【課題】電子部品の電極の導電性積層膜の膜厚を安価な装置で高速に測定する。
【解決手段】絶縁膜１上に上下に積層された導電層２，３（積層膜、例えばＮｉ層およびその上のＡｕ層）からなる半導体基板の電極に対して、段差を触針で測る場合やレーザ光を用いる場合など公知の方法で導電層２，３の厚さ（電極高さ）を測定するステップと、４端針法により電極の表面抵抗を測定するステップとを有し、二つのステップから得られた積層膜の膜厚（電極高さ）と表面抵抗値から、上下に積層した導電層２，３からなる電極の上部皮膜である導電層３の膜厚を計算式から算出する。 （もっと読む）

【課題】電池用電極材に対して、簡便に評価を行うことができる厚さ測定装置、及び厚さ測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる測定装置は、太陽電池のセル２１の電極の抵抗分布を測定する測定装置であって、セル２１との間にエアギャップを形成するため、セル２１にエアを噴出する測定ヘッド３１と、測定ヘッド３１に設けられたコイル４１と、コイル４１に接続された発振器５０と、測定ヘッド３１とセル２１との相対位置を変化させる可動部１３と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】定電流を測定対象物に流すための電流制御用の出力トランジスタで生じる電力損失を、測定対象物の抵抗やプローブの配線抵抗の大小によらず小さくすることができ、トランジスタで発生する熱量を小さくすることができる測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置１は、電源部２から測定対象物Ｒdutに電流Ｉcを流す経路内に、定電流を流すように駆動されるトランジスタＱ１を配して、測定対象物Ｒdutに定電流を供給し、測定対象物Ｒdutの両端電圧を検出して、測定対象物Ｒdutのパラメータを測定する測定装置であって、電源部２が出力電圧を変更可能になっており、電源部２に出力電圧を設定する電圧設定部６を備えると共に、トランジスタＱ１のＶ_CEを検出する電位差検出部３と、電位差検出部３の検出したＶ_CEを、トランジスタＱ１の飽和電圧Ｖ_CE(sat)に基づく閾値に対して比較する比較部５とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】半導体スイッチを介して測定対象体に対する測定用電圧の出力をオン・オフする構成において、スパイク電圧を大幅に低減する。
【解決手段】規定電圧値Ｖ１の測定用電圧Ｖｍを測定対象体２１に出力する電圧出力装置１であって、測定用電圧Ｖｍを出力すると共に測定用電圧Ｖｍの電圧値を制御可能な電源部２と、電源部２から出力される測定用電圧Ｖｍの測定対象体２１に対する出力をオン・オフする半導体スイッチ３ａと、電源部２および半導体スイッチ３ａを制御する処理部５とを備え、処理部５は、半導体スイッチ３ａをオフ状態に制御した状態において電源部２に対する制御を実行して測定用電圧Ｖｍの電圧値を段階的に複数回に亘って変化させて規定電圧値Ｖ１に設定する電圧設定処理、および半導体スイッチ３ａをオン状態に制御して規定電圧値Ｖ１に設定された測定用電圧Ｖｍを測定対象体２１に出力する電圧出力処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】４端子対法による計測が行える回路基板検査装置において、プローブのコンタクトチェックのための専用回路が不要であり、また、測定中においても適宜コンタクトチェックが行えるようにする。
【解決手段】高電位側電圧プローブＰ３および低電位側電圧プローブＰ４に接続される各同軸ケーブルＣの内部導体ＩＬと外部導体Ｓとの間に、高周波領域で定在波が発生しないように、インピーダンスマッチング用の抵抗素子Ｒ０とスイッチＳＷ２とを含む直列回路２２を接続し、スイッチＳＷ２がオフであるときの内部導体ＩＬと外部導体Ｓ間の第１の電圧値と、スイッチＳＷ２がオンであるときの内部導体ＩＬと外部導体Ｓ間の第２の電圧値とに基づいて、各電圧プローブＰ３，Ｐ４の接触状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】短時間で二次電池の内部抵抗を測定すること。
【解決手段】二次電池Ｂの内部抵抗を測定する内部抵抗測定装置１において、充放電停止後の二次電池の電圧の時間的変化に基づいて分極電圧を推定する推定手段１ａと、二次電池に充電電流または放電電流を通じる通電手段１ｂと、通電手段によって二次電池に電流が通じている際の電圧と電流を検出する検出手段１ｃと、検出手段によって検出された電圧から推定手段によって推定された分極電圧の影響を除外して求めた二次電池の通電による電圧変化の値と、検出手段によって検出された電流の値とに基づいて二次電池の内部抵抗を算出する算出手段１ｄと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の抵抗変化型センサを備える装置において、入力端子の増加を抑制すること。
【解決手段】プリンタ１０では、第１出力端子ＰＯ１と第２出力端子ＰＯ２の間に直列に接続されるＴＨＭａ５６とＴＨＭｂ５８に対し、第１出力端子ＰＯ１と第２出力端子ＰＯ２から、共に、時間に対して電源電圧Ｖｃｃと接地電圧ＧＮＤが切り換わり、位相が反転した第１交流信号ＡＣ１と第２交流信号ＡＣ２を印加する。第１電圧検出回路７４は、第１入力端子ＰＩ１に入力される中間点ＳＰ１の電圧を測定しており、第１交流信号ＡＣ１が電源電圧Ｖｃｃを印加する際に検出された検出電圧と、第１交流信号ＡＣ１が接地電圧ＧＮＤを印加する際に検出された検出電圧と、に基づいてＴＨＭａ５６とＴＨＭｂ５８の抵抗値を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定値と検査用閾値とを比較する検査機能で装置を動作させる際に、測定者による測定レンジの設定作業が不要でありながら、短時間で測定を行うことができる測定装置を提供する。
【解決手段】インピーダンス測定装置１は、複数の測定レンジの中の一つの測定レンジでＤＵＴ９０のパラメータを測定する測定部２と、測定に用いる一つの測定レンジを測定部２に設定するＣＰＵ３（レンジ制御部）と、測定部２の測定した測定値と予め設定された検査用閾値との比較を行うＣＰＵ３（検査部）とを備える測定装置１であって、レンジ制御部が、検査用閾値に基づいて、一つの測定レンジを決定する。 （もっと読む）