【課題】医療器具のような物品を、現在の方法に比べて高速に、完全に滅菌するのに使用できる装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線ビーム放射器１２はターゲット窓１６を有する真空チャンバ３０を備える。真空チャンバ３０内には、ターゲット窓１６に向けて電子を放射してＸ線を発生させる電子発生器３２が配置される。Ｘ線はＸ線ビームとなってターゲット窓１６を透過する。 （もっと読む）

本発明は、ガス放電光源用の電極デバイスに関しており、また、当該ガス放電光源を作動させる方法に関している。電極デバイスは、回転軸3の周りで回転可能な電極車輪1と、前記電極車輪1の回転の間、電極車輪1の外周表面18の少なくとも一部に適用される液体材料の膜の厚みを限定するために配置されたワイパー・ユニット11 と、を有する。ワイパー・ユニット11は、外周表面18とワイパー・ユニット11の拭き取り端19との間にギャップ17を形成するよう、及び回転の間、電極車輪1の側面から外周表面18への液体材料の移行を禁止又は少なくとも減じるよう、設計され、配置されている。提案された電極デバイスがあると、電極車輪1は、液滴の形成も無く、より高い回転速度で回転することができ、結果として、斯様な電極デバイスをもつガス放電光源のより高い出力パワー及びより高いパルス周波数を生じる。
（もっと読む）

本発明は、ガス放電光源のための電極素子１、２及び電極素子１、２の一方又は双方を持つガス放電光源に関する。電極素子１、２は、回転軸２２のまわりに回転方向に回転可能な電極ホイール７であって、２つの側面２５の間に外周面２４を持つ電極ホイール７を有する。電極ホイール７の外周面２４及び側面２５の一部をカバーする電極ホイールカバー８が備えられる。カバー８は、カバー８と、外周面２４及び側面２５の径方向外側部分との間に、円周方向に冷却チャネル１２を形成するように構成され、更に、カバー８と前記円周方向に冷却チャネル１２を延長した位置における外周面２４との間にギャップ２３を形成するように構成される。ギャップ２３は、冷却チャネル１２よりも小さな流れ断面を持ち、電極ホイール７の回転の間に、外周面２４に形成される液体物質の膜の厚さを制限する。ギャップ２３の代わりに、カバー８は、冷却チャネル１２を通って流れる該液体物質からの斯かる膜の形成を抑制するように構成されても良い。冷却チャネル１２は同時に、冷却チャネル１２を通って循環する該液体物質により、電極ホイール７の冷却を可能とする。カバー８の提案される設計により、電極ホイール７の効率的な冷却が実現され、斯かる電極素子を持つガス放電光源を動作させるための高い電力を可能とする。
（もっと読む）

【課題】構造物の狭隘部内又は狭隘部に連通した空間内にある検査対象物の正確な画像を得ることができる非破壊検査装置及び非破壊検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
構造物の狭隘部２１０に連通した空間内に移動自在に配置されて、その空間内にある検査対象物の一部に放射線を照射する放射線照射部（Ｘ線照射部１１）と、その空間内に移動自在に配置されて検査対象物の一部を撮像する放射線カメラ（Ｘ線カメラ２１）と、検査対象物の一部を撮像する際に放射線照射部と放射線カメラとが所定の距離を隔てて配置されるように制御し、且つ検査対象物の一部を撮像した後それら移動させて検査対象物の他の一部を撮像するように制御する制御部３０と、検査対象物の一部の画像のそれぞれを組み合わせて検査対象物全体の画像を得る画像合成部４０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】挿入光源の永久磁石列に接触する電子ビームのハロー部の強度を高い応答速度で高感度に検出することができる電子ビーム検出器を備えた挿入光源装置を提供する。
【解決手段】本発明の挿入光源装置は、ギャップ空間を介して対向配置された一対の永久磁石列を備え前記永久磁石列間に挿入された電子ビームに蛇行運動させることによってシンクロトロン光を発生させる挿入光源と、前記電子ビームの強度を検出する電子ビーム検出器を備え、前記電子ビーム検出器は、半導体板と、前記半導体板を挟んで配置され且つ前記電子ビームの入射側から見て互いに重なる重なり部分を有する第１及び第２電極を備え、前記重なり部分は、前記永久磁石列の前記ギャップ空間側の面を含む平面の近傍に配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ装置やミラー、レンズ等の光学素子の過大なコスト増を抑制しながら、Ｘ線輝度の増大（すなわちＸ線出力の増大）を図ることのできる高輝度Ｘ線発生装置および方法を提供する。
【解決手段】電子ビームとパルスレーザ光とを衝突させて逆コンプトン散乱によりＸ線を発生させる高輝度Ｘ線発生装置。それぞれパルスレーザ光３ａ，３ｂを所定の周期で出射する複数のパルスレーザ装置３２Ａ，３２Ｂと、複数のパルスレーザ光の光路を一致させる光路整合装置３４と、パルスレーザ装置と光路整合装置のタイミングを制御するタイミング制御装置４０とを備え、複数のパルスレーザ光を同一の光路からタイミングをずらして出射する。 （もっと読む）

