【課題】メゾスコピック領域での高精度且つ高ダイナミックレンジでの物質表面状態の評価を行うことができるプローブを実現する。
【解決手段】ビーム先端部にチップ２２、３２、４２が下向きに形成され、ビーム基端部が支持部材１２、１４、１６を介してベースプレート１０の下面に支持された、共振周波数が異なる複数のカンチレバー２０、３０、４０が、共振周波数が最低の第１カンチレバー２０から最高の最終カンチレバー４０まで、チップ先端が同一直線Ｃ上に一致するように順次配設されていると共に、前記各カンチレバーの上下方向の変位を検出する変位検出手段２４、２６等と、第２カンチレバー以降の各カンチレバーに、自カンチレバーより低い共振周波数のカンチレバーによる測定結果に基づいて上下方向のオフセットを設定するオフセット設定手段３８、４８と、を備えた高ダイナミックレンジプローブ。 （もっと読む）

走査型プローブ用の金属探針（１）が提供される。この探針（１）は、軸方向長さ（ｌ）と、半径方向幅（ｄ）と、最大半径方向幅の区域（５）から原子レベルで鋭利な端部（９）まで軸方向に延びる尖った区域（Ｂ）と、最大半径方向幅の区域（５）から丸みのある端部（７）まで軸方向に延びる丸みのある区域（Ａ）とを有し、尖った区域（Ｂ）の軸方向長さが、丸みのある区域（Ａ）の軸方向長さよりも大きい。金属探針（１）は１０μｇ以下の質量を有する。 （もっと読む）