【課題】新たな高価な酸性ガス測定装置を導入する必要のないフィードバック形式において、出口の酸性ガス濃度のピーク発生が少ない安定した酸性ガス処理を行うと共にアルカリ剤の過剰添加を削減するための新たな制御方式による酸性ガス処理方法を提供すること。
【解決手段】本発明の酸性ガスの処理方法は、酸性ガスが含まれる燃焼排ガスにアルカリ剤を添加し、粉塵を集塵した後の酸性ガス濃度を測定する酸性ガス濃度測定機器の測定信号に基づいてアルカリ剤の添加量をフィードバック制御する酸性ガスの処理方法であって、少なくとも平均時間（例えば、後述する１時間等）に応じた平均添加量に１倍以下の係数（例えば、後述する８０％等）を乗じた基礎添加量を算出する工程と、算出した基礎添加量に基づいてアルカリ剤の添加量出力値をフィードバック演算により算出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】酸性ガス濃度測定信号に基づいてアルカリ剤の添加量を制御するフィードバック形式において、現状のフィードバック制御が抱える計測遅れによる酸性ガスの処理不良並びにアルカリ剤の過剰添加を削減する酸性ガスの処理方法を提供すること。
【解決手段】酸性ガスが含まれる燃焼排ガスにアルカリ剤を添加し、粉塵を集塵した後の酸性ガス濃度を測定するように設置された酸性ガス濃度測定機器の測定信号に基づいてアルカリ剤の添加量をフィードバック制御する酸性ガスの処理方法において、計測遅延時間がそれぞれ異なるＨＣｌ濃度測定機器（低速）１４及びＨＣｌ濃度測定機器（高速）１５により同一種の酸性ガス濃度を測定する工程と、複数の酸性ガス濃度測定機器の測定信号に基づいてアルカリ剤の添加量出力値をフィードバック演算により算出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】マルチ・チャンバ・ツールとの関係でオゾン濃度を制御する改良されたシステム及び方法を提供する。
【解決手段】オゾン発生器２０と組み合わされた第１及び第２の濃度コントローラ２５、３５を含む。第１の濃度コントローラ２５は、イベントを検出し、それに応答して、予測制御アルゴリズムに従いオゾン発生器２０に電力指示を提供する。第１の濃度コントローラ２５は、高速（すなわち、約１秒）の応答時間を有する。第２の濃度コントローラ３５は、イベントの間はオゾン発生器２０からマスクされているが、それ以外の場合には、イベントの発生からある時間間隔が経過した後で発生器２０を制御する。第２の濃度コントローラ３５は、第１の濃度コントローラ２５よりも低速の応答時間を有するが、システムに長期的な安定性を提供し、予測制御アルゴリズムに更新されたデータを提供するのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】半導体、液晶などの製造工程に使用される現像液などの薬剤を高濃度の原液を超純水などで希釈し、所望の濃度に調整するにあたり、不純物の混入を防ぐことができ、かつ設備がコンパクトな希釈装置を提供する。
【解決手段】薬剤及び希釈液が導入される希釈タンク１を備えている薬剤の希釈装置であって、希釈タンク１に、希釈タンク１内の液体を撹拌するための磁気浮上ポンプ２を設けるとともに、薬剤の濃度を測定する濃度計３を備え、薬剤の所望の濃度に基づいて、上記測定値を上記所望の濃度に近づけるように薬剤の量と希釈液の量を制御する。 （もっと読む）

【課題】粉体洗剤を用いた管路洗浄装置において、洗浄液の調製を容易にし、洗浄液の濃度を自動管理して洗浄液を調製し、そのシステム全体を円滑に機能させる装置及びその使用方法を提供する。
【解決手段】液体の混合、加工等の管路を持つプラントにおいて、管路の洗浄を行うために、粉体洗剤Ａからなる洗浄液を用いて管路内部を洗浄する場合、プラント本体から洗浄液製造過程の装置を分離して設置し、高濃度洗浄液を調整する過程と希釈洗浄液Ｃを調整する過程に分けることで、洗剤の均等拡散、濃度調整を容易にし、かつ、複数の粉体を容易に混合調製し、即時に連続的に使用可能となるよう導電率計５等のセンサーとコンピューター制御装置により、洗浄液の自動濃度管理装置を構成する。 （もっと読む）

化学溶液浴を所望の濃度で維持するブレンダーシステムを提供する。ブレンダーシステムは、少なくとも２つの化合物（例えば、アンモニアおよび過酸化水素）を受けて、ブレンドし、化合物の混合物を選択された濃度で含む溶液を、化学溶液浴の選択された体積を維持するタンク（２）に送達するように構成されたブレンダーユニット（１００）を含む。さらに、ブレンダーシステムは、化学溶液浴中で少なくとも１つの化合物を選択された濃度範囲内に維持するように構成されたコントローラー（１１０）を含む。コントローラーは、タンクに送達される溶液内で、化合物の濃度を選択された濃度範囲内に維持するようにブレンダーユニットの少なくとも１つの動作、および、化学浴内の化合物の濃度が目標範囲から外れる場合は、タンクに入る溶液およびタンクから出る溶液の流速の変更を制御する。 （もっと読む）

【課題】
公知技術では、凝集剤注入率を自動算出する際に、凝集沈殿処理の全ての影響要因を考慮していない。
【解決手段】
凝集剤を注入して原水の濁質を凝集沈殿池で凝集沈殿させる浄水プロセスのため、凝集剤の注入制御を行う凝集剤注入制御装置において、
ある時点の前記凝集沈殿池の処理水の濁度、ある時点より所定時刻遡った時点の前記原水の濁度、及びある時点より所定時刻遡った時点の凝集剤の凝集剤注入率の関係を指数式あるいは対数式で表した浄水プロセスの濁度除去係数を用いて凝集剤注入率を演算する凝集剤注入率演算手段と、
凝集剤注入率演算手段で演算された凝集剤注入率とある時点の原水の流量を乗算して凝集剤注入量を演算する凝集剤注入量演算手段と、
凝集剤注入量に基づいて凝集剤注入設備を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする凝集剤注入制御装置。 （もっと読む）