【課題】処理対象基板とランプとの間に空気が流入することが抑制され、従って、処理対象基板に対して高い効率で光を照射することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】基板搬送路に沿って搬送される処理対象基板の一面に向けて光を照射するエキシマランプが内蔵されたランプハウスと、前記処理対象基板と前記エキシマランプとの間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えてなり、前記基板搬送路における前記ランプハウスの上流側に当該ランプハウスに隣接して圧力緩衝空間が形成された光照射装置であって、基板搬送路における圧力緩衝空間の上流側には、処理対象基板における光が照射される一面に沿って流れる空気を排出する空気排出手段が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カスケード方式の洗浄装置における菌体の繁殖を簡易な手段で防止することができ、被洗浄物の洗浄効率を向上させることができる洗浄装置及び方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１がローラー２で搬送され、ジェット洗浄ノズル３及び最終リンスノズル４で洗浄される。最終リンスノズル４に純水が供給される。最終リンスノズル４からの洗浄排水がタンク７に流入し、ポンプ９からノズル３に供給される。タンク７内の菌体数が増加した場合、タンク７内の水をオゾン水供給装置１２に循環通水し、タンク７内にオゾン水を供給し、殺菌する。 （もっと読む）

【課題】他の材料との相溶性に優れ、化学的にも安定で、かつ液晶電気光学素子に用いた場合に広い温度範囲で高速応答性に優れ低電圧駆動できる性質を有する液晶化合物およびその製造方法、該液晶化合物を含有する液晶組成物および液晶電気光学素子を提供する。
【解決手段】Ｒ¹−（Ａ¹）_a−Ｚ¹−（Ａ²）_b−Ｚ²−（Ａ³）_c−Ｚ³−Ａ⁴−ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ−Ａ⁵−Ｚ⁴−（Ａ⁶）_d−Ｚ⁵−（Ａ⁷）_e−Ｒ²（１）で特定される−ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ−連結基を有する液晶化合物。式（１）中、Ｒ1、Ｒ2：水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜１８の１価の脂肪族炭化水素基等を示す。Ａ1、Ａ２、Ａ３、Ａ4、Ａ５、Ａ6、Ａ7：トランス−１，４−シクロへキシレン基等を示す。Ｚ1、Ｚ2、Ｚ3、Ｚ4、Ｚ5：単結合、炭素数１〜４の２価の脂肪族炭化水素基を示す。ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ：０または１。ただし、０≦ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ≦３。 （もっと読む）

【課題】他の液晶材料または非液晶材料との相溶性に優れ、化学的にも安定であり、かつ液晶電気光学素子に用いた場合に広い温度範囲で高速応答性に優れ低電圧駆動できる性質を有する液晶化合物およびその製造方法、該液晶化合物を含有する液晶組成物および液晶電気光学素子の提供。
【解決手段】Ｒ¹−（Ａ¹）_a−Ｚ¹−（Ａ²）_b−Ｚ²−（Ａ³）_c−Ｚ³−Ａ⁴−ＣＦ₂ＣＨＦＣＦ₂Ｏ−Ａ⁵−Ｚ⁴−（Ａ⁶）_d−Ｚ⁵−（Ａ⁷）_e−Ｒ²（１）で特定される−ＣＦ₂ＣＨＦＣＦ₂Ｏ−連結基を有する液晶化合物。 （もっと読む）

【課題】熱安定性、優れた誘電特性および比較的低い粘度を有する液晶化合物および液晶媒体を提供する。
【解決手段】液晶化合物は、式（１）で表され、


式中、Ｒ１は、Ｈ、炭素原子が１〜１０個のアルキル基、または炭素原子が２〜１０個のアルケニル基を示し、各-（ＣＨ₂）-は、置換されていないか、あるいは、-Ｏ-、-ＣＯ-、-ＣＯＯ-または-ＯＣＯ-により置換され、アルキル基またはアルケニル基上の水素原子は、フッ素原子で置換されてもよい。Ａ₁、Ａ₂、Ａ₃およびＡ₄は、それぞれ独立して、１，４-フェニレン、１，４-シクロヘキシレン、および２，５-テトラヒドロピラニレンから成る群を示す。Ａ₁、Ａ₂、Ａ₃およびＡ₄のうち少なくとも１つは、インダン-２，５-ジイルである。 （もっと読む）