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国際特許分類[G03F7/004]の内容

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【課題】感度、解像度、現像性、密着性、耐めっき性、難燃性及び耐折性に優れ、特に黒色レジストを形成した場合であっても、感度及び密着性に優れたレジストが得られる感光性樹脂組成物、及びこれを用いたフォトレジストフィルムの提供。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物において、前記(B) 光重合性化合物として、(B1)一般式(I)で表される化合物を少なくとも含有する感光性樹脂組成物、及びこの感光性樹脂組成物の層が支持体上に形成されたフォトレジストフィルム。
【化1】


(式中、R及びRはそれぞれ独立にH、又はCHであり、Xは炭素数が1〜6個のアルキレン基であり、a及びbはそれぞれ正の整数であり、かつa及びbの合計は2〜30の整数を示す。また、Yは炭素数が1〜15個の脂肪族炭化水素基、又は炭素数が5〜20個の脂環式炭化水素基を示す。) (もっと読む)


【課題】スカムの発生が軽減され、良好な形状のレジストパターンを製造し得るレジスト組成物レジスト組成物の提供。
【解決手段】(A)、(B)、(E)及び(D)を含有するレジスト組成物。(A)アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に溶解し得る樹脂、(B)スルホニウム塩又はヨードニウム塩からなる酸発生剤、(E)式(I)で示される化合物、


[式(I)中、環Xは、環を構成する原子として4級窒素原子を1つ含む、5員環又は6員環の複素環を表す。Rはアルキル基、R及びRは、フッ素原子を有するアルキル基を表す。]、(D)溶剤。 (もっと読む)


【課題】近接露光方式の一般的なフォトマスクを用い、線幅バラつきが少なくパターン欠損のない、高品質な線幅5μm以下のブラックマトリックスを形成するための黒色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】少なくとも黒色顔料、バインダ樹脂、光重合性モノマー、下記式(1)で表される光重合開始剤、重合禁止剤および溶剤を含有する黒色感光性樹脂組成物。
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【課題】解像度に優れ、良好な接着性および保存安定性を有する感光性接着フィルムを提供する。
【解決手段】(A)下記化学式等で表される化合物からなる群より選択される少なくとも1種の光カチオン重合開始剤0.5〜10質量部、(B)エポキシ樹脂10〜30質量部、(C)エポキシ樹脂の硬化剤5〜25質量部、(D)光ラジカル重合開始剤0.1〜8質量部、(E)カルボキシル基を有する(メタ)アクリル樹脂30〜75質量部、を含む接着剤層が剥離基材上に形成されてなる、感光性接着フィルム。Ph−S−Ph−S+(X)(X)Y-(式)。前記X、Xは、水素原子、炭素数1〜12の直鎖状もしくは分枝状のアルキル基、フェニル基、ベンジル基であり、Yは、ヘキサフルオロアルセニウム基、ヘキサフルオロホスホニウム基、ヘキサフルオロアンチモネート基、トリフルオロメタンスルホニウム基、またはテトラフルオロボロニウム基。 (もっと読む)


【課題】ネガ型パターンを高解像性で、かつ、良好な形状で形成できるレジストパターン形成方法と、これに用いるのに好適なレジスト組成物の提供。
【解決手段】基材成分(A)及び光塩基発生剤成分を含有するレジスト組成物を用いてレジスト膜を形成する工程、レジスト膜を露光する工程、露光後にベークを行う工程、レジスト膜をアルカリ現像し、未露光部が溶解除去されたネガ型レジストパターンを形成する工程を含むレジストパターン形成方法、及びこれに用いるレジスト組成物であって、(A)成分は酸分解性基を含む構成単位、−SO−又はラクトン含有環式基を含む構成単位、式(a3−1)で表される構成単位(但し10モル%以下)を有する高分子化合物を含む。
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【課題】 焦点深度ラチチュード(Depth Of Focus)が大きく、経時でのパーティクル発生が少ないという液物性を有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、該組成物を用いたレジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法及び電子デバイスを提供する。
【解決手段】 (A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(B)酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、
前記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物が、前記化合物(A)として、特定の2種の化合物からなる組み合わせ(A−1)、又は、特定の2種の化合物からなる組み合わせ(A−2)を含有する、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、該組成物を用いたレジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法及び電子デバイス。 (もっと読む)


【課題】紫色顔料の代わりに紫色染料を用い、青色着色画素で問題となっている、明度の低下や低コントラストといった問題をなくし、さらに耐熱性に優れた青色着色画素を含むカラーフィルタ及びそれを具備する液晶表示装置の提供するにある。
【解決手段】青色着色塗膜中に青色顔料C.I.Pigment Blue15:6と化1で示される紫色染料、黄色顔料C.I.Pigment Yellow150、および酸化防止剤を含み、前記黄色顔料C.I.Pigment Yellow150の割合が全顔料中の質量比率が0.01%以上、5%以下であること。 (もっと読む)


【課題】微細なパターンを有し且つ優れた信頼性を有するソルダーレジストを表面に備えるプリント配線板を効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】開口を有するソルダーレジストを表面に備えるプリント配線板の製造方法であって、ドライフィルムレジストして機能する第一の感光性樹脂組成物からなる第一の層を形成する工程、ソルダーレジストとして機能する第二の感光性樹脂組成物からなる第二の層を形成する工程とを備えるプリント配線板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】厚膜でありながら高解像度かつ形状が良好であり、感度が高く、さらにコントラスト比に優れたパターンを形成できる感光性着色組成物、それを用いて形成されてなる着色膜、及び該着色膜を具備するカラーフィルタの提供を目的とすることにある。
【解決手段】緑色着色剤(A)と、樹脂(B)と、モノマー(C)と、式(1)で表わされる光重合開始剤(D)と、多官能チオール(E)とを含有する感光性着色組成物であって、該多官能チオール(D)を、該感光性着色組成物の不揮発分100重量%中0.10〜1.50重量%含有することを特徴とする感光性着色組成物により解決される。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、高透明性、高密着性、かつ酸およびアルカリ薬液に対して優れた耐薬品性を有するポジ型感光性組成物を提供すること、およびそのポジ型感光性組成物の製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明のポジ型感光性組成物は、(a)ポリシロキサン、(b)ナフトキノンジアジド化合物、(c)ウレア結合をまたはイソシアネート基を有するシランカップリング剤、(d)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物であって、前記(c)ウレア結合またはイソシアネート基を有するシランカップリング剤が、特定の構造を有する化合物である。 (もっと読む)


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