【課題】電子ビームとレーザ光の正面衝突が実現でき、かつ衝突点におけるレーザ光のプロファイルを運転中に計測することができ、これにより、衝突確率が高くＸ線の発生出力を高めることができ、かつ衝突点で発生したＸ線をレーザ光の導入方向から効率よく取出すことができるＸ線発生装置用のレーザ導入兼Ｘ線取出機構を提供する。
【解決手段】レーザ光３を電子ビーム１との衝突点２ａに向けて反射するレーザ導入ミラー３２と、レーザ導入ミラーを気密に囲みかつ電子ビームの通過するビームチャンバ１ａと連通するレーザチャンバ３４と、ビームチャンバとレーザチャンバとの間を気密に開閉可能な真空バルブ３６と、衝突点で発生しレーザ導入ミラーを透過したＸ線をレーザチャンバから取出すＸ線取出し窓３８と、レーザ導入ミラーを透過したレーザ光３ａのプロファイルを運転中に計測するプロファイル検出装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光集光鏡において、金属または金属化合物に起因するデブリで汚染された部位にクリーニング手段を効率よく作用させてデブリを除去すること。
【解決手段】パルスパワー電源１５から第１電極１１と第２電極１２の間に電力を供給し、放電部１に高温のプラズマＰを発生させる。これによりＥＵＶ光が放出される。このＥＵＶ光は、集光鏡２を介してＥＵＶ光取出部７から放出される。また、それと同時に放電部１からスズなどを含むデブリも放出され、一部が集光鏡２に到達し反射面に付着する。集光鏡２の光射出側にはクリーニングガス供給ユニット５、ラジカル発生部６が設置され、集光鏡２の非反射面２ｂは、絶縁性の物質で被覆されている。このため、水素ラジカルが非反射面２ｂ等に触れたとしても失活することがなく、集光鏡に付着堆積したスズ等を含むデブリと反応することができ、クリーニングを効率よく行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】電子または電子ビームの発生タイミングが揺らぐ場合でも、電子ビームとレーザ光の実衝突点を予定衝突点またはその近傍に精度よく位置決めすることができ、これにより、Ｘ線の発生出力を高め、かつＸ線の仮想焦点の変動を防止して、これを用いて撮像した像の解像度を高めることができる電子ビームとレーザ光の衝突タイミング調整装置および方法を提供する。
【解決手段】電子ビーム１の通過時からそれが予定衝突点９ａに到達するまでのビーム遅延時間ｔ_Ｂが、レーザ光３の発生指令からそれが予定衝突点９ａに到達するまでのレーザ遅延時間ｔ_Ｌよりも、所定の遅延時間Δｔ以上に長くなるように、電子ビームの通過経路上に電子ビーム検出装置３４を設ける。この装置３４により、電子ビームに影響を与えることなくその通過を検出し、その検出後、所定の遅延時間Δｔ（＝ｔ_Ｂ―ｔ_Ｌ）の経過後に、レーザ光指令遅延回路３６からレーザ光の発生指令を出力する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管とＸ線センサの位置関係を確認し、この位置関係によりＸ線発生装置を制御する。
【解決手段】Ｓ１０１で静止画撮影を実施する。曝射されたＸ線がＸ線センサに照射され、電気信号に変換されデジタルデータとして取り込まれる。Ｓ１０２で静止画撮影結果から照射野認識を行い、Ｓ１０３で位置判定を行い、Ｓ１０２で抽出したＸ線照射領域ＴがＸ線センサ内に納まっているかを判定する。領域Ｔが全てＸ線センサ内に納まっていればＳ１０４で連続撮影が許可され、Ｓ１０５で連続撮影を開始する。領域ＴがＸ線センサの外にはみ出していれば初期状態に戻る。
Ｓ１０６で照射野認識を実行し、続いてＳ１０７で位置判定を行う。領域Ｔが全てＸ線センサ内に納まっていればＳ１０８に、領域ＴがＸ線センサの外にはみ出していればＳ１０９で停止処理を行う。Ｓ１０８でＸ線透視撮影中の判断をし、透視撮影が継続中であればＳ１０６に、透視撮影が終了していれば撮影を終了する。 （もっと読む）