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国際特許分類[G03F7/085]の内容

国際特許分類[G03F7/085]に分類される特許

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【課題】高透明性を実現しながら、耐熱黄変性と耐光黄変性に優れた硬化膜、及び硬化膜を与える感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】(a)下記一般式(1)で表されるシラノール化合物及び下記一般式(2)で表されるアルコキシシラン化合物、及び触媒を混合し、水を添加することなく重合させる方法で得られる、ポリオルガノシロキサン100質量部;(b)光重合性モノマー:水添ビスフェノールA構造を有する化合物10〜400質量部;及び(c)光重合開始剤1〜50質量部;を含む感光性樹脂組成物。


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【課題】低温キュア後に基板との接着性に優れる硬化膜を与えるネガ型感光性樹脂組成物、並びに硬化レリーフパターンの製造方法及び半導体装置の提供。
【解決手段】(A)特定構造のポリイミド前駆体:100質量部、(B)光重合開始剤:1〜20質量部、並びに(C)ヒドロキシル基、エーテル基及びエステル基からなる群より選ばれる官能基を1つ以上有する炭素数2〜30のモノカルボン酸化合物:0.01〜10質量部を含有するネガ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】感度、残膜率、保存安定性に優れた、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法であって、硬化させることにより耐熱性、密着性、透過率などに優れる硬化膜が得られる、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法を提供すること。
【解決手段】解離性基が解離することで、カルボキシル基を生じる特定のアクリル酸系構成単位とカルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、分子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物、及び、波長300nm以上の活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法。 (もっと読む)


【課題】極めて透明であり、低い誘電率(熱酸化ケイ素膜の誘電率より低いか、または、それと同等の誘電率)を有し、さらに、高い耐熱性(それに続く加工に十分耐える程度の耐熱性)を有する、30μmまたはそれより大きい厚さを有するフィルム形成に使用可能な樹脂組成物を提供する。
【解決手段】ノルボルネン系ポリマー、光酸発生剤および溶媒を含む、ネガ型の自己結像可能なフィルムを形成するためのポリマー組成物。 (もっと読む)


【課題】 非露光部の現像液による溶解性に優れるとともに露光部の現像液による膜の劣化が少なく、基材との密着性に優れたネガ型感光性樹脂組成物、及びそれを用いたポリイミド樹脂膜、プリント配線板を提供する。
【解決手段】 芳香族テトラカルボン酸二無水物を含むカルボン酸無水物成分と芳香族ジアミンを含むジアミン成分とを縮合重合したポリイミド前駆体樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、及び、密着向上剤を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、
前記密着向上剤が、チアジアゾール骨格又はトリアゾール骨格とチオール基とを有する化合物であることを特徴とする、ネガ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】その塗膜が熱圧着時の流動性に優れ、接着性および密着性の良好な硬化膜を形成することのできるポジ型感光性絶縁樹脂組成物の提供。
【解決手段】組成物は、一般式(1)による構造単位(a1)、特定のアクリル酸エステル系の構造単位(a2)およびフェノール性水酸基を有する構造単位(a3)を含有し、構造単位(a1)が1〜50質量%含有される重合体(A)と、キノンジアジド基を有する化合物(B)と、架橋剤(C)と、溶剤(D)とを含有するポジ型感光性絶縁樹脂組成物。ただし、式中、R1、R2はフェニレン基または−COO−、R3およびR4は各々独立にフェニル基、炭素数1〜6のアルキル基またはアルコキシ基、R5は炭素数1〜6のアルキル基、nは0〜3の整数、mは1〜10の整数である。
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【解決手段】(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂と、(B)フェノール性低分子化合物と、(C)キノンジアジド基を有する化合物と、(D)軟化点が50〜80℃かつエポキシ当量が211〜285g/eqであるエポキシ樹脂と、(E)架橋ポリマー粒子と、(F)密着助剤とを含有することを特徴とするポジ型感光性絶縁樹脂組成物、および該組成物を硬化してなる硬化物。
【効果】本発明に係るポジ型感光性絶縁樹脂組成物を用いると、解像性、絶縁性、熱衝撃性、密着性などに優れ、ポストベーク後の変形も少ない硬化物を形成することができる。したがって、これらの諸特性に優れた回路基板用の層間絶縁膜、平坦化膜などの硬化物、ならびにこのような硬化物を備えた回路基板などを提供することができる。 (もっと読む)


【課題】成膜した際の基板との密着性に優れ、高膜厚、高アスペクト比の微細な樹脂パターンを形成することが可能な感光性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物に密着増強剤としてジフェニルスルホン又はその誘導体を含有させる。ジフェニルスルホン誘導体としては、ジフェニルスルホンの1以上の水素原子がアミノ基、ニトロ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、フッ素原子、塩素原子、又は酸無水物で置換されたものが好ましい。その中でも、ジフェニルスルホンの3,3’位及び/又は4,4’位の水素原子がアミノ基、ニトロ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、フッ素原子、塩素原子、又は酸無水物で置換されたものが好ましい。 (もっと読む)


【課題】高感度で十分な現像性、ガラスへの密着性を有する感光性樹脂及び感光性樹脂組成物、ならびにその硬化物(特にカラーフィルターに有用である)を提供すること。
【解決手段】エポキシ樹脂(a)、エチレン性不飽和一塩基酸(b)、並びにイミダゾールシラン及び/又はアミノシラン(c)を反応させ得られた樹脂に、さらに多塩基酸無水物(d)を反応させて得られる感光性樹脂(A)、さらに該感光性樹脂(A)にラジカル重合性不飽和基およびエポキシ基を有する化合物(e)を含む感光性樹脂(B)、ならびに感光性樹脂(A)及び/又は(B)を含む感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】密着性の高い液晶パネル用スペーサを形成することができる感光性樹脂組成物、及び該感光性樹脂組成物から形成された液晶パネル用スペーサを提供する。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、(A)光重合性化合物、(B)光重合開始剤、及び(C)密着増強剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(C)成分は、窒素を含む基を有するシラン化合物であり、該窒素に結合している水素が1つ以下であることを特徴とするものであり、液晶パネル用スペーサの形成に好適に用いられる。 (もっと読む)


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