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国際特許分類[G03F7/26]の内容

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【課題】異物の混入が少なく、微細なパターンを形成することができるレジスト組成物又は液浸用上層膜形成用組成物の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のレジスト組成物又は液浸用上層膜形成用組成物の製造方法は、フィルター(11)を備える流路(1)と、流路(1)の後部側に設けられたノズル(3)と、を有する充填装置(A)を用い、レジスト組成物又は液浸用上層膜形成用組成物を容器(4)に充填するレジスト組成物又は液浸用上層膜形成用組成物の製造方法であって、レジスト組成物又は液浸用上層膜形成用組成物を流路(1)に通液してフィルター(11)でろ過する工程と、フィルター(11)の前後の差圧が0.3MPa以下で、ろ過後のレジスト組成物又は液浸用上層膜形成用組成物を、ノズル(3)から容器(4)に充填する工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】蒸着装置を改造することなく、金属膜形成工程における側壁付着部の形成を防ぐことができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板11上に4層のレジスト層を形成するレジスト形成工程において、第1の難溶化層15及び第2の難溶化層19が、第1のレジスト層13及び第2のレジスト層17に対してアルカリ難溶性の材料よりなり、露光後に複数のレジスト層を現像する現像工程において、第1の難溶化層15及び第2の難溶化層19が、第1のレジスト層13及び第2のレジスト層17に対して庇形状に現像される。このような構成によれば、金属膜形成工程において、第1の難溶化層15及び第2の難溶化層19の突出部15a,19aが、蒸着金属粒子の進路を遮り、第1のレジスト層13の側壁部13sへの金属膜の付着を防ぐことができる。 (もっと読む)


【課題】24℃で2週間放置してもエッジフュージョンが発生せず、輸送時の移動や30cmの高さからの落下においても巻きズレが生じることなく、60〜90℃において気泡が入ることなく1μm〜40μmの段差の埋め込みができる感光性フィルム等の提供。
【解決手段】支持体と、該支持体上に感光層を少なくとも有し、感光層が、架橋性基を有するバインダーを少なくとも含有する感光性組成物からなり、バインダーに架橋性基を導入するための触媒の残存量が200ppm以下であり、24℃における溶融粘度が1.0×10Pa・s〜1.0×10Pa・sであり、かつ60〜90℃における溶融粘度が1.0×10Pa・s〜5.0×10Pa・sであり、感光性フィルムをロール状に巻回してロール体とする際の巻き取りテンションが1.6kg/10cm以上であり、前記ロール体の両端面に端面押さえを有する感光性フィルムである。 (もっと読む)


【課題】パターン化された傾斜フォトレジスト層の新しい形成方法を提供する。
【解決手段】上面と底面を有する基板を提供するステップ、前記基板の上面にフォトレジスト層を形成するステップ、前記フォトレジスト層上に透明層を提供するステップ、前記透明層上に遮光層を提供するステップ、前記遮光層および前記透明層を通過して前記フォトレジスト層を露光する露光源を提供するステップ、及び前記フォトレジスト層を現像してパターン化されたフォトレジスト層を形成するステップを含み、前記パターン化されたフォトレジスト層と前記基板とが直角でない接触角を有するパターン化されたフォトレジスト層の形成方法である。 (もっと読む)


【課題】画像再現の均一性に優れ、他の平版印刷版材料を傷付けにくい平版印刷版材料を与える平版印刷版材料積層体の断裁方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム支持体上に画像形成層を有する平版印刷版材料1を該画像形成層を同方向にして複数枚積層した積層体の支持体側に第一保護部材4を、画像形成層側に第二保護部材5を有する平版印刷版材料積層体を、該第二保護部材5側から押し切り刃8を用いて断裁する平版印刷版材料積層体の断裁方法であって、該第一保護部材4の厚さ(T1)が400μm以下であり、該第一保護部材4の厚さ(T1)と該第二保護部材5の厚さ(T2)とが、T1/T2≦0.9である関係を満たすことを特徴とする。 (もっと読む)


本発明は、ミクロンまたはサブミクロンのキャビティのウォールを形成する方法に関連しており、透明な支持体(10、12、14)上にフォトリソグラフィーマスクを形成する段階と、前記マスクを支持する前記支持体の前面と呼ばれる面上に感光性材料の樹脂の層(18)を堆積する段階と、前記支持体の後面(10’)を通して前記感光性材料を露光する段階と、前記ウォールを得るために前記感光性材料を現像する段階と、を含んでいる。
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【課題】半導体製造に用いられるレジストパターンやフォトマスクの遮光膜パターンなどの微細パターンと下地基板との密着性の評価において、微細パターンにせん断などを生じさせずに定量的に密着性を測定する密着性評価方法、および評価装置を提供する。
【解決手段】原子間力顕微鏡のカンチレバーに設けられた探針を基板表面から離して走査し、前記基板表面に形成されたパターンの密着性を計測するパターンの密着性評価方法において、前記探針が、前記探針を前記カンチレバーに取り付ける基部と前記パターンと接触する先端部とで構成され、前記基部と先端部とは頸部を形成し、前記基部は、前記カンチレバーから前記頸部に向かう垂直方向において連続した傾斜面をなし、前記先端部は、前記パターンの側面と接触する側の最大幅が前記頸部の幅と同じか又は大きい形状を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】異物が少ないカラーフィルタを作製できる硬化性着色組成物及びその製造方法を提供する。
【解決手段】(A)顔料、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)光重合開始剤、(D)重合性化合物、及び(E)溶剤を含む硬化性着色組成物を製造する過程で、濾過を3回以上行うことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】現像欠陥発生度合を樹脂原料段階で評価可能な樹脂の評価方法、および、化学増幅型レジストとして好適に使用できる感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記に示す(1)〜(4)の手順による、感放射線性樹脂組成物における現像欠陥の発生度合を評価することを特徴とする評価方法である;
(1)基板上に被評価対象の感放射線性樹脂組成物の膜を形成する手順、
(2)前記膜を露光後焼成する手順、
(3)前記露光後焼成した膜を現像液に溶解し、所定濃度の現像液溶液とする手順、
(4)動的光散乱法により、前記現像液溶液中の流体力学的半径を測定する手順。 (もっと読む)


【課題】 熱架橋剤としてエポキシ化合物を含み、保存安定性に優れる感光性組成物等の提供。
【解決手段】 本発明の感光性組成物は、バインダーと、光重合開始剤と、不飽和二重結合を少なくとも1つ有する重合性化合物と、熱架橋剤と、を含み、イオン交換樹脂を用いてイオン交換処理が施されていることを特徴とする。前記光重合開始剤は、例えば、オキシム誘導体からなる。前記イオン交換樹脂は、例えば、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂を混合してなるイオン交換樹脂からなる。該イオン交換処理は、例えば、バッチ法により行う。 (もっと読む)


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