物理学 | 写真；映画；光波以外の波を使用する類似技術；電子写真；ホログラフイ | フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造，例．印刷用，半導体装置の製造法用；そのための材料；そのための原稿；そのために特に適合した装置 | フォトメカニカル法，例．フォトリソグラフ法，による凹凸化またはパターン化された表面，例．印刷表面，の製造；そのための材料，例．フォトレジストからなるもの；そのため特に適合した装置 | 感光材料 | 不溶性または特異的に親水性になる高分子化合物

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【課題】塗膜やパターン上に対する配向膜溶液のはじきを低減させる硬化性樹脂組成物。
【解決手段】樹脂、チタン化合物及び溶剤を含み、樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位と、炭素数２〜４の環状エーテル及び炭素−炭素不飽和二重結合を有する単量体に由来する構造単位とを含む付加重合体であり、該炭素数２〜４の環状エーテル及び炭素−炭素不飽和二重結合を有する単量体に由来する構造単位の含有量が、樹脂を構成する構造単位全量に対して、２モル％以上９５モル％以下である硬化性樹脂組成物。

【課題】アルカリ現像性、露光感度、および解像度に優れ、その硬化物が、低温処理を採用した場合でも基板との密着性および弾性回復特性に優れているカラーフィルター保護膜用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】種々の酸性基またはこれらの塩を含有する多官能（メタ）アクリレートモノマー（Ａ）、２個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物（Ｂ）、および光ラジカル重合開始剤（Ｃ）を含有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物で、感光性樹脂組成物の（Ａ）〜（Ｃ）の合計重量に基づく酸価が１０〜１１０ｍｇＫＯＨ／ｇで、かつ感光性樹脂組成物の（Ａ）〜（Ｃ）の合計に基づく（メタ）アクリロイル基濃度が６．５〜１０．０ｍｍｏｌ／ｇである。

【課題】特定のグアニジン化合物を含有することにより、スカム低減性に優れ、解像性が優れることにより良好な形状のパターンを形成することができ、感度、ＬＥＲにも優れ、更にＰＥＢ温度依存性の抑制された感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、この組成物を用いて形成されたレジスト膜、並びに、この組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】ｌｏｇＰ値１．２以上のグアニジン化合物（Ａ）、及び活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物（Ｂ）を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。

【課題】 アルカリ現像性、露光感度、および解像度に優れ、その硬化物が、低温処理を採用した場合でも、基板との密着性および弾性回復特性に優れている有機ＥＬ素子用感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】 種々の酸性基またはこれらの塩を含有する多官能（メタ）アクリレートモノマー（Ａ）、光ラジカル重合開始剤（Ｂ）、エポキシ基および／またはアルコキシ基を２個以上を分子内に有するカチオン重合性化合物（Ｃ）、２個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物（Ｄ）、および酸発生剤（Ｅ）を含有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物で、光照射による硬化物を２００℃以下でポストベークさせて形成された有機ＥＬ素子用スペーサの弾性回復率が５０％以上であることを特徴とする有機ＥＬ素子用感光性樹脂組成物（Ｑ）である。

【課題】再溶解性、微細パターンの実現能力に優れ、基板との密着力および分散安定性が改善されたアルカリ可溶性バインダー樹脂の提供。
【解決手段】不飽和二重結合を含んだモノマー、カルボン酸を含んだ不飽和二重結合性モノマー、およびアリル基を含む不飽和二重結合性モノマーを繰り返し単位として含み、分子量分布(Ｍｗ/Ｍｎ)が２.０〜３.５であることを特徴とするアルカリ可溶性バインダー樹脂およびこれを含むネガ型感光性樹脂組成物。

【課題】アルカリ現像性、露光感度、および解像度に優れ、その硬化物が、低温処理を採用した場合でも、基板との密着性および弾性回復特性に優れているカラーフィルター保護膜用感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】 親水性エポキシ樹脂（Ａ）、多官能（メタ）アクリレートモノマー（Ｂ）、エポキシ基および／またはアルコキシ基を２個以上を分子内に有するカチオン重合性化合物（Ｃ）、２個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物（Ｄ）、光ラジカル重合開始剤（Ｅ）、および酸発生剤（Ｆ）を含有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物で、光照射による硬化物を２００℃以下でポストベークさせて形成されたカラーフィルター保護膜の弾性回復率が５０％以上であることを特徴とするカラーフィルター保護膜用感光性樹脂組成物（Ｑ）である。

【課題】解像力が高く、ＬＷＲを低減でき、パターン形状に優れるパターン形成方法、化学増幅型レジスト組成物及びレジスト膜を提供する。
【解決手段】（ア）（Ａ）酸の作用により、極性が増大して有機溶剤を含む現像液に対する溶解性が減少する樹脂と、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、（Ｃ）溶剤とを含有する化学増幅型レジスト組成物によって膜を形成する工程、
（イ）該膜を露光する工程、及び
（ウ）有機溶剤を含む現像液を用いて現像する工程、
を含むパターン形成方法であって、
前記樹脂（Ａ）が、極性基が酸の作用により分解し脱離する脱離基で保護された構造を有し、
前記脱離基がケイ素原子を含有する、パターン形成方法。

【課題】感度、ＰＥＢ温度依存性及びラフネス特性に優れ且つ良好な形状のパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性組成物、並びに、これを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性組成物は、下記一般式（Ｂ−Ｉ）により表され、活性光線又は放射線の照射により分解して一般式ＨＢ_Ａにより表される化合物を発生する第１化合物を含有している。
【化１】

【課題】適正感度が高く、屈折率が低くかつ、現像後のパターンの欠けや残渣が少なく、高温高湿下での屈折率変化が小さく、耐候性に優れた性能を示すパターンを形成可能な感光性組成物、パターン形成材料、並びに、これを用いた感光性膜、パターン形成方法、パターン膜、低屈折率膜、光学デバイス、及び、固体撮像素子を提供する。
【解決手段】（Ａ）中空又は多孔質粒子と、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により活性種を発生する化合物と、下記の樹脂（Ｃ１）又は混合樹脂（Ｃ２）とを含有する感光性組成物、パターン形成材料、並びに、これを用いた感光性膜、パターン形成方法、パターン膜、低屈折率膜、光学デバイス、及び、固体撮像素子。
（Ｃ１）珪素原子又はフッ素原子を側鎖に含有し、前記活性種の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する樹脂
（Ｃ２）珪素原子又はフッ素原子を側鎖に含有する樹脂（Ｃ２−１）と、前記活性種の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する樹脂（Ｃ２−２）とを含有する混合樹脂

【課題】線幅感度が高く、直線性、および耐熱性に優れるポストベーク後の輝度低下が小さいパターンを形成しうる着色感光性樹脂組成物（好ましくは、カラーフィルタの着色画素などの形成に好適な紫外光レーザー露光用着色感光性樹脂組成物）、並びにそれを用いたパターン形成方法、およびカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、表示装置を提供する。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）分子内に少なくとも（B-1）下記一般式（Ｉ）で表される構造単位と、（B-2）酸性基を有する構造単位とを有するバインダー樹脂、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）オキシム系光重合開始剤、及び（Ｅ）溶剤を含有する着色感光性樹脂組成物。

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