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国際特許分類[G21K3/00]の内容

物理学 (1,541,580) | 核物理;核工学 (13,075) | 他に分類されない粒子線または電磁放射線の取扱い技術;照射装置;ガンマ線またはX線顕微鏡 (3,185) | 放射線フィルター,例.X線フィルター (85)

国際特許分類[G21K3/00]に分類される特許

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【課題】入力面および出力面を有する多層光学デバイスを提供する。
【解決手段】光学デバイス10は、コアが第1の面および第2の面を備える、第1の実屈折率1−δ1および第1の吸収係数β1を有する高率材料層16、第2の実屈折率1−δ2および第2の吸収係数β2を有する低率材料層20、ならびに高率材料層16と低率材料層20の間に配設される段階ゾーン18を含み、段階ゾーン18が、1−δ1>1−δ3>1−δ2であるような、第3の実屈折率1−δ3および第3の吸収係数β3を有する段階層を備え、高率材料層16、段階ゾーン18および低率材料層20のうちの1つまたは複数の少なくとも一部が、第1の方向に沿って、1つまたは複数の起伏を備える。 (もっと読む)


【課題】エネルギーが低い方の荷電粒子線の透過率の低下を緩和することが可能なエネルギーデグレーダ及びそれを備えた荷電粒子線照射システムを提供すること。
【解決手段】エネルギーの減衰量が異なる複数の減衰部材11A〜11Gを備え、エネルギー減衰量が大きい方の低エネルギー側減衰部材11Gを、エネルギー減衰量が小さい方の高エネルギー側減衰部材11Aよりも透過率が高い材質から形成する。 (もっと読む)


【課題】 フィルタ後のエックス線の強度低下が小さく、目的とするエックス線のエネルギーよりも低エネルギー及び高エネルギーのエックス線を低減することが可能なエックス線フィルタを提供する。
【解決手段】 周期構造体膜から構成されるエックス線フィルタであって、前記周期構造体膜に一定の角度で入射されるエックス線を、前記周期構造体膜の全反射によって反射されるエネルギー領域Aと、前記周期構造体膜の構造周期に対応するブラッグ反射によって反射されるエネルギー領域Bと、前記エネルギー領域Aと前記エネルギー領域Bの間に位置する、エックス線を透過する透過エネルギー領域とに分け、前記入射されるエックス線の中から前記透過エネルギー領域を透過するエックス線を選択して得るエックス線フィルタ。 (もっと読む)


【課題】測定対象物へのX線の照射密度を高めた場合にも、バックグラウンドとなる蛍光X線に影響されることなく回折X線のピークを正確に判別することができるX線応力測定装置を提供する。
【解決手段】金属試料表面にX線を照射するX線照射手段と、金属試料表面から発せられる回折X線を検出するX線検出手段と、回折X線の波長変化から金属の応力を演算する演算手段とを備えたX線応力測定装置において、X線検出手段と金属試料表面との間にTiフィルタとCl化合物フィルタとを備えたことを特徴とする。なおTiとCl化合物とを含有するフィルタを用いてもよい。TiフィルタはFeの蛍光X線を低減させ、Cl化合物フィルタはTiの蛍光X線を低減させる。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、X線検査を安定させることができるX線検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係るX線検査装置100は、物品Bを搬送する検査テーブル711と、検査テーブル711で搬送される物品BにX線を照射するX線源200と、X線源200から照射されるX線を検査テーブル711を介して検出する第1の領域AR1と、X線源200から照射されるX線を検査テーブル711を介さずに検出する第2の領域AR2とを有するラインセンサ400と、検査テーブル711と同じ透過特性を有し、第2の領域AR2で検出されるX線の減衰を調整するX線減衰調整部410とを備える。 (もっと読む)


【課題】 装置を小型化し、かつ、被検知物によるX線の吸収効果を考慮した微分位相像または位相像を得ることが可能なX線撮像装置およびX線撮像方法を提供する。
【解決手段】 X線を空間的に分割させ、被検知物に透過させた際に生じるX線の位置変化量に応じて、X線の透過量が連続的に変化するような減衰素子を用いる。一方の減衰素子と、この一方の減衰素子とは透過量の増減量が異なるか、または、増減傾向が異なる他方の減衰素子とを用いて透過率を算出する。この透過率を用いて、被検知物の微分位相像等を演算する。 (もっと読む)


【課題】 X線の線質を均一にして、撮影視野の中心部と周辺部の画質を均一にするビーム形成X線フィルタを提供する。
【解決手段】ビーム形成X線フィルタ(21)は、被検体とX線を発生するX線管(20)との間に配置され、被検体を挟んでX線管に対向して配置されるX線検出器(23)のチャンネル方向のX線照射領域でX線強度分布を調整することができる。また、ビーム形成X線フィルタ(21)はX線を遮蔽する複数の遮蔽部とX線を透過する複数の透過部とをチャンネル方向に交互に有する。 (もっと読む)


【課題】ビームハードニングの発生を抑制しつつ、フラックスの空間的な強度分布を改善し、中央部と周辺強度のフラックスのエネルギー分布と線量を揃え、測定位置に起因する測定誤差を低減することを可能とするX線測定装置を実現する。
【解決手段】X線源から出射されるX線を試料に照射し、試料の透過線量をX線検出器で検出するX線測定装置において、
前記X線源より円錐状に出射されたX線を扇状に薄くスライスしたスライスビームX線にビーム変換するコリメータと、
このコリメータと前記試料の間に介在し、前記スライスビームX線のフラックスの一部を通過または遮蔽し、ビームハードニングを抑制すると共に前記フラックスの強度分布を調整するフラックス遮蔽板と、
を備える。 (もっと読む)


【課題】所望の放射の透過率を改善するスペクトル純度フィルタを提供する。
【解決手段】特に投影ビームとしてEUV放射を用いるリソグラフィ装置で用いるスペクトル純度フィルタは、基板に複数のアパーチャを含む。このアパーチャは、側面を有する壁により画定されている。側面は、基板の前面の法線に対して傾斜している。 (もっと読む)


【課題】改良されたまたは代替となるスペクトル純度フィルタまたはスペクトル純度フィルタ配置を提供する。
【解決手段】 スペクトル純度フィルタは、部材内を延在する複数のアパーチャを含む。アパーチャは、第1波長の放射を抑制し、かつ、第2波長の放射の少なくとも一部がアパーチャを透過できるように構成される。第2波長の放射は第1波長の放射より短い。アパーチャは、非平行放射ビームを構成する放射と実質的に位置合わせされるため部材内を様々な方向に延在する。 (もっと読む)


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