特定の型のＳＰＭ［走査プローブ型顕微鏡］またはそのための装置；その基本的な構成部品 (135) | ＳＣＭ［走査型キャパシタンス顕微鏡法］またはそのための装置，例．ＳＣＭ用のプローブ (1)
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プローブまたはその製造または関連する器具類，例．プローブホルダー
国際特許分類［G01Q60/46］に分類される特許
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試料評価装置及び試料評価方法
【課題】試料評価装置及び試料評価方法において、酸化金属膜の組成変動を簡単に測定すること。
【解決手段】走査型非線形誘電率顕微鏡１０の探針１４ａにより酸化金属膜３５の評価領域Fを走査することにより、評価領域Fの非線形誘電率を示す出力信号S0を走査型非線形誘電率顕微鏡１０から取得するステップと、酸化金属膜３５の特定の構成元素の組成ずれXと出力信号S0との関係を表すテーブルTBを参照することにより、取得した出力信号S0に対応する組成ずれXを求めるステップとを有する試料評価方法による。
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