国際特許分類［G03F7/008］の内容
物理学 (1,541,580) | 写真；映画；光波以外の波を使用する類似技術；電子写真；ホログラフイ (245,998) | フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造，例．印刷用，半導体装置の製造法用；そのための材料；そのための原稿；そのために特に適合した装置 (42,984) | フォトメカニカル法，例．フォトリソグラフ法，による凹凸化またはパターン化された表面，例．印刷表面，の製造；そのための材料，例．フォトレジストからなるもの；そのため特に適合した装置 (38,375) | 感光材料 (22,284) | アジド (15)
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光カチオン重合性エポキシ樹脂組成物、液体吐出ヘッド、およびその製造方法
【課題】数μｍ〜数十μｍの厚膜においても、すそ引きを発生することなく、テーパ形状の精度良いパターンが形成可能である光カチオン重合性エポキシ樹脂組成物を用いた液体吐出ヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】基板１上にネガ型感光性樹脂１１の層を形成する工程と、層に対して３６５ｎｍの波長の光で露光を行い、吐出部７を形成する工程と、を有し、ネガ型感光性樹脂は、エポキシ樹脂と、光カチオン重合開始剤と、非共有電子対を有する原子を有し、非共有電子対を持つ原子が、芳香環に直接結合している、もしくはヘテロ環として取り込まれている多環式芳香族化合物と、を含む、液体吐出ヘッドの製造方法
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ポジ型感光性組成物、パターン膜の製造方法及び半導体素子
【課題】露光部の感光性組成物を現像液に十分に溶解させることができ、パターン形状に優れたパターン膜を得ることができるポジ型感光性組成物、これを用いたパターン膜の製造方法及び半導体素子を提供する。
【解決手段】アルコキシシランの縮合物（Ａ）と、ポジ型感光性組成物を現像液に不溶化する化合物であり、アルコキシシランの縮合物（Ａ）よりも疎水性が高く、光線もしくは放射線の照射により分解する部位を有する化合物（Ｂ）とを含むポジ型感光性組成物であり、感光性組成物１が光線もしくは放射線で選択的に露光されたときに、露光部の感光性組成物１Ａが現像液に可溶になるポジ型感光性組成物、これを用いたパターン膜１Ｃの製造方法及び半導体素子。
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感光性組成物及び高分子複合体
【課題】解像度が良好で、親水性表面を有し且つ水中での力学的強度が高い高分子複合体を形成できる感光性樹脂組成物及びそれを用いて形成した高分子複合体を提供する。
【解決手段】ナノ微粒子と溶媒と下記式（１）で表される感光性樹脂とを有する感光性組成物とする。
（式（１）中、Ｘ及びＹは、それぞれ独立に、何れか一方が下記式（２）で表される感光基ユニットでもう一方がアミノ基。）
（Ｒ3及びＲ4の少なくとも一方に芳香環を介してアジド基を有する。）
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樹脂パターンの形成方法
【課題】製造工程における樹脂パターンの膨潤や劣化などを抑制することができ、使用可能な樹脂の選択性の幅が広く、微細かつ高精細な樹脂パターンを低コストで簡便に効率よく形成可能な樹脂パターンの形成方法等の提供。
【解決手段】本発明の樹脂パターンの形成方法は、基体上に、光が照射されると前記樹脂と結合可能となる結合性基と、前記基体の表面と結合可能な官能基とを少なくとも有する樹脂固定用化合物を含む樹脂固定層を形成する樹脂固定層形成工程と、前記樹脂固定層上に、前記樹脂を含む樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、前記樹脂層に光を像様に照射することにより、該光を照射した領域の前記樹脂固定層と前記樹脂層とを結合させて潜像を形成する潜像形成工程と、前記光が照射されていない領域における樹脂層を、物理的刺激により剥離し除去することにより、樹脂パターンを現像する現像工程とを少なくとも含む。
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フォトレジスト組成物
【課題】 均一性（ユニフォミティー）に優れ、感度、解像性、現像時の密着性や現像性などパターン形成の品質を向上するフォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】 ポリビニルアルコールにビニルピロリドンがグラフト重合した、ビニルピロリドン変性ポリビニルアルコールを含有してなることを特徴とするフォトレジスト組成物。前記ビニルピロリドン変性ポリビニルアルコールは、ポリビニルアルコール溶液にビニルピロリドンを配合し、重合開始剤として過酸化水素又は有機過酸化物を用いてグラフト重合し得ることができる。
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感光性化合物及び感光性モノマ−を用いる（共）重合体
【課題】光に対する感度が向上する感光性樹脂を構成するため、水溶性の新規な芳香族アジド化合物及び、それから誘導される感光性モノマーおよび（共）重合体を提供することを目的とする。
【解決手段】新規な芳香族アジド化合物からなる感光性モノマー（ＩＩ）、その前駆体（Ｙ＝Ｈ）および（ＩＩ）で表されるモノマーの（共）重合体を提供する。
（式中、Ｘは水素原子、Ｎａ、Ｋ、ＮＨ４を、Ｒ１、Ｒ２は同じでも異なっていても良く、水素原子、ハロゲン基、ヒドロキシ基、炭素数５以下のアルコキシ基を表し、Ｙはモノマーの場合、メタクリロイル、アクリロイルなどの不飽和炭化水素基を表わす。）
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ポリマーデバイスの製造
（ｉ）ポリマーまたはオリゴマーおよび架橋部分を含む溶液を基板上に成膜して層を形成する工程、および（ｉｉ）不溶性架橋化ポリマーを形成する条件下で工程（ｉ）で形成された層を硬化する工程を備え、架橋部分が溶液中のポリマーまたはオリゴマーおよび架橋部分の繰返し単位のモル総数に対して０．０５から５モル％の範囲の量で工程（ｉ）に存在することを特徴とする、ポリマーデバイスを形成する方法。 （もっと読む）
多層配線構造の製造方法
【課題】 良好な感光性を有し、かつ、配線段差の平坦化性が良好な多層配線構造を提供する。
【解決手段】 （ａ）溶剤の存在下に芳香族四塩基酸二無水物に対して、炭素数４以下の１価のアルコールを加えて加熱し、四塩基酸二無水物の全部又は一部をジエステルとし、一般式（Ｉ）で表されるアミン化合物とジアミン化合物とを、ジエステルと反応させて得られるポリイミド系樹脂前駆体、（ｂ）一般式（II）で表されるアジド化合物、（ｃ）炭素−炭素二重結合を２以上有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物の層を、パターンが形成された基板の第一の配線層上に形成し、露光、現像して層間絶縁膜とし、その上に第二の配線層を形成する。
（式（Ｉ）中、Ｒ1は芳香族環状基を、Ｒ2は水素又は炭素数３以下の炭化水素基を示す、また式（II）中、Ｒ3 は、炭素数２以上の脂肪族基等を示す）
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カラーフィルターの製造方法
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