【課題】ステージを搭載する固定ベース表面に組み込んだマイクロヒータアレイで構成されるコンパクトなアクチュエータシステムで、ＸＹ方向、ヨー回転方向の３自由度に関する長ストローク駆動、およびＺ／ピッチ／ロール方向の微細駆動を実現することができるステージ機構およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】ステージ１に接触するベース２の表面近傍に、ベース２の表面の熱変形突出用の第一層目のヒータ３をＸＹ方向にアレイ状に複数配置し、更にベース２の表面から深いところに、第一層目のヒータ３の前後左右を挟み込むように第二層目のヒータ４をＸＹ方向にアレイ状に複数配置する。第二層目のヒータ４が、第一層目のヒータ３による熱変形突出部をＸＹ方向に移動することにより、熱変形突出部に接触するステージ１をＸＹθ方向に駆動する。 （もっと読む）

【課題】移動部材を予め定められた方向に精度よく移動させることが可能な直進駆動装置およびそれを備えた拡大観察装置を提供する。
【解決手段】ｘ方向駆動機構５１０の可動部５１７は、連結板５３を介してガイド部５３１上の摺動部材５４１，５４３に連結される。載置板５１は、ガイド部５３１上の摺動部材５４２およびガイド部５３２上の摺動部材５４４，５４５に固定され、ガイド部５３１上の摺動部材５４１，５４３に固定されない。摺動部材５４１〜５４５は、ガイド部５３１，５３２に沿ってｘ方向に摺動可能に設けられる。連結板５３の固定部５３ｃに設けられた突起部５３ｘが、載置板５１の下面に固定された金属板の貫通孔内に挿入される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸搬送機構の両端側に駆動力を作用させることができ、部品点数を少なくすることができるＸＹステージ機構を提供する。
【解決手段】移動テーブル２０を互いに直交する２方向に移動させるＸＹステージ機構であって、前記２方向のうち何れか一方の方向に沿って延在し、互いに平行に並べて設けた２つのラックギア３０と、２つのラックギアの間に前記２方向のうち他方の方向に沿って延在して設けられ、かつ外周面に移動テーブルと係合する螺子溝を形成した棒状の部材であって、自身の中心軸回りに回転する場合に、移動テーブルの前記他方の方向に沿って移動させる送り部材４０と、送り部材と平行に設けた棒状の部材であって、各々のラックギアと噛合うピニオンギア５２，５３を有して成り、自身の中心軸回りに回転する場合に、送り部材と一体的に前記一方の方向に沿って移動して移動テーブルを前記一方の方向に沿って移動させるガイド部材５０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】可及的に安価で、モータ制御が簡単なステージ移動装置を提供する。
【解決手段】ステージ移動装置１を、１個の正・逆回転可能なモータ１００と、互いに直角に交差して配置され、交差部分にステージ６００を保持するＸ軸方向キャリッジ４００Ｘ及びＸ軸方向キャリッジ４００Ｘと、モータ１００の回転力をＸ軸方向キャリッジ４００ＸをＸ軸方向に移動させる経路に伝達するか、Ｙ軸方向キャリッジ４００ＹをＹ軸方向に移動させる経路に伝達するかをステージ６００の移動目標に応じて切り替える動力伝達経路切替手段と、モータ１００の回転軸の回転運動をＸ軸方向キャリッジ４００Ｘの直線往復運動又はＹ軸方向キャリッジ４００Ｙの直線往復運動に変換する運動方向変換手段と、Ｘ軸方向キャリッジ案内手段及びＹ軸方向キャリッジ案内手段と、ステージ６００の移動目標に応じてモータ１００の回転方向及び回転角度を制御するモータ制御装置とで構成した。 （もっと読む）

