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国際特許分類[G21K5/02]の内容

国際特許分類[G21K5/02]に分類される特許

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【課題】本発明は、1個の電子源でマイクロ波増幅管と加速管の双方に電子ビームを供給できる高エネルギー電子ビーム発生装置及びX線装置を提供することを課題とする。
【解決手段】電子源、入力空洞及び出力空洞からなるマイクロ波増幅管と、マイクロ波増幅管の電子ビームの一部を加速管に供給するビーム制限用スリットと、単一あるいは複数の加速空洞からなる加速管を直列に配置するとともに、マイクロ波増幅管のマイクロ波出力を加速管に供給するマイクロ波導波管を備えたことを特徴とする高エネルギー電子ビーム発生装置及びX線装置である。 (もっと読む)


第1の立て柱と、前記第1の立て柱上に取り付けられた第1のコリメータ及び第2のコリメータと、取付ブラケットと、第1の探知器装置及び第2の探知器装置とを含む輻射イメージングシステム用アームフレーム構造、及び上記アームフレーム構造を設けた輻射イメージングシステム。第1のコリメータ及び第2のコリメータはそれらの間の1つの平面に関して対称的に設けられることにより、放射線源からの放射線ビームを2つの対称放射する第1の光束及び第2の光束に分ける。第1の探知器装置及び第2の探知器装置は前記平面に関して対称的に前記取付ブラケット上に設けられ、且つ第1のコリメータ及び第2のコリメータから離れることにより、それぞれ前記第1の光束及び第2の光束を受信する。
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本発明は、真空チャンバ(50)と、光波(56i)を入射させるための手段(56h)と、電界を受けたときに電界放出現象によって真空内で電子(52i)を放出することができる冷電子源(52)と、高電圧を供給する電源(55)と、電子衝撃の効果によりX線(53i)を放出できる材料(53j)を含む陽極(53)と、X線が出る際に通過する少なくとも1つの窓(54)と、前記光波を供給する少なくとも1つの光源(56)と、を備える放射線源であって、冷電子源はまた、少なくとも1つの導電表面(55)を有する少なくとも1つの基板(57)を備え、少なくとも1つの導電表面(55)と陽極(53)との間に高電圧が印加されることによって生じる電界を受け、前記冷電子源は、電流が照明によって略線形に制御される少なくとも1つの光導電素子(58)と、少なくとも1つの電子放出素子(59)とをさらに備え、前記光導電素子(58)は、少なくとも1つの放出素子(59)と導電表面(55)との間に直列に電気接続されて、光導電装置の中で光発生された電流が、それが関連付けられるエミッタまたはエミッタの集合によって放出される電流と等しくなり、放出されたX線の流れが、照明に略線形に依存することを特徴とする放射線源に関する。 (もっと読む)


【課題】電子加速器を用いたレーザーコンプトン散乱によって準単色の扇形X線ビームを簡単に発生する方法及び装置を実現する。
【解決手段】磁場の向きを高速で切り替えることが出来る偏向磁石7を用いて、電子軌道に上下又は左右の偏向を与えることで軌道変形を行い、この偏向を与えることで、偏向を与えた電子軌道における点の下流において、任意の位置にノードを形成し、この位置にレーザーを集光することでレーザーコンプトン散乱によって扇型レーザーコンプトンX線ビーム1を発生させるとともに、偏向磁石7の磁場の向きを切り替え又は変調し、電子軌道の角度のみを切り替え又は変調することにより、レーザーコンプトンX線の発生方向を切り替え又は変調可能とする。 (もっと読む)


【課題】電子放射効率が高く且つ長寿命な電子線源を得ることが可能な電子線源の製造方法を提供する。
【解決手段】タンタルを含む合金からなる線材59Pを、タングステンを含む合金からなる基材58Pに当該基材58Pが覆われるように巻き回し、複合構造体53Pを形成する。そして、複合構造体53Pの線材59Pに炭化処理を施すことで、基材58Pを給電部材58として形成すると共に線材59Pを電子放出部材59として形成する。従って、炭化タンタルを含む線材59Pを、基材58Pに巻き回すように設けることが可能となる。すなわち、高温耐性に優れたタングステンを含む基材58Pに、仕事関数の小さい炭化タンタルを含む線材59Pを安定して固定することができる。 (もっと読む)


