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国際特許分類[G03F7/09]の内容

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【課題】 電解粗面化処理、及び陽極酸化処理において、粗面化が不均一となったり、陽極酸化皮膜に欠陥が生じたりするのを効果的に抑制することができる平版印刷版用紙自体の製造方法を提供する。
【解決手段】
陽極酸化処理装置410により、酸性水溶液を濾過ライン438の濾過装置458で固形物を除去しながらアルミニウムウェブ12に陽極酸化皮膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】ケイ素元素を含むウェハとレジストとの密着性を高めることが可能な表面処理液及び表面処理方法を提供すること。
【解決手段】ウェハ表面にケイ素元素含有ウェハ用表面処理液を接触させて、該ウェハ表面を疎水化する、表面処理工程、前記ウェハ表面から前記処理液を除去する、処理液除去工程、前記ウェハ表面にレジストを成膜する、レジスト成膜工程を含み、表面処理工程において下記一般式[1]で表されるケイ素化合物と、酸と、希釈溶媒とを含むケイ素元素含有ウェハ用表面処理液を用いる。
SiX4−a [1]
[式[1]中、Rは、それぞれ互いに独立して、水素基、又は炭素数が1〜18の炭化水素基であり、該炭化水素基の水素原子はハロゲン原子で置換されていてもよい。Xは、それぞれ互いに独立して、ケイ素元素と結合する元素が窒素である1価の官能基であり、aは1〜3の整数である。] (もっと読む)


【課題】半導体素子のバンプ形成などに用いられる厚膜レジストパターンなどの製造に有用であり、当該レジストパターンが裾引きの発生が極めて抑制されたものである化学増幅型フォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】樹脂(A)、酸発生剤(B)及び
式(X)


(式(X)中、
Rは、水素原子、アルキル基、アリール基などを表す。
2つのR'は、水素原子、アルキル基、アリール基などを表すが、2つのR'が互いに結合し、これらが結合する炭素原子とともに環を形成する。)
で表される化合物(X)を含有する化学増幅型フォトレジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】支持フィルムの剥離性、支持フィルム剥離後の水溶性樹脂層安定性に優れ、レジストパターンのサイドウォールにガタツキがなく、レジストパターン表面の平坦性が良く、現像性に問題ない感光性エレメントの提供。
【解決手段】支持フィルムと、中間層と、感光性樹脂層とが順次積層された積層構造を有し、支持フィルムが、中間層が積層される面とは反対面側に、微粒子を含有する樹脂層を含む二軸配向ポリエステルフィルムであり、中間層が、水溶性樹脂層であることを特徴とする感光性エレメント。 (もっと読む)


【課題】フォトレジスト組成物上に適用される液浸リソグラフィ用トップコート層組成物の提供。
【解決手段】水性アルカリ可溶性であるマトリックスポリマーと、水性アルカリ可溶性であって、かつ、側鎖にフルオロアルキルスルホンアミド構造を有するα位に置換基を有してもよいアクリル酸エステルモノマーの重合単位を含む第1の追加のポリマーとを含み、第1の追加のポリマーがマトリックスポリマーよりも少ない量で組成物中に存在し、第1の追加のポリマーがマトリックスポリマーの表面エネルギーよりも低い表面エネルギーを有し、乾燥状態でのトップコート組成物の層が75〜85°の水後退接触角を有する、組成物。 (もっと読む)


【課題】密着性と解像度が優れ、レジストの微少な欠損が少なく、断面形状が矩形に近いレジストパターンを形成可能な感光性エレメント、並びに、これを用いたレジストパターンの形成及びプリント配線板の製造方法の提供。
【解決手段】支持フィルム10と、その上に形成された感光層20と、保護フィルムを備える感光性エレメント1であって、支持フィルムのヘーズが、0.01〜1.5%であり、かつ、該支持フィルムに含まれる直径5μm以上の粒子及び直径5μm以上の凝集物の総数が5個/mm以下であり、また、バインダーポリマーとエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する感光層の厚さT(μm)と365nmにおける吸光度Aとが、0.005≦A/T≦0.020で表される関係を満足し、更に、保護フィルムの酸素透過率が、5×10−2/m・日・MPa以下である感光性エレメント。 (もっと読む)


【課題】 印刷法での回路パターンの高精細化の限界、フォトリソグラフィー法での高コストおよび加熱処理工程の長さ、さらに高温焼成タイプの導電ペーストで用いる基板の制約を解決する金属微粒子含有光硬化性樹脂組成物を提供し、それを用いた電気配線回路の形成方法、およびその方法によって製造されるタッチパネル用基材、表示装置用基材、情報処理端末装置用基材等の電気配線回路形成板法の製造を容易にすることを目的とする。
【解決手段】 本発明によれば、平均粒径が5nm以上100nm未満の導電性を有する金属微粒子(a−1)を含む金属フィラー(A)と、活性エネルギー線照射で硬化する光硬化性樹脂組成物(B)とを含有組成物中の金属フィラー(A):光硬化性樹脂組成物(B)の重量比が80:20以上98:2未満の範囲であることを特徴とする金属微粒子含有光硬化性樹脂組成物を提供する。 (もっと読む)


【課題】感光樹脂組成物からなる感光層の支持体フィルムからの剥離性が十分に高く、欠陥のないレジストパターンを形成できる感光性フィルムを提供すること。
【解決手段】本発明の感光性フィルムは、少なくとも一方の面が離型処理された支持体フィルムと、フェノール樹脂、1,2−キノンジアジド化合物及びフッ素系界面活性剤を含有する感光性樹脂組成物からなる感光層と、保護フィルムとをこの順に積層してなり、感光層が支持体フィルムの離型処理面上に形成されている。 (もっと読む)


【課題】プラスチックフィルム支持体上に、親水性層、光重合性の感光層を少なくともこの順に有する感光性ネガ型平版印刷版であって、非画像部の耐汚れ性を低下させずに画像部の耐刷性を改善し、耐刷性及び耐地汚れ性共に充分な性能が得られる感光性ネガ型平版印刷版を提供する。
【解決手段】親水性層がカルボキシ基を有する水溶性高分子化合物、グリシジル基またはカルボジイミド基を有する架橋剤、及び下記一般式(1)で示される化合物を含有する感光性ネガ型平版印刷版。
【化1】


(式中Rは水素原子またはメチル基を表し、Lは二価の連結基を表し、Mはカチオンを表す。) (もっと読む)


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