国際特許分類[G03F]の内容
物理学 (1,541,580) | 写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ (245,998) | フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置 (42,984)
国際特許分類[G03F]の下位に属する分類
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造に用いる原稿の作成 (3,755)
色分解;色調の修正 (78)
スクリーン法;そのためのスクリーン (15)
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化またはパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置 (38,375)
原稿,マスク,フレーム,写真シート,表面構造または模様が作成された表面,の位置決めまたは位置合わせ,例.自動的なもの (761)
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