【課題】より大きい線量の放射線を放射すること。
【解決手段】荷電粒子を加速する加速装置と、その荷電粒子が照射されることにより放射線を放射するターゲット52とを備えている。このとき、ターゲット52は、平坦でなく曲面であり、かつ、縁73が平面72上に配置される部分を含んでいる。このようなターゲット52は、平坦であるターゲットに比較して、その荷電粒子が照射される部分の面積が大きく、その部分の単位面積当たりの発熱を低減することができる。このとき、装置は、ターゲット52に照射する荷電粒子の線量を増加させることができ、放射する放射線の線量を増加させることができる。 (もっと読む)


【課題】放電電流の電流密度を高くして極端紫外光の発光強度および輝度を大きくし、か集光点化し、露光精度の向上を図る。
【解決手段】容器1内に極端紫外光を放射するための液体原料を供給する手段18と、エネルギービームを原料に照射して気化する手段3と、気化した原料を放電により加熱励起して高温プラズマを発生させるための所定距離離間して配置された一対の放電電極と、放電電極間にパルス電力を供給する手段17と、放電電極間における放電により生成された高温プラズマから放射される極端紫外光を集光する手段13と、集光された極端紫外光を取り出す取出部14とを有する極端紫外光光源装置において、一対の放電電極は、各々が回転軸7,9と直交しかつ該回転軸の周りを回転する円盤状の回転電極6,8を備え、回転軸7,9および回転電極6,8を貫通する仮想直線Aを中心として、一方の回転電極8が他方の回転電極6に対して回動変位している。 (もっと読む)


【課題】放電電流の電流密度を高くしてEUV光の発光強度および輝度を大きくし、かつ集光点化し、露光精度の向上を図る。
【解決手段】容器1内にEUV光を放射させるための液体等の原料を供給する手段18と、エネルギービームを原料に照射して気化する手段3と、気化した原料を放電により容器内で加熱励起して高温プラズマを発生させるための所定距離だけ離間した一対の放電電極6,9と、放電電極間にパルス電力を供給する手段17と、放電電極間における放電により生成された高温プラズマから放射されるEUV光を集光する手段14と、集光されたEUV光を取り出す取出部15とを有する極端紫外光光源装置において、一対の放電電極6,9は回転機構が接続されて回転する円盤状の放電電極であり、少なくとも一方の円盤状の放電電極の周縁部の他方の放電電極と対向する位置に、複数の突起7,10が形成されている。 (もっと読む)


【課題】スズを使用して極端紫外光を発生させる際に、スズ化合物を十分に除去すること。
【解決手段】内部が排気されたチェンバー(2)と、前記チェンバー(2)内に設定されたプラズマ生成領域(2b)に導入されたスズを加熱、励起してプラズマを発生させるプラズマ発生装置(6)と、前記スズのプラズマから放出される極端紫外光(9)が導出される極端紫外光導出部(11)と、前記スズのプラズマから発生するスズ酸化物が付着した付着部(10a)に対して真空紫外光(15a)を照射する真空紫外光源装置(15)と、を備え、前記真空紫外光(15a)により前記付着部(10a)に付着したスズ酸化物をスズに還元することを特徴とする極端紫外光源装置(1)。 (もっと読む)


【課題】第1のリーフブロック群および第2のリーフブロック群相互間の隙間形状を目標形状に正確に設定すること。
【解決手段】リーフブロック12は相手側のリーフブロック12から離間する離間方向および相手側のリーフブロック12に接近する接近方向のそれぞれに移動可能にされたものであり、リーフブロック12の円弧面14には着磁部21および着磁部22を交互に有する磁性層20が形成され、磁性層20にはMRセンサ23が非接触状態で対向配置されている。この構成の場合、複数のリーフブロックモータ19のそれぞれをMRセンサ23からの出力信号に基づいて駆動制御することで複数のリーフブロック12のそれぞれを非接触で目標位置に移動操作しているので、第1のリーフブロック群および第2のリーフブロック群相互間の隙間形状を目標形状に正確に設定することができる。 (もっと読む)


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