【課題】熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光と磁界との両方を測定して、熱アシスト磁気ヘッドの検査を行えるようにする。
【解決手段】走査プローブ顕微鏡のカンチレバーを、板状の部材の先端部に探針が形成されたレバーと、レバーの探針の表面に薄膜状に形成された磁性体膜と、磁性体膜の表面に形成された貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜とを備えて構成した。また、熱アシスト磁気ヘッド素子を検査する検査装置に、探針の表面に磁性膜が形成されていてこの磁性膜の表面に貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜が形成されているカンチレバーと、カンチレバーの振動を検出する変位検出手段と、近接場光発光部から発生しカンチレバーの探針の貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜で増強された近接場光による散乱光を検出する近接場光検出手段と、変位検出手段と近接場光検出手段とで検出して得た信号を処理する処理手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】プローブチップ（tip）の交換が可能であり、さらに、必要に応じて最適なプローブチップ、加熱装置及びカンチレバーの組み合わせが選択可能なサーマル・プローブ並びにその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のサーマル・プローブ２は、支持素子２１、導電パターン２２及びプローブチップ（tip）２３を備える。導電パターン２２は、支持素子２１上に設置されて、複数の湾曲部２２１を有する。プローブチップ２３は、ベース２３１及びプローブ先端２３２を有する。ベース２３１は、第一表面S1及び第一表面S1に対応する第二表面S2を有する。プローブ先端２３２は、第一表面S1に設置され、第二表面S2は、導電パターン２２に接続される。前記湾曲部２２１の少なくとも一部は、第一表面S1に接触せしめられる。 （もっと読む）