【課題】弁体の作動安定性を向上しながらも、計量面の形状測定を可能とする弁体を備えた流量制御弁を提供する。
【解決手段】ＰＣＶバルブ４０は、ケース４２とバルブ体６０とスプリング６８とを備える。ケース４２のガス通路５０に形成された計量孔５３と、バルブ体６０の計量面６２とにより計量部６６が構成される。バルブ体６０の軸方向の移動により流量を制御する。バルブ体６０は、ガイド７０，８０を備える。前側のガイド７０は、計量面６２上に放射状に突出された複数のリブ部７２により構成される。後側のガイド８０は、バルブ体６０の後端部に鍔状に形成されかつ切欠部８４を有する鍔部６３により構成される。切欠部８４は、計量面６２の形状測定に際して基準となる基準面８４として形成される。 （もっと読む）

【課題】流体の温度の範囲や流体の種類の制限を受け難く、長期間に亘り安定的に作動する圧力補償型の流量制御弁を提供する。
【解決手段】流体入口２２及び流体出口２８を有するハウジング１４と、ハウジング内に往復動可能に配置されハウジングと共働してそれぞれ流体入口及び流体出口と連通する容積可変の第一の室３０及び第二の室３２を郭定する弁体２４と、弁体を第一の室の容積が減少する方向へ付勢する付勢手段としての圧縮コイルばね３６とを有する流量制御弁１０。弁体２４には第一及び第二の室を相互に連通接続する連通路３４が設けられており、弁体が圧縮コイルばねのばね力に抗して第一の室の容積を増大する方向へ移動すると、流体出口２８に接近し第二の室と流体出口との連通度合を低減し、これにより流量制御弁１０を通過する流体の流量が一定に維持される。 （もっと読む）

【課題】可変の流体圧力が作用したとき、流体の一定の流れを維持する。
【解決手段】可変流体圧力が加えられるときに、流体の一定の流れを維持する一定流れ調整器機構であって、流体が入ってくる入口管５０６と、ハウジング５００と、入口管に面し弾性力を受けた可動仕切り５０２とを備える。断面積が可変な流体通路５１０は、入口管と可動仕切りとの間に形成される。ハウジング及び可動仕切りは、内部コンパートメントの内側に入口管の流体圧力にほぼ等しい流体圧力を確立するため、入口管と流体が連通する内部コンパートメント５０４を形成する。可動仕切りのサイズは、使用において、流体通路断面積を減じるため入口管内の流体圧力が増加したとき、仕切りが弾性力に抗して入口管側へ移動するように、及びその逆にも動作し、それによって、一定の流体流れを維持するように、入口管のサイズよりも非常に大きい。 （もっと読む）

【課題】制御弁のスライド弁体の動作を安定させる流量制御弁を提供する。
【解決手段】
第１スライド部３と第２スライド部４を有する弁体２を弁軸方向に摺動可能に収納し、圧力流体源１０からの圧力流体を両スライド部間に供給する圧力流体供給路５と、弁体２の作動により圧力流体を制御しつつ出力する圧力流体出力路６を備え、圧力流体供給路５を第２スライド部４と弁箱１端間で形成される第２外方室Ｋ２に連通させる連通路、５Ｐを設けた制御弁である。これら各連通路に第２のオリフィスＯＦ２を介設したものである。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で特別な調整を必要とせず容易に定流量化が図れる流量調整装置を提供する。
【解決手段】流路３を流れる液体の流量を設定流量に調整する流量調整装置であり、流路３に設けられるベンチュリ管１を備えている。ベンチュリ管１を通過する液体が設定流量を超える場合、キャビテーションによる気泡の発生に伴う圧力損失によりその流量が抑えられて設定流量に略定流量化されるように、ベンチュリ管１のスロート部６の流路断面積が設定されている。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁において、制御上の有効ストローク幅をより大きくし、分解能をより高くするとともに、それに伴い、外乱等によるストロークの微小変動に対しての許容幅も大きくする。
【解決手段】流量制御弁１に、内部に入口側流路３及び出口側流路４を有する弁ボディ２と、この弁ボディ２の入口側流路３と出口側流路４との間に設けられ、前記入口側流路３に連通する横孔５ａを設けてなる筒状のスリーブ５と、このスリーブ５の内部を進退可能である球状の弁体６とを具備し、この弁体とスリーブの横孔との隙間を流体が通過する。 （もっと読む）

【課題】定流量制御装置を提供すること。
【解決手段】第１ハウジング３とダイアフラム４と該ダイアフラム４に一体的に取付けられた可動弁体５により形成される第１室６と、第２ハウジング９とダイアフラム４と可動弁体５により形成される第２室１０と、流体が通過することで第１室と第２室との間に圧力差を生じさせる絞り部１１と、第２室と下流側流体通路とを連通する通路に臨んで設けられ、可動弁体５に備えられたニードル弁１３に対応して設けられる弁座１４と、可動弁体をニードル弁と弁座が開弁する方向に所定の弾性力で付勢する主弾性部材１５と、を備えた流体の流量を所定流量に制御する定流量制御装置において、絞り部１１のオリフィスにはクリーニングピン２７が遊挿され、このクリーニングピンの軸方向の端部は、第１ハウジング３及び又は第２ハウジング９により、クリーニングピン２７はその軸方向の位置が規制されている。 （もっと読む）

流量制御装置は、筐体アセンブリ、流入管アセンブリ、およびバイアス機構を備える。筐体アセンブリは、主筐体、弁座本体、排出オリフィスを形成する先端側プレートを備える。流入管アセンブリは、基端部、内腔を形成するチューブ、およびフランジを備えるとともに、主筐体内にスライド可能に配置され、バイアス機構によって開状態へ付勢される。フランジは、筐体アセンブリ内の中間チャンバと定圧チャンバとを分離する。流入管アセンブリが定圧チャンバ内の圧力に応じて閉状態へ移動可能であることにより、排出オリフィスを経由して装置から比較的一定な空気の流れが生じる。
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【課題】チャンバーへ供給されるプロセスガス等の流体の供給量（総量）を補正することができる流量制御装置を提案する。
【解決手段】流路の弁機構３０より下流側に設置され、設置箇所において流れる流体の圧力値を検出すると共に、検出された圧力検出値を表す圧力検出信号を出力する圧力検出手段４０を有し、弁機構制御手段Ｐ５が、予め流体を流路に流して流量設定値と流量検出値とが一致するように弁機構３０を制御したときに、圧力検出手段４０が検出した圧力基準値の時間変化を示した、圧力基準値−時間テーブルがＲＯＭ１２からなる記憶手段に記憶されている。制御手段１０の弁機構補正制御手段Ｐ６は、圧力検出手段４０からの圧力検出信号を受けて、この圧力検出信号が表す圧力検出値と、圧力基準値−時間テーブルにおける圧力検出値の検出時に対応する時間の圧力基準値とに基づいて弁機構３０を補正制御する。 （もっと読む）

ガス流量調節器は、アクチュエータ、調整弁、および二次装置を含む。下流圧力フィードバックは、調整弁の出口の中に置かれるピトー管を介してアクチュエータおよび二次装置に提供される。ピトー管は、アクチュエータに接続され、アクチュエータ制御空洞およびダイヤフラムを出口の中の下流圧力と流体連通させ、アクチュエータ設定点圧力で出口圧力を維持する端部を有する第１の分枝を有する。また、ピトー管は、二次装置に接続され、二次装置の内部を出口の中の下流圧力と流体連通させ、出口圧力が所定の通常の運転圧力範囲から分岐するときに、前記下流圧力の変化に対応する第２の分枝も有する。
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