【解決手段】様々な流体システム及び流体動作の実施例は第１バルブを含んでおり、該第１バルブは、流体システムの一部と流体接続する流出口を有しており、第１バルブの流入口の正圧の印加に応答して、流体を流すように構成されている。実施例は、第２バルブを含んでおり、該第２バルブは、第１バルブの流入口と流体接続する流出口を有しており、第２バルブの流出口の負圧の印加に応答して、流体を流すように構成されている。実施例は、流入/流出ポートを含んでおり、該流入/流出ポートは、共通の補充/排出場所にて、第１バルブの流入口と、第２バルブの流出口と流体接続している。電磁バルブ、複数のチェックバルブアセンブリの構成、バルブアセンブリのモジュールが組み込まれたシステム及び方法も提供される。この要約書は、要約書を要求する規定を満たすために提供されるものであって、検索者又はその他の読者に、技術的な開示の主題を素早く確かめることを可能するものであることを強調する。要約書は、請求項の範囲又は意味を解釈し、又は制限するために使用されないことの理解の下で、提出される。 （もっと読む）

少なくとも１つの導入部、少なくとも１つの導出部、及び流路を有する第１のディスクと、流路を有さない第２のディスクとを備えるフローリストリクタであって、第１のディスク及び第２のディスクは互いに積み重ねられる。また、マスフローコントローラは、入力部、出力部、流路、圧力トランスデューサ及び上記フローリストリクタを備えている。
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【課題】 複雑なバルブ構造を用いることなく、マイクロシステムにおける流体の流れを簡便に制御する方法を提供する。
【解決手段】 マイクロシステムの微小流路を流れる流体に、刺激によりゾル−ゲル転移する物質を添加し、微小流路上の所望の箇所に刺激を与え、流体をゲル化させて流れを制御する。 （もっと読む）