【課題】カンチレバーを交換する場合、調整冶具を使用せずにかつ短時間でカンチレバーの位置を調整できるヘッド素子検査機を提供すること。
【解決手段】ヘッド素子検査機１は、カンチレバー５を保持するカンチレバーホルダ４と、カンチレバーホルダ４を取り付けるホルダベース３と、ホルダベース３をＺ方向に駆動するＺ方向駆動軸２２と、ヘッド素子を保持してＸＹ方向に駆動するワークテーブル２１とを備える。カンチレバーホルダ４とホルダベース３には、カンチレバー５の位置をＸ方向とＹ方向に調整する調整機構（調整ネジ４４、偏芯ピン３４）を有する。 （もっと読む）

【課題】熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光と磁界との両方を測定して、熱アシスト磁気ヘッドの検査を行えるようにする。
【解決手段】走査プローブ顕微鏡のカンチレバーを、板状の部材の先端部に探針が形成されたレバーと、レバーの探針の表面に薄膜状に形成された磁性体膜と、磁性体膜の表面に形成された貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜とを備えて構成した。また、熱アシスト磁気ヘッド素子を検査する検査装置に、探針の表面に磁性膜が形成されていてこの磁性膜の表面に貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜が形成されているカンチレバーと、カンチレバーの振動を検出する変位検出手段と、近接場光発光部から発生しカンチレバーの探針の貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜で増強された近接場光による散乱光を検出する近接場光検出手段と、変位検出手段と近接場光検出手段とで検出して得た信号を処理する処理手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】描画部材の尖鋭部先端の先鋭度の低下を抑制し、描画距離を従来よりも伸長させるとともに、描画線幅の均一化を図ることができる描画物製造方法を提供し、更に、先鋭度の低下を抑えた描画部材及び当該描画部材を備えた描画装置を提供する。
【解決手段】基板Ｋが載置される基台２、基台２を移動させる基台移動機構３、内層としての金層と外層としての白金層が形成された尖鋭部を有する描画部材１０、描画部材１０を支持する支持部材４、支持部材４を介して描画部材１０を移動させる描画部材移動機構５、基板Ｋと描画部材１０に電圧を印加する電圧印加機構６など備えた描画装置１を用いて、電子線レジスト上にフッ素含有化合物を含む被膜を形成させた基板Ｋに描画処理を施す。 （もっと読む）

【課題】単一細胞の力学特性の計測方法および計測装置。
【解決手段】
原子間力顕微鏡を用いて多数の細胞を計測する方法であって、Ａ）微細加工基板上に個々の細胞を配列し、個々の細胞を自動で位置決めするステップ；Ｂ）配列化した細胞の複素弾性率の周波数特性を計測するステップ；Ｃ）細胞内計測位置または細胞内構造を変化させ、再度、多数細胞の複素弾性率の周波数特性を計測するステップ；およびＤ）細胞力学特性の細胞数分布を定量解析するステップを含む方法および装置。
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【課題】ＥＦＭにより測定された表面電位の二次元的な分布から研磨圧力の分布を取得する方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る方法は、化学機械研磨の研磨圧力分布を取得する方法である。この方法は、研磨装置により研磨された被研磨物の表面電位を電気力顕微鏡により測定して表面電位像を取得し、表面電位と研磨圧力との関係を示すデータに基づき、前記表面電位を研磨圧力に変換する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で確実にステージ上におけるマスクの微小スリップを検出可能とするとともに、検出されたスリップ量に基づいて荷電粒子ビームの補正を行うことができる荷電粒子ビーム描画装置及びマスクの微小スリップ検出方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームＢの偏向を制御して、かつ自在にステージを制御して任意の原画パターンをマスク上に描画するための描画動作を制御するための制御計算機３１を備える電子ビーム描画装置１であって、電子ビームＢによってパターンが描画されるマスクＭと、マスクＭを３点支持部材６４にて支持するマスク保持機構６２と、マスク保持機構６２及びマスクＭを水平方向に加速移動させるステージ６１と、電子ビームで描画される表面に対するマスク裏面とマスク保持機構６２との間に設置され、マスクＭの微小スリップの有無を検出する原子間力顕微鏡６５とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造工程途中のできるだけ早い段階で熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光または近接場光発光部の物理形状の検査を行うことができるようにする。
【解決手段】熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置において、試料である熱アシスト磁気ヘッド素子を走査プローブ顕微鏡装置の平面内で移動可能なテーブルに載置し、試料の近接場光発光部から近接場光を発生させ、探針を有する走査プローブ顕微鏡のカンチレバーを試料の表面の近傍で上下に振動させた状態でテーブルを平面内で移動させることにより熱アシスト磁気ヘッド素子から発生させた近接場光による散乱光を検出し、検出した散乱光に基づく近接場光の発生位置情報を用いてローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子の近接場光発光部から発光する近接場光の強度分布又は近接場光発光部の表面形状を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】従来の磁気力顕微鏡では、カンチレバーの一次共振周波数が探針走査時に変動するため、変調周波数信号の位相が変動し、位相情報付き磁場分布を得ることが困難である。励磁周波数が１００Ｈｚ程度と低いため、測定時間が長くなってしまう。ＦＭ変調信号という間接的な信号を測定するために、Ｓ／Ｎ比を高くすることが困難である。
【解決手段】本発明の磁気力顕微鏡は、磁性体を有する探針１付きのカンチレバー２と、第１の共振周波数で励振する第１の発振器４と、変位検出回路７と、微動素子１６と、微動素子１６を駆動するｚ軸駆動部１２と、第２の共振周波数で励磁する第２の発振器１３と、変位信号及び参照信号を入力するロックインアンプ２１とを備えている。そして、ｚ軸駆動部１２は、変位信号及び第１の共振周波数に基づいて、探針１を磁気記録ヘッド８に対して接近させ又は離間させ、ロックインアンプ２１は、変位信号及び参照信号に基づいて、磁場データを生成する。 （もっと読む）

【課題】一般的な細胞、細胞膜そのものの応答ではなく、神経細胞そのものの応答（電気的な応答）を計測する装置を提供し、神経活動そのものの電気的計測を実現することで、神経細胞の疾病の予測、診断の実現などを提供する。
【解決手段】神経伝達時に電圧が発生することを鑑み、神経細胞１へ電気的な刺激を与えることを特徴とする刺激装置１４と、該神経細胞を伝播した電気信号を検出することを特徴とするカンチレバー４を具備することを特徴とするケルビンプローブ。 （もっと読む）

【課題】従来に比べ保磁力の大きい探針および磁気力顕微鏡を提供する。
【解決手段】先鋭部４０を有する探針２において、前記先鋭部４０にイプシロン型酸化鉄系化合物を含む磁性体４２が設けられていることを特徴とする。イプシロン型酸化鉄系化合物は、保磁力が２０ｋＯｅ程度であるので、従来に比べ格段と保磁力の大きい探針２を提供することができる。 （もっと読む）