【課題】直動２軸搬送ユニットにおいて、スライドガイドや送り機構等の複数の直動要素間の平行ずれを一括で吸収し、滑らかな動作を可能とする。
【解決手段】第１の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第１のレール及びそれに摺動可能に取り付けられた複数の第１のスライドブロックと、前記第１のレールと前記第１のスライドブロックを相対的に移動させる第１の送り機構と、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第２のレール及びそれに摺動可能に取り付けられた複数の第２のスライドブロックと、前記第２のレールと前記第２のスライドブロックを相対的に移動させる第２の送り機構と、前記第１の送り機構及び前記第２の送り機構に対して取り付けた振れ取り機構とを備え、前記第１の位置決め手段及び前記第２の位置決め手段の各直動要素間の平行ずれを一括で吸収する。 （もっと読む）

【課題】直動２軸搬送ユニットにおいて、スライドガイドや送り機構等の複数の直動要素間の平行ずれを一括で吸収し、滑らかな動作を可能とする。
【解決手段】第１の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第１のレールと、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第２のレールと、前記一対の第１のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第１のレール間を連結する第１の連結ユニットと、前記一対の第２のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第２のレール間を連結する第２の連結ユニットとからなる平行ずれ吸収機構を備え、各方向における直動要素間の平行ずれを一括で吸収する。 （もっと読む）

【課題】位置決め対象物を一台の駆動装置により互いに直交する二方向、例えば、水平方向と垂直方向とのそれぞれに移動させて位置決めすることができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】基台１１に設けられたレール１２の上にそれぞれ摺動可能に立設された第１のスライド部材２１と第２のスライド部材２２、但し、第１のスライド部材には、レールとの係合により第１のスライド部材を一時的に固定することのできる第１の仮固定機構３１が設けられており、また第２のスライド部材には、斜面２２ｃが設けられている；第１のスライド部材の側面２１ｂと第２のスライド部材の斜面２２ｃとにより摺動可能に係合支持された楔状の位置決め対象物支持部材２３、但し、対象物支持部材２３には、上記係合支持を一時的に固定することのできる第２の仮固定機構３２が設けられている；そして、第２のスライド部材のレール上での摺動を駆動する駆動部材４１を含む位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】従来のステージ装置では、ワークに対する処理精度を維持することが困難である。
【解決手段】ワークＷを支持するワークテーブル２５と、ワークテーブル２５の移動を案内する第１ガイド部８１と、第１ガイド部８１につなぎ合わされており、ワークテーブル２５の移動経路を延長する第２ガイド部８２と、つなぎ合わされた第１ガイド部８１と第２ガイド部８２との間の精度を監視する監視装置８７と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】信頼性を損なうことなく薄型化を達成可能なステージ装置を提案すること。
【解決手段】ＸＹステージ装置１は、板金製のベース板２の上にＸ軸方向にスライドする板金製のＸ軸ステージ板３が搭載され、この上にＹ軸方向にスライドするＹ軸ステージ板４が搭載された構造となっている。金属製の薄板材料を用いて精密板金加工により薄型のＸ軸ステージ板３、Ｙ軸ステージ板４を製造し、その周囲四辺の部分を裏面側および表面側に２回曲げることで、板金製のＸ軸ステージ板３、Ｙ軸ステージ板４に強度および精度をもたせるようにしている。信頼性を損なうことなく、板金製の部品を用いてＸＹステージ装置の薄型化を達成できる。 （もっと読む）

【課題】簡易な駆動手段にすることで操作性が良くコンパクトな構造が可能となるスライド操作式アリ溝摺動ステージを提供する。
【解決手段】スライド操作式アリ溝摺動ステージ１は、摺動方向（Ｘ）と略平行な固定部品３の側面壁に設けられ、固定部品３に連結する逆三角形の突出部１０をネジ６で当接して摺動部品２のアリ５に接触させ、ネジ６を締め込むことで摺動部品２の摺動を固定する摺動固定ネジ６を備え、摺動固定ネジ６は、前記突出部１０に当接して摺動部品２のアリ５に接触させたネジ６の回転量を調節することで固定部品３に対する摺動部品２の摺動の程度を微調整する摺動調節ネジ、及び、操作者が摺動部品２を所望の位置にスライド操作するために把持する駆動手段、として兼用される。 （もっと読む）