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国際特許分類[G03F7/36]の内容

国際特許分類[G03F7/36]に分類される特許

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【課題】ブロックコポリマーのミクロ相分離を利用したパターン形成方法において、ブロックコポリマーの配向を容易に制御でき、より短時間で微細なパターンを形成できる方法を提供する。
【解決手段】実施形態のパターン形成方法は、基板11上に熱架橋性分子を塗布し熱架橋性分子層12を形成する工程と、前記熱架橋性分子層12上に感光性ポリマーを塗布して感光性ポリマー層17を形成する工程と、前記熱架橋性分子層12と前記感光性ポリマー層17とを加熱による架橋反応により接着する工程と、前記感光性ポリマー層17を選択的に露光することにより、露光部および未露光部の感光性ポリマーパターンを形成する工程と、前記感光性ポリマー層17上に、第1および第2のブロック鎖を含むブロックコポリマー層14を形成し、前記ブロックコポリマー層をミクロ相分離させ、前記ポリマー層13の表面エネルギーに基づいて前記第1および第2のブロック鎖のパターンを形成する工程と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】PAG(光酸発生物質)二重層を用い、残留物が無くLERも僅かな犠牲ポリマー層、及び犠牲ポリマー層の分解方法と、これを使用して改良されたエアキャビティー、又はエアギャップを作製するための方法を提供する。
【解決手段】PAG二重層はその中に光酸発生物質を組込み、上部のPAG濃度は構造物の低部より高い。PAGが非存在の犠牲層15が基板10上に形成される。犠牲層が乾燥された後、PAG単層20が形成され、層15と層20はPAG二重層25を形成する。次いで二重層25の像様暴露(光線照射35)遮蔽物30を使用して行われる。暴露部分は熱分解法によって除去されて、基板上に残った非暴露部分40を残す。次いで保護被覆層50が構造体上に配置され、部分45の分解及び保護被覆50を通る分解生成物の浸透のために適当な温度に加熱した後、エアギャップ55が形成される。 (もっと読む)


【課題】赤外線アブレーション層のひび割れやシワの発生を抑えるとともに、その耐傷性を向上させたフレキソ印刷版原版を提供すること。
【解決手段】支持体12と、感光性樹脂層18と、赤外線アブレーション層20とがこの順で積層されており、赤外線アブレーション層20のバインダーポリマーは、(A)感光性樹脂層18のバインダーポリマーと同じ構造を有するポリマーと、(B)アクリル樹脂と、を含有し、かつ、(B)成分に対する(A)成分の質量比(A/B)が1/3〜3/1の範囲内にあり、さらに、感光性樹脂層18の上に積層されている状態における赤外線アブレーション層20の塑性硬さ(Ha)と、感光性樹脂層18の塑性硬さ(Hb)との差が30mN/mm以下に設定されている。 (もっと読む)


【課題】 ブロックコポリマーの自己組織化を利用し、低コストで周期パターンと非周期パターンを形成できるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 実施形態のパターン形成方法では、被加工膜上でブロックコポリマーを自己組織化させて第1のブロック相および第2のブロック相を含むパターンを形成する。また、第1の条件で露光と現像を行い第1の領域に存在するブロックコポリマー全体を除去し、第1の領域以外の領域に第1のブロック相および第2のブロック相を含むパターンを残存させる。また、第2の条件で露光と現像を行い第2の領域に存在する第1のブロック相を選択的に除去し、第1の領域以外の領域と第2の領域以外の領域との重なり領域に第1のブロック相および第2のブロック相を含むパターンを残存させる。また、重なり領域を除く第2の領域に第2のブロック相のパターンを残存させ、残存したパターンをマスクとして被加工膜をエッチングする。 (もっと読む)


【課題】長期にわたって連続して駆動できる電子放出素子を提供する。
【解決手段】この発明によれば、第1電極と、第1電極上に形成され、開口部を有する絶縁層と、前記絶縁層上に形成され、前記開口部を挟んで第1電極と対向するとともに、その一部が前記絶縁層と重なるように配置された第2電極と、第1及び第2電極と前記絶縁層との間に配置され、絶縁性微粒子及び導電性微粒子で構成された微粒子層と、を備え、第1電極と第2電極との間に電圧を印加し、第1電極から放出される電子を前記微粒子層で加速させて第2電極を透過するように構成したことを特徴とする電子放出素子が提供される。 (もっと読む)


