【課題】検査時のプロービングによる不良の疑いのあるチップの流出を確実に防止することのできるウェハ検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】各チップにプローブを接触させて通電テストを制御するテスト制御手段５と、テスト制御手段５の結果からチップの良否を判定するテスト判定手段６と、各チップのアドレス情報と各チップに対するテスト判定手段６のテスト判定情報及びプローブによるコンタクト情報とを対応させて記憶する記憶手段７と、プローブがチップに接触する毎にチップのアドレス情報に対応するコンタクト情報を更新するコンタクト制御手段８と、コンタクト情報が予め設定した限界条件を超えたときはチップを不良と判定するコンタクト判定手段９とを備える。 （もっと読む）

【課題】試験装置のハードウェア仕様および試験装置用のプログラム言語に詳しくないユーザでも、試験パターンを容易に作成させる装置を提供する。
【解決手段】複数の端子を有する被試験デバイスとの間で通信する試験パターンを生成する試験パターン生成装置であって、基本サイクル中に複数の端子のそれぞれとの間で通信する信号パターンを示すサイクルプリミティブをユーザの指示に基づき生成するプリミティブ生成部と、ユーザの指示に基づき複数のサイクルプリミティブを配列して、複数の基本サイクル分の信号パターンを示すデバイスサイクルを生成するデバイスサイクル生成部と、ユーザの指示に基づき複数のデバイスサイクルを配列して、被試験デバイスに供給する試験パターンのシーケンスを生成するシーケンス生成部と、を備える試験パターン生成装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】非導通状態におけるトランジスタから漏出するリーク電流を正確に測定することができるテスト回路を実現する。
【解決手段】遅延回路は、制御トランジスタ、測定対象トランジスタおよびコンデンサを備える。制御トランジスタは、入力端子の電位に応じて導通状態および非導通状態のうちのいずれかに移行することにより出力端子の電位を変化させる。チャネルの極性が前記制御トランジスタと同一の測定対象トランジスタは、電源とアースとの間において制御トランジスタに直列に接続される。コンデンサは、制御トランジスタが導通状態から非導通状態へ移行した場合に測定対象トランジスタから漏出したリーク電流の値に応じて出力端子の電位の変化を遅延させる。反転回路は、出力端子の電位を反転して前記入力端子に帰還させる。 （もっと読む）

【課題】チップ面積，製造コストが増大することなく，試験時における電源電圧降下を抑制する半導体集積回路を提供する。
【解決手段】半導体集積回路は，複数のワード線WLと，複数のワード線と交差する複数のビット線対BL，/BLと，複数のワード線と複数のビット線対との交差部に設けられた複数のメモリセル211とを有するメモリと，電源供給線VDDLからの電源電圧を電源として所定の論理演算を行うLOGIC101と，論理回論の試験制御を行う試験制御回路と，電源供給線VDDLに接続され，電源供給線VDDLからの電源電圧を複数のワード線WLに供給するドライバ部222と，試験制御回路の試験制御実行時に，電源電圧を複数のワード線WLに供給して複数のメモリセル211に電源電圧を供給するチャージ回路222aとを有する。 （もっと読む）