【課題】安定してＥＵＶ光を生成する。
【解決手段】チャンバ装置は、ＥＵＶ光の生成が内部の所定の領域で行われるチャンバと、前記チャンバ内に配置され、前記所定の領域で生成されたＥＵＶ光を集光する集光ミラーと、前記集光ミラーに付着したデブリのエッチングが可能なエッチングガスを供給する少なくとも１つのエッチングガス供給部と、を備えてもよい。前記集光ミラーは、該集光ミラーのミラー面の中央部から外れた領域で該集光ミラーを貫通するように開口する少なくとも１つの第１貫通孔を含んでもよい。前記集光ミラーは、前記少なくとも１つの第１貫通孔が前記オブスキュレーション領域に実質的に対応する領域内に位置するように前記チャンバ内に固定されてもよい。前記エッチングガス供給部は、前記第１貫通孔の少なくとも１つに配置されてもよい。 （もっと読む）

【課題】 周期構造を有するコア部とクラッド部からなるＸ線導波路において、Ｘ線伝搬効率の低下を抑制する。
【解決手段】 構造周期性を有する材料から構成されるコア部におけるＸ線の多重干渉を、コアの外側に設けたクラッド材との界面での全反射によって閉じ込めた構成のＸ線導波路において、コア部を内側にしてコア部とクラッド部を有する構成要素を対向させ、対向する構成要素の位置関係を制御する手段を有するＸ線導波路。 （もっと読む）

【課題】 空間的コヒーレンスの空間範囲の大きなＸ線を形成することができ、かつＸ線の導波特性を外部からの操作によって変調可能なＸ線導波路を提供する。
【解決手段】 周期性構造体から構成されるコアと、前記コアの外側に形成されたクラッドと、前記クラッドの少なくとも一部と前記コアとの間に設けられたギャップと、前記クラッドの少なくとも一部あるいは前記コアを駆動させることにより、前記ギャップの間隔を変化させる駆動手段とを有し、前記クラッドと前記ギャップとの界面におけるＸ線の全反射臨界角が、前記コアの構造周期に対応するブラッグ角よりも大きく、且つ前記コアの周期構造体を形成する屈折率実部の異なる複数の成分の界面における全反射臨界角が前記ブラッグ角よりも小さいＸ線導波路。 （もっと読む）

【課題】 空間的コヒーレンスの空間範囲の大きなＸ線を形成することができるＸ線導波路システムを提供する。
【解決手段】 入射Ｘ線を集光するＸ線集光光学素子と、前記Ｘ線集光光学素子によって集光された集光Ｘ線を導波させる、コアとクラッドからなるＸ線導波路とを具備するＸ線導波路システムであって、前記Ｘ線導波路のコアは、複数の屈折率実部の異なる物質からなる基本構造が周期的に配された周期性構造体であり、前記コアと前記クラッドとの界面における前記集光Ｘ線の全反射臨界角が、前記コアの周期に対応するブラッグ角以上であり、且つ前記Ｘ線導波路に入射する前記集光Ｘ線の集光角度が前記ブラッグ角の２倍よりも大きいＸ線導波路システム。 （もっと読む）

【課題】 入射Ｘ線を高効率で導波路へ結合することのできるＸ線導波路を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を導波させるクラッドとコアからなるＸ線導波路であって、コアがＸ線の導波方向に垂直な方向において屈折率実部の異なる複数の物質が周期的に配列された周期構造を有し、導波方向におけるコアの最大の長さをｌ、コアの最大の厚さをｔ、コアをなす周期構造のＸ線に対するブラッグ角をθ_Ｂ（°）としたときに、導波方向に平行でかつコアとクラッドの界面に垂直な方向を含む面内において、Ｘ線の導波方向におけるコア領域の少なくとも一つの端面が、コアとクラッドの界面に対してｔａｎ^−１（ｔ／ｌ）＜φ＜９０−θ_Ｂを満たす傾斜角度φ（°）をなして傾斜しているＸ線導波路。 （もっと読む）

【課題】 コアとクラッドの間に平坦化層を設けることにより、平坦化層とクラッドとの界面におけるＸ線の散乱による損失を低減して、高い伝搬効率で位相の揃ったＸ線を導波するＸ線導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】 コアとクラッドを有するＸ線導波路の製造方法であって、Ｘ線の導波方向に垂直な方向において屈折率実部が異なる複数の物質を含む周期構造を有するコアの表面に平坦化層を形成する工程と、前記平坦化層上に前記クラッドを形成する工程と、を有することを特徴とするＸ線導波路の製造方法。 （もっと読む）

【課題】小規模な装置で軟Ｘ線の直線偏光を円偏光に変換できるようにする。
【解決手段】軟Ｘ線の波長付近に内殻吸収端を持つ遷移金属から成る反射面１２を真空容器１４の内側に形成するとともに、軟Ｘ線が反射する反射面１２の位置において真空容器１４の長手方向に対して垂直方向の磁場を発生させる永久磁石１３を設け、真空容器１４に入射した直線偏光の軟Ｘ線を、磁場が与えられた位置の反射面１２において複数回反射させることにより、軟Ｘ線が反射面１２で反射するときに磁気円二色性の共鳴効果により磁気散乱が増強されるようにして、直線偏光を構成している左回り円偏光と右回り円偏光との間で屈折率に大きな差を生じさせ、左回り円偏光と右回り円偏光との位相差を一気に得ることにより、ほんの数回の反射によって軟Ｘ線の直線偏光を円偏光に変換できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 共鳴カップリングによってエックス線を入射するエックス線導波路において、エックス線の導入効率の高いエックス線導波路を提供する。
【解決手段】 共鳴カップリングによってエックス線を導入するエックス線導波路であって、コアとクラッドからなり、全反射により入射したエックス線を前記コアに閉じ込めてエックス線を導波するエックス線導波部位と、前記クラッドの表面で反射した反射エックス線を透過する反射エックス線透過領域と、前記透過した反射エックス線を反射して、再度クラッドの表面に反射エックス線を到達させるエックス線反射部位と、前記反射エックス線透過領域から直接外部へエックス線が出射するのを防止する反射エックス腺出射防止部位を有するエックス線導波路。 （もっと読む）