【課題】複数のアラーム情報に対するリカバリ動作を効率的に実行することが可能な基板処理装置等を提供する。
【解決手段】複数のモジュール２を備えた基板処理装置１において、検出部４１ａ〜４１ｄは、モジュール２に対してインターロックをかける要因を検出して検出信号を出力し、インターロック管理部４２は前記検出信号を受け取って、前記要因を検出したことの親アラーム情報を出力すると共に、受け持ち範囲のモジュール２に対してインターロック動作のための信号を出力する。モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃは前記検出信号に基づいてモジュール２に対してインターロック動作を行い、インターロックが作動したことを子アラーム情報として出力する。アラーム管理部４０は、親アラーム情報及び子アラーム情報との親子関係を判断し、親子関係にあるアラーム情報同士についてはグループ化された表示を行う。 （もっと読む）

【課題】物質収支や熱収支を容易に把握することができる運転状態監視装置を提供する。
【解決手段】流入量取得手段１１は、プラント設備の所定領域に流入する物質量または熱量を取得する。流出量取得手段１２は、前記所定領域から流出する物質量または熱量を取得する。算出手段１３は、前記流入量取得手段１１で取得された物質量と前記流出量取得手段１２で取得された物質量とのバランス、または前記流入量取得手段１１で取得された熱量と前記流出量取得手段１２で取得された熱量とのバランスを算出する。表示手段１４は、前記算出手段１３により算出された前記バランスを表示画面上にグラフィック表示する。 （もっと読む）

【課題】プラントのプロセス値を検出するセンサの相関関係をもとに、各センサの組合せを適切に設定可能なセンサのドリフト診断装置および診断方法を提供する。
【解決手段】複数のプロセス値からセンサの状態を診断するセンサ診断装置において、相関のあるセンサ組合せパターンを複数有し、プラント運転中のプロセス値を用いて前記センサ組合せパターンの相関値を計算し、前記相関値が最大のセンサ組合せパターンを用いてセンサのドリフト診断を実施する。 （もっと読む）

【課題】通常動作時に測定データをサーバに保存して一元管理する生産ラインにおいて、サーバが停止したときに、測定データを欠落させずに単独で測定を行うことができる測定装置を提供する。
【解決手段】サーバ１００と通信する測定装置２００であって、不揮発性の記憶領域２１０と、順次測定データを得る測定部２２０と、前記サーバ１００が前記測定データを保存可能な場合は、前記測定データを前記サーバ１００に向けて送信して保存させ、前記サーバ１００が前記測定データを保存不能な場合は、前記測定データを前記記憶領域に保存する保存制御部２３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】プロセスコントロールシステムのためのファイアウォールを提供する方法、機器、および製造の物品を提供する。
【解決手段】ネットワーク通信を分析して（ステップ７０２）、第１のサービス、ネットワークのセキュリティ保護された部分内の第１のサービスに関連するアドレス、および第１のサービスにより使用されるポートのサブセットを識別し、ネットワーク通信がネットワークのセキュリティ保護された部分内から発信しネットワークのセキュリティ保護された部分の外側の宛先へ送信し、ネットワーク通信が識別子、アドレス、およびポートのサブセットを含むとき、第１のサービスの識別子、アドレス、およびポートのサブセットを格納する。 （もっと読む）

【課題】コメント情報を利用する際の作業者の負担を軽減し、以て利便性の高い監視制御システム及び監視制御システムのコメント情報登録方法を提供する。
【解決手段】
条件式実行部２０８は、操作者の手を介さずに所定の時間間隔で定期的に条件定義ファイル５０２に記されている条件式が論理の真を示した場合には、操作者の手を介することなく自動で必要な画面キャプチャファイル３０１を作成する。一方、条件式実行部２０８は、操作者がコメント文を登録するアクションに呼応して、コメント文を登録すると、既に関係する監視制御画面の画面キャプチャファイル３０１が出来上がっており、その画面キャプチャファイル３０１との関連付けも完成されていることとなる。操作者は煩わしい画面キャプチャ作業と、画像ファイルとコメント文との関連付けを作成する作業から解放され、大変効率良くプラントの異常状態を記録する作業を遂行できる。 （もっと読む）

【課題】データの管理および検索を好適に行うデータ管理装置およびデータ管理方法を提供する。
【解決手段】時間情報を有するデータを格納するデータ保存部１３、２３、３３、４３と、データに関連する事象の名称と事象の時間情報とを含むタイトル情報を入力するタイトル情報入力部１４と、入力されたタイトル情報を格納するタイトル保存部１６と、タイトル保存部１６からタイトル情報を検索するための検索情報を入力する検索情報入力部１４と、検索情報に基づいてタイトル保存部１６からタイトル情報を検索する検索部１５と、検索部１５により検索されたタイトル情報の事象の時間情報に基づいて、データ保存部１３、２３、３３、４３から事象の時間情報に対応する時間情報を有するデータを抽出する抽出部１７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ＦＴ図の編集を容易に行えるようにする。
【解決手段】ＦＴ図作成支援装置１００は、ＦＴ図のツリー構造をマークアップ言語で記述する第１のデータを編集し、これによって第２のデータを生成する編集部２２と、前記第２のデータに基づき表計算ソフトのシート上に罫線と文字列とで前記ＦＴ図のツリー構造を表現し、これによって第３のデータを生成するエクスポート部２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の瞬断、瞬オンに対する自動車用電子機器の動作限界を定量的に調査する手段を提供する。
【解決手段】被試験機に印加する通常の電源電圧である＋Ｂおよび被試験機のメモリーホールドなどのための常時印加の電圧であるＡｃｃの瞬断について、様々なパターンを再現するために当該時間、電圧についてもプログラムを用いて少しつづ徐々に変化させて被試験機に印加し、これに基づく被試験機の応答を監視して別に定めた短い時間ごとに出力論理の正否を確認することにより、自動車用に最近多く用いられるデジタル機器独特のプログラムによる思いも寄らない誤動作の発生を確認でき、さらに誤動作発生時の誤動作モードをきちんと捕らえて適切な設計対応を取ることができる。 （もっと読む）

【課題】監視装置と１つまたは複数の機器監視コンポーネントの間の通信インターフェースを構成するシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】本機器監視コンポーネントは、監視されている機器と近傍にありながら、互いに物理的におよび／または電気的にインターフェースするように設計される。これらのコンポーネントは各々、近接して配置された一意の関連機械可読コードを有する。１セットの構成情報はまた、機械可読コードと関連付けられる。それらのコードは、監視装置および機器監視コンポーネントの間の通信の構成を自動化するために、走査され、構成情報にマップされる。 （もっと読む）