【課題】平面実装時に従来方式のように位置出しを必要とせず、流量制御装置を締結ボルトで取付けることにより、同時にかつ均一にシール接続を可能とし、殊に、構成部品が簡単であると共に流量制御機器の着脱作業が容易となり、もって、コンパクトな流量制御機器を提供すること。
【解決手段】流量制御機器３を平面実装方式で取付ける取付構造において、流量制御機器３のボデー１１に流体の入口１２と出口１３を設け、この入口１２と出口１３が位置する外側方のボデー１１両端部に平面実装用の締結ボルト１７を取付け、この締結ボルト１７で被取付体２０に流量制御機器３を固定した流量制御機器の取付構造である。 （もっと読む）

流量制御装置１０は、使用時に投入される流体の供給源に連絡する上流端１４と、供給ダクト２６と接続可能に連絡する下流端１６とを有するハウジング１２とを備える。流路１８は、前記ハウジング１２の前記上流端１４と前記下流端１６により規定される。バルブ装置２０は、前記流路１８を通る流体の流れを制御するために、前記流路１８に配置されている。流量制御部２１は前記バルブ装置２０と協働する。前記流量制御部２１は、前記バルブ装置２０の状態に関わらず、前記流路１８を通る流体の流れを促す。
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【課題】少ない刺激によって高速かつ高精度に微粒子を分別できる微粒子分別マイクロシステムおよび微粒子分別方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微粒子分別マイクロシステム１は、刺激感応物質としてのゾル-ゲル転移物質が添加された微粒子含溶液11が流れる微粒子含溶液流路３と、所定位置で当該微粒子含溶液流路３と合流するシース溶液12が流れるシース溶液流路４と、微粒子含溶液流路３とシース溶液流路４とが合流した合流流路９と、当該合流流路９に設けられた導入された微粒子10を計測するための微粒子計測部５と、合流流路９の下流に設けられ、分岐点６を介して分岐する微粒子10を分別するための微粒子回収流路７ａ及び微粒子廃棄流路７ｂとが、基板２上に設けられるとともに、当該微粒子廃棄流路７ｂ上に刺激付与手段としての赤外線照射装置８が設けられた構成を有する。 （もっと読む）

【課題】気流によって目的部位に輸送される粉末を所望濃度に保持しつつ、輸送される粉末の総量管理が容易な粉末濃度調節装置を提供する。
【解決手段】送気系統61及び濃度コントローラ59を備える。補給される粉末を輸送気体で吹飛ばす噴射ノズル52を噴射部51に設ける。吹飛ばされた粉が混じった含粉気流を一端から受入れ他端に出口53ａを有した調節筒53に、この筒内に希釈気体を混入させる希釈ノズル55,56と、含粉気流の粉末濃度を測定する濃度センサ54とを設ける。系統61は、気体源に接続された流量調節弁65、流量調節弁68を有して弁65とノズル52を接続した送気経路66、及び流量調節弁73を有して弁65とノズル55,56を接続した送気経路71を備える。コントローラ59は、輸送気体の流量と希釈気体の流量とを合計した総流量が一定に保持されるように弁65を制御し、センサ54の測定結果に基づき弁69,73を制御することで輸送気体の流量と希釈気体の流量との割合を調節して、粉末濃度を目標濃度とする。 （もっと読む）

【課題】面倒な校正、調整作業を行うことなく、各種の供給気体の質量流量制御を高精度で行うことのできる気体供給装置を提案すること。
【解決手段】気体供給装置１では、重量計測部１３によって材料の重量変化量ΔＷ、すなわち実際の材料消費量を測定し、これに基づき算出した実際の質量流量Ｑｍが目標質量流量Ｑｍｒｅｑに収束するように、流量制御部６に設定されている設定質量流量Ｑｍｓｅｔを補正している。材料の実際の消費重量に基づき、流量制御部６を適宜、校正することができる。校正、調整作業を定期的に行うことなく、また、取り扱う供給気体の種類、使用する流量制御部６の制御精度に左右されることなく、再現性良く、質量流量制御を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 １基の流量制御装置によってより広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図る。
【解決手段】 オリフィス上流側圧力Ｐ₁及び又はオリフィス下流側圧力Ｐ₂を用いて、オリフィス８を流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ₁（Ｋは比例定数）又はＱｃ＝ＫＰ₂^m（Ｐ₁−Ｐ₂）ⁿ（Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、前記各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させ、小流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ前記小流量域の流体を流通させ、また大流量域の流体の流量制御には他方のオリフィスへ前記大流量域の流体を切換え流通させる。 （もっと読む）

【課題】 所望の比率の流量で流体を分配することができるマイクロ流量分配コントロール装置を実現することにある。
【解決手段】 本発明は、入力側流路を流れる流体を、複数のマイクロ流路に分配するマイクロ流量分配コントロール装置に改良を加えたものである。本装置は、マイクロ流路に設けられ、流量を測定する流量センサと、この流量センサの上流側または下流側のマイクロ流路に設けられるバルブと、流量センサの測定結果によってバルブの調整を行う調整手段とを設けたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

コンテナ（１４）から製造プロセス（１３）へ液体（１２）を供給するためのシステム（１０）は、外側コンテナ（２２）と、液体（１２）で満たされたフレキシブルな内側コンテナ（２０）と、を備えている。流体流路（４０）は、内側コンテナ（２０）の内部と製造プロセス（１３）との間に、液体の流通状態を形成する。加圧流体源（３０）は、外側コンテナ（２２）の内壁と、内部コンテナ（２０）との間のスペース（３１）と流体流通状態にある。この加圧流体源（３０）は、流体流路（４０）を介して内部コンテナ（２０）から製造プロセス（１３）へ液体を押し出すために、外側コンテナ（２２）の内壁と内側コンテナ（２０）との間のスペース（３１）に、加圧された流体が流れ込むようにする。圧力センサ（４４）は、流体流路（４０）における圧力を検出するために配置される。圧力センサ（４１）に応答する制御部（５０）は、加圧流体源（３０）からの圧力を調整することにより、流体流路（４０）における圧力を制御する。
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【課題】 部品数の増加を抑えるとともに、より一層のコンパクト化が果たされた集積化流体制御装置を可能とする継手部材を提供する。
【解決手段】 センサ付き継手部材10は、隣り合う流体制御機器16,20の下端開口同士を接続するＶ字状通路41aが形成された通路ブロック41と、通路ブロック41の側面に設けられた圧力センサ42とを備えている。通路ブロック41には、Ｖ字状通路41aから分岐して圧力センサ42に通じる分岐通路41bが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 蒸発器に一定の供給速度で正確に液体除染剤を供給することができる液体除染剤供給システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の液体除染剤供給システム１は、中間容器３内の過酸化水素水の液面高さを測定する液レベル測定器５と、液レベル測定器５が測定した液面高さに基づいて、所定期間における液面高さ減少量を算出し、該減少量と中間容器３の横断面積Ｍと当該所定期間の時間長さとに基づいて当該所定期間における蒸発器４への供給質量速度Ａ’を算出する制御装置２０を備えている。さらに、この制御装置２０は、算出した供給質量速度Ａ’が、目標供給質量速度Ａに比べて小さい場合に、第二供給ポンプ１６のＤＣモータ回転数を目標供給質量速度Ａとなる修正回転数に変更する制御内容を具備している。 （もっと読む）