【課題】彫刻時に発生する版上のカスを容易に除去可能であり、レリーフ印刷版への影響が小さいレリーフ印刷版製版用リンス液を用いたレリーフ印刷版の製版方法を提供すること。
【解決手段】非エラストマーのバインダーポリマー、可塑剤、及び光熱変換剤を含有するレリーフ形成層を支持体上に有するレリーフ印刷版原版を準備する工程、前記レリーフ印刷版原版を、レーザーを用いた露光により彫刻する工程、並びに、彫刻により発生した彫刻カスをレリーフ印刷版製版用リンス液で除去する工程、をこの順で有し、前記レリーフ印刷版製版用リンス液が、ノニオン界面活性剤を含有することを特徴とするレリーフ印刷版の製版方法。 (もっと読む)


【課題】特に剥離印刷法に使用すべく、レーザ照射により、高い解像度でもってエッジの形状をシャープに再現しながら、画線部に対応する撥水性の領域をパターン形成できる上、前記レーザ照射の際に基材がダメージを受けにくいため、被印刷体の表面に形成されるインキパターンのエッジ形状が乱れたりしにくい印刷用版を提供する。
【解決手段】印刷用版1は、基材2の表面3上に、親水性でかつレーザのエネルギを遮蔽する中間層4と、レーザ照射によって選択的に分解除去されて前記中間層4を露出させる撥水性の表面層5とをこの順に積層した。 (もっと読む)


【課題】彫刻時に発生する版上のカスを容易に除去可能であり、レリーフ印刷版への影響が小さいレリーフ印刷版製版用リンス液、及び、レリーフ印刷版の製版方法を提供すること。
【解決手段】式(1)で表される化合物及び/又は式(2)で表される化合物を含むことを特徴とするレリーフ印刷版製版用リンス液、及び、レリーフ印刷版の製版方法。R1〜R3及びR6〜R8はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、R4及びR9は、単結合、又は、二価の連結基を表し、A及びBはPO(OR5)O-、OPO(OR5)O-、O-、COO-、又は、SO3-を表し、R5は、水素原子、又は、一価の有機基を表し、R1〜R3のうち2つ以上の基が互いに結合し環を形成してもよく、R6〜R8のうち2つ以上の基が互いに結合し環を形成してもよい。
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【課題】1mm未満の版厚の樹脂凸版印刷版でも印刷時の耐刷力、耐圧力が大きく、画像形成性およびその再現性に優れた軽量な樹脂凸版印刷版およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の樹脂凸版印刷版17は、フィルムベース15上に層厚450μm〜780μmの感光性樹脂層を形成した感光性樹脂凸版の版材10を備え、版材10の表側に密着固定されたネガフィルム18を通して入射される紫外線のレリーフ露光と、版材10の裏側に密着されたポジフィルムを通して入射されるバック露光とにより、感光性樹脂層13にレリーフ像22とバック析出層23とを凝固させ、感光性樹脂層の非凝固部を水洗浄で除去して乾燥・後露光を行ない、版厚1mm未満の可撓性の樹脂凸版印刷版17が形成されたものである。 (もっと読む)


【課題】複合印刷版を製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明は、レリーフを形成することのできる単一前駆体とキャリアとから複合印刷版を製造する方法に関する。単一前駆体は、補強エラストマー層を有する単一感光性要素または単一レーザー彫刻可能な印刷要素とすることができる。単一前駆体は、キャリアのサイズの少なくとも70%のサイズを有する。単一前駆体は、前駆体を、位置合わせマーキングのないキャリア上に凡そ位置合わせすることによりキャリア上に配置される。単一前駆体の精密な位置合わせは、複合版上に位置合わせされた画像を形成するためにコンピュータから生成されたデジタル情報を用いて行われる。本方法は、特にレリーフ印刷用複合印刷版を製造するのに好適であり、特に波形基材のフレキソ印刷用複合印刷版を製造するのに好適である。 (もっと読む)


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