物理学 (1,541,580) | 写真；映画；光波以外の波を使用する類似技術；電子写真；ホログラフイ (245,998) | フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造，例．印刷用，半導体装置の製造法用；そのための材料；そのための原稿；そのために特に適合した装置 (42,984) | フォトメカニカル法，例．フォトリソグラフ法，による凹凸化またはパターン化された表面，例．印刷表面，の製造；そのための材料，例．フォトレジストからなるもの；そのため特に適合した装置 (38,375) | 露光；そのための装置 (8,784)

焦点調節手段，例．自動焦点調節手段 (137)
同一表面の異なる位置を同一パターンで同時に露光するもの (9)
同一表面の異なる位置を同一パターンで逐次露光するもの (31)
カーブした表面への露光 (76)

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マスク保持装置

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