【課題】 アナモルフィックな結像光学系を用いた画像読取光学系であって、焦点ズレによるコントラスト性能の変化が少ない画像読取光学系およびこれを用いた画像読取装置を提供する。
【解決手段】 光学的位相変更フィルタは、入射する光束の中心における面法線を含み、かつ主走査方向あるいは副走査方向を含む所定面に関してのみ、対称な形状の面形状成分を備え、入射する光束の中心における面法線を含み、前記所定面に直交する面に関して一方側を前記進相領域、他方側を前記遅相領域とする。 （もっと読む）

【課題】 極紫外スペクトル範囲（ＥＵＶ）内の波長に向けて構成された反射投影レンズを用いてマスクを層上に結像するためのマイクロリソグラフィ投影露光装置を提供する。
【解決手段】 マイクロリソグラフィ投影露光装置は、投影光源（ＰＬＳ）と、加熱光源（ＨＬＳ）と、反射投影レンズ（２６）と、好ましくは投影レンズ（２６）の外側に配置され、ドライバ（１２４）を用いて第１の位置と第２の位置との間で変位させることができる反射スイッチング要素（１２２；２２２；３２２；４２２；１４；１４，１４０）とを含む。この場合、スイッチング要素の第１の位置では、投影光（ＰＬ）のみが投影レンズ（２６）に入射することができ、スイッチング要素の第２の位置では、加熱光（ＨＬ）のみがこの投影レンズに入射することができる。 （もっと読む）

【課題】 横方向から観測した際、白熱電球のフィラメントのように縦方向に線状に発光させることが可能であり、かつ、横方向ではなく光軸方向に延びるスリムな形状をとることが可能な光学素子および照明装置を提供する。
【解決手段】 光学素子２は、光が入射する入射面３と、光を下向き方向に屈折して出射させる円錐状に突起した第１の領域４と、入射面３よりも外側方向に位置し、光を光軸に略平行に上方に向けて反射する第２の領域５と、該第２の領域５によって光軸に略平行に上方に向けて反射された光を略水平方向に全反射する複数の全反射面１１を、光軸に略平行な面１２で階段状に繰り返しつなぎ合わせた第３の領域６と、光軸に略平行な面を有する第４の領域７、第５の領域８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 良好な結像性能と小型化を両立する投影光学系を提供する。
【解決手段】 投影光学系は、物体面に配置された物体の中間像を形成する第１の反射光学系と前記中間像を像面に投影する第２の反射光学系とを含む。前記第１の反射光学系は、前記物体面から出射され前記物体面に直交する第１方向に沿って入射した光を反射する第１の平面鏡と、前記第１の平面鏡からの光を反射する第１の光学系と、前記第１の光学系からの光を反射して前記中間像の形成位置に向け前記第１方向に沿って出射する第２の平面鏡とを有する。前記第２の平面鏡における光の反射位置と前記中間像の形成位置との間の前記第１方向における距離は前記第１の平面鏡における光の反射位置と前記物体面との間の前記第１方向における距離よりも短い。 （もっと読む）

【課題】広範な波長範囲の光に対しても高い反射率を実現でき、光エネルギの大きい光に対して用いても、前述の熱による損傷を受けることがない新規な反射光学素子・反射光学系を実現する。
【解決手段】光束の進行方向を変換する光学素子であって、入射面ＳＩと反射面ＳＲと射出面ＳＯを有するプリズム状であり、入射面ＳＩから入射する光束を反射面ＳＲで全反射させ、反射した光束を射出面ＳＯから射出させて光束の進行方向を変換する機能を持ち、入射面ＳＩと射出面ＳＯの少なくとも一方に、サブ波長構造による反射防止層ＳＷＳが形成されている。 （もっと読む）

【課題】カタディオプトリック系が鏡等の反射器を含む場合の光線の経路を計算する式を提供する。
【解決手段】シーン内の点（ＰＳ）と、カタディオプトリック系のカメラの投影中心（ＣＯＰ）との間の光線の反射点の３次元（３Ｄ）ロケーションが求められる。カタディオプトリック系は非中央式であり、カメラおよび反射器を含み、該反射器の表面は対称軸の周りに回転対称な２次曲面である。反射法則、反射器の式、およびＣＯＰと、ＰＳと、反射点における反射器に対する法線の、対称軸との交点とによって規定される反射面を示す式に基づいて反射点の３Ｄロケーションが求められる。 （もっと読む）

【課題】対物光学系、特に、投影対物光学系、好ましくは、マイクロリソグラフィー投影対物光学系の提供。
【解決手段】光線束を通過させる開口部を有さない少なくとも１枚の鏡Ｓ１を有する第１部分対物光学系１００と、少なくとも１枚の１次凹面鏡ＳＫ１と１枚の２次凹面鏡ＳＫ２を有する第２部分対物光学系２００とを含み、１次凹面鏡ＳＫ１と２次凹面鏡ＳＫ２が光線束を通過させる開口部を有する、動作波長が特に１９３ｎｍ以下の、対物光学系、特にマイクロリソグラフィー投影対物光学系に関する。 （もっと読む）

【課題】照明光学系において、光源からの光の角度分布の不均一性を解消しつつ、均一な光強度分布を高い効率で形成するために有利な技術を提供する。
【解決手段】 光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系は、前記光源からの光を分割して複数の光束を生成する分割部と、前記分割部によって生成された前記複数の光束の光強度分布のそれぞれを均一化する第１反射型インテグレータと、前記第１反射型インテグレータからの光を集光する集光部と、前記集光部からの光を受けて前記被照明面を照明する第２反射型インテグレータと、前記第２反射型インテグレータと前記被照明面との間に配置される開口絞りとを備え、前記分割部は、前記開口絞りが配置される面に対して、前記光源から前記分割部に提供される光の断面形状とは異なる断面形状を有する光が入射するように、前記複数の光束を生成する。 （もっと読む）

【課題】反射型マスクにおいて正反射した光およびパターン側壁で反射した光の両方を考慮しつつ、反射型マスクの射出角およびウエハの入射角の最適化を図ることができる反射型露光方法を提供する。
【解決手段】反射型露光方法は、反射型マスクにおいて、特定のパターン、例えば、最も寸法の小さいパターンを選択するステップと、該パターンについてマスク近傍の電磁界を計算するステップと、計算されたマスク近傍の電磁界から求まる回折光の分布から最も強度が強い伝播方向を求めるステップを含む。さらに、求めた伝播方向が所定の射出角となるようにマスク面の傾きを調整するステップと、マスク面から該伝播方向に伝播する光が投影光学系を通じてウエハに入射する方向に、ウエハ面を所定の角度に調整するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】所定の回転軸を中心にして楕円を回転させたときにできる楕円体の内周面の一部又は全部によって構成された楕円鏡を用いた光学ユニットに関し、整った光を、照射面積を変えて出力する。
【解決手段】光源２１から発せられた光に由来する光Ｌｓが集束する所定点１１０と、所定の回転軸Ｒ１を中心にして楕円を回転させたときにできる楕円体の内周面の一部又は全部によって構成され回転軸Ｒ１上に第１焦点ｆ１および第２焦点ｆ２を有し、第１焦点ｆ１が所定点１１０に一致し、所定点１１０を通過してきた光Ｌ１１，２１，３１を反射する楕円鏡１１１と、第１焦点ｆ１が所定点１１０に一致した状態を保ったまま、所定点１１０を通過してきた光Ｌ１１，２１，３１が楕円鏡１１１に当たる楕円鏡１１１上の位置を調整可能な調整手段１１３とを備える。 （もっと読む）