【課題】カンチレバーを交換する場合、調整冶具を使用せずにかつ短時間でカンチレバーの位置を調整できるヘッド素子検査機を提供すること。
【解決手段】ヘッド素子検査機１は、カンチレバー５を保持するカンチレバーホルダ４と、カンチレバーホルダ４を取り付けるホルダベース３と、ホルダベース３をＺ方向に駆動するＺ方向駆動軸２２と、ヘッド素子を保持してＸＹ方向に駆動するワークテーブル２１とを備える。カンチレバーホルダ４とホルダベース３には、カンチレバー５の位置をＸ方向とＹ方向に調整する調整機構（調整ネジ４４、偏芯ピン３４）を有する。 （もっと読む）

【課題】カンチレバーをＺ方向に高速に駆動した場合にも、光てこ法等の光を使った測定法でカンチレバーの試料との間の原子間力による相互作用量を正確に検出できる原子間力顕微鏡及びそのカンチレバー支持具を提供する。
【解決手段】原子間力顕微鏡１００は、カンチレバー１４を支持するカンチレバー支持具１３と、高さ方向を駆動方向としてカンチレバー支持具１３を駆動するＺスキャナ１２とを備えている。カンチレバー支持具１３は、Ｚスキャナ１２の駆動方向に直交する方向に突出したカンチレバー取付部と、カンチレバー取付部の突出方向と反対方向に突出したバランス突出部を有している。 （もっと読む）

【課題】 溶液やガスの種類を問わず、様々な環境下で使用可能で、カンチレバーを効率的に加振可能にしたカンチレバーホルダ及びそれを備えて測定精度を向上させた走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 カンチレバー５を先端部に保持可能なカンチレバー保持部１３と、カンチレバー保持部１３の末端部１３ｄが固定される第一のベース部１４と、第一のベース部１４が保持される第二のベース部１５と、第一のベース部１４においてカンチレバー保持部１３が固定される面に対して裏側の面に先端を接触させて固定される圧電素子１６により走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダ７を構成し、圧電素子１６が第一のベース部１４に予圧を掛けて固定されるようにした。 （もっと読む）

走査プローブセンサパッケージ（２７）用マウントは、マウント内の平面を規定する支持構造物（１、５）と、走査プローブセンサパッケージ（２７）におけるそれぞれの対応物（４３）と相互作用するよう設計されている少なくとも１つの可動なスナップ接合要素（９）とを含む。スナップ接合要素（９）は、取り付けられた走査プローブセンサパッケージ（２７）に力を印加することにより、支持構造物（１、５）へ向かって前記平面に対して垂線な方向に前記走査プローブセンサパッケージ（２７）を押しやる第１位置へ、および、走査プローブセンサパッケージ（２７）を前記平面に対して垂線な方向に沿って支持構造物（１、５）に取り付けるか、または、支持構造物（１、５）から取り外せるようにする第２位置へと移動可能である。
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