本願発明の装置は、基板およびＭＥＭデバイスを備える。ＭＥＭは、コーム・コンデンサおよびコーム・コンデンサの一方の電極に物理的に接続される磁気要素を含む。磁気要素は、コーム・コンデンサの静電容量を変更する態様で、一方の電極を移動できる。装置は、磁気要素を基板に物理的に接続する少なくとも１つのばねも備える。
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【課題】
電子放出電流が大きく、製造が容易で堅牢性に富んだ電子放出電流の大きな電子放出を実現し、３極真空管、磁気センサ、真空センサなどの応用デバイスを提供すること。
【解決手段】
陰極２から陽極３へ向けて電子を放出する電子放出素子において、陰極２と陰極２に隣接する電子放出領域１に跨って、かつ電気絶縁性薄膜５を介してゲート電極４を設け、陰極２に対して正となる電圧をゲート電極４に印加することにより、ゲート電極４近傍の陰極２における電子放出面６の障壁幅を狭くして電子に対するトンネル効果を促進し、陰極２から陽極３への電子放出を生じ易くしたことを特徴とする。 （もっと読む）

部材（２６）を有する基板と、前記振動部材（２６）に交流（ＡＣ）を通過させるための手段とを備えた共振磁力計（２０）が記載されている。この磁力計は前記振動部材（２６）に磁界から独立した振動力を与えるための駆動手段（４６、４８）も設けられていることを特徴とする。磁力計のマイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）の実施例も記載されている。
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【目的】荷電粒子線照射領域よりも微細な荷電粒子線の個々の軌道を求め、磁界による偏向角や荷電粒子線の入射位置を求める画像処理方法及び装置を実現する。
【構成】磁界23と像面17の位置を変化させて２枚以上の像を取得する。得られた像から特徴点を抽出し、３次元空間に点を配置する。着目した点について、隣接する画像から最近傍の点を探し出して線分で結ぶ。全ての点について線分を形成させ、３次元空間内での直線、すなわち軌道を決定する。この軌道から磁界による偏向角や荷電粒子線の入射位置を求める。
【効果】簡単な計算機処理で、荷電粒子線の磁界による偏向角や荷電粒子線の磁界への入射位置を求めることができる。また、広い領域の磁界の情報を含んだ画像から、空間の微細領域の磁界情報を抽出することができる。 （もっと読む）

【目的】 空間の各点における磁界の大きさと方向を高空間分解能、高磁界感度で測定する。
【構成】 画像として不規則な模様が得られる試料に荷電粒子線を透過させて、第１の像を得る。さらに、試料と像面との間で荷電粒子線の通る空間に被測定磁界を配置して、上述と同様に不規則な模様の第２の像を得る。第１の像と第２の像を用いた画像処理から、荷電粒子線の被測定磁界による偏向角を求める。この偏向角の抽出を測定を行いたい空間の断面全体について行い、荷電粒子線による磁界の投影データを構築する。さらに被測定磁界を回転させ、各方向から上記の処理を行い、投影データの構築を行う。得られた投影データとコンピュータ断層映像手法で空間の各点の磁界を求める。
【効果】 微小空間領域に存在する磁界を磁界発生試料の平坦平面極近傍で高空間分解能かつ高感度で測定することが可能になる。 （もっと読む）

【目的】電子ビームが磁性体薄膜を透過するときに受けるローレンツ力による偏向から、この薄膜の磁気的特性を求めるローレンツ顕微鏡において、像回転や倍率変化を起こすことなく、デフォーカス距離（焦点のずれ距離）を変化させることのできる装置、及びそれを使った観察方法を提供する。
【構成】電子ビーム１が通過する孔を中央部に有する試料ホルダ４の内部に磁性薄膜試料を保持し、この試料ホルダ４をその外面側の３個所で電子ビーム１と垂直な方向に加圧支持する積層型圧電素子２と、試料ホルダ４をその下面側の３個所で電子ビーム１と平行な方向に移動可能に支持するバイモルフ型圧電素子３と、これらの圧電素子にそれぞれ別個に調節可能な電圧を印加する印加電圧制御手段とを設けて、試料ホルダ４を電子ビーム１と平行方向に移動させることによりデフォーカス距離を設定する構成とする。 （もっと読む）