【課題】補強板を用いずともペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保し、ペリクルを運搬する際のペリクル膜のシワの発生を防止する。
【解決手段】ペリクル枠体の一縁面にペリクル膜が展張されたペリクル４を載置するトレイ２と、該トレイ２の上部から被せる蓋３と、を有するペリクル収納容器２１において、該トレイ２は、トレイ中央底面５と、該トレイ中央底面５から上部側に隆起してペリクル４を載置する略角環状の載置台６と、該載置台６の外周縁から水平方向に延びる外延部７ａ（嵌合部７）と、を有し、該トレイ中央底面５と該載置台６の間と、該載置台６と該外延部７ｂ（嵌合部７）の間とに、それぞれに緩衝部８，９を有する。 （もっと読む）

【課題】 ペリクルにおける異物検査に際して 粘着剤内や粘着剤表面で反射、屈折しながら迷光となって誤検出を起こすことのない粘着剤を選定する。
【解決手段】 少なくともペリクル膜と、前記ペリクル膜が一方の端面に貼り付けられ、他方の端面にペリクルをガラス基盤に貼り付けるための粘着剤を介して離型シート（セパレータ）が設けられたペリクルフレームとから構成されるペリクルにおける粘着剤において、前記粘着剤の全光線透過率が７０％以下であることを特徴とする。
前記粘着剤が黒色であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】露光装置のマスクステージにチャックした後の平坦度が良好なマスクブランク用基板。
【解決手段】マスクステージにチャックされる側の主表面における外周端面から内側２ｍｍの領域を除いた方形の領域１６０の平坦度が０．６μｍ以下であり、前記領域１６０は、マスクパターンを形成するための方形領域であるパターンエリア１４０を含み、前記領域１６０のコーナー部における形状は、基板主表面の中心を通り基板の四隅の頂点を結ぶ対角方向における基板主表面の形状を測定したときに、前記基板主表面における外周端面から内側１５ｍｍの領域を除いた内側方形領域１７０のコーナー１８０における高さを基準としたときの外周端面から内側１０ｍｍの領域を除いた外側方形領域（この場合、パターンエリア１４０と同じ）のコーナー１９０における高さが、−０．０２μｍ以上０．０５μｍ以下であることを特徴とするマスクブランク用基板。 （もっと読む）

【課題】 ストッカー棚部に清浄空気の流通を行い、ストッカー内の清浄度を維持しながら周辺からの異物の浸入を防止することが出来るクリーンルーム内製品保管用ストッカーを提供する。
【解決手段】 クリーンルーム内で使用する製品及び中間品ストッカーであって、ストッカーが棚状の構造を持ち、さらには前後が開口してクリーンルーム内の気流を流通させることが出来るようにしたものであって、ストッカーの一開口部側の全面を、一定距離を置いてパネルによって遮断し外部からの異物の侵入を防ぐようにしたことを特徴とするクリーンルーム内製品保管用ストッカーである。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶＬ用反射型マスクなどに使用されるガラス基板のように極めて高い表面平滑性と表面精度が要求されるガラス基板の研磨方法を提供する。
【解決手段】平均一次粒子径が５０ｎｍ以下のコロイダルシリカ、酸および水を含み、ｐＨが０．５〜４の範囲になるように調整してなる研磨スラリーを用いて、ＳｉＯ_２を主成分とするガラス基板の表面を、原子間力顕微鏡で測定した表面粗さＲｍｓが０．１５ｎｍ以下になるように研磨する。 （もっと読む）

【課題】 異物の侵入が無く、かつ、器具等を要さず、開封が容易な、製品包装袋による製品収納方法を提供する。
【解決手段】 製品収納袋の最奥部まで内容物を入れ、入れられた内容物の製品収納袋の開口側の端部位置と製品収納袋の開口部の距離の１／２の位置で一旦袋を折り曲げた後、更にその１／２の位置で袋を折り曲げ、その後内容物の端部に相当する位置で製品収納袋を折り返し、製品収納袋が開かないように折り返し部と収納物上の製品収納袋の外を粘着テープで留めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】補強板を用いずともペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保でき、ペリクルを自動取り出しする際のトレイ吸着にも最適な形状を得る。
【解決手段】ペリクル収納容器１は、ペリクル４が載置されるトレイ２と蓋３とにより構成され、トレイ２は、トレイ中央底面５と、ペリクル４が載置される載置台６と、蓋３との嵌合部７とを備える。載置台６には、トレイ２の外縁側に、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向の段差８が形成され、トレイ中央底面５側に、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向の段差９が形成される。段差９は、載置台６の角部付近に配置される第一水平面部の角部Ａが略三角形状に形成されるとともに、第二垂直面部がトレイ２外形の対角線と交差する位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】空間内に存在する化学物質を容易に回収可能な回収装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る回収装置は、一つ又は複数の部材によって構成された空間内の物質を回収する回収装置であって、上記空間内に気体又は溶媒を導入するための導入口を上記部材に形成する、導入用ニードル１３と、上記導入口を介して上記空間内に上記気体又は溶媒を供給する供給配管１４と、上記空間から上記物質を含む上記気体又は溶媒を排出するための排出口を上記部材に形成する、回収用ニードル１５と、上記排出口を介して上記物質を含む気体又は溶媒を回収する回収配管１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 輸送中の発塵が極めて少なく、収納したペリクルが清浄に保たれる大型のペリクルを収納するペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるペリクルを収納する大型のペリクル収納容器であって、ペリクル収納容器本体は金属製であるとともに、周縁で載置・固定する蓋体が接触する該ペリクル収納容器の表面に、保護部材が設けられ、ペリクル収納容器本体と蓋体とは該保護部材を介して載置・固定することを特徴とする。前記保護部材は、少なくとも２層からなっており、その蓋体と接する層（上層）は樹脂であり、ペリクル収納容器本体と接する層（下層）はシリコーン粘着剤であることが好ましく、中間層として弾性体層を有することがさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】周囲の環境を汚染することがなく、均一塗布性に優れた、ペリクルフレームの通気孔内壁に粘着剤を塗布する方法を提供する。
【解決手段】通気孔を有するペリクルフレームの外側面が、水平又は４５度以下に傾斜するようにフレームを保持し、有機溶媒により１０質量％以下に希釈された粘着剤を、前記通気孔に向けて滴下するペリクルフレームの通気孔内壁に粘着剤を塗布する方法。前記有機溶媒が、酢酸エチルとヘキサンを、その混合比が3：７〜５：５の範囲で混合してなる混合溶媒であることを特徴とする。 （もっと読む）