【課題】溶液中の生物試料の高分解能Ｘ線顕微鏡観察を可能とする技術の提供。
【解決手段】試料液１５中の観察試料１６は第１のＸ線透過膜１４ａの裏面に吸着等されて保持される。鏡体内では、圧力差によってＸ線放射膜１３およびＸ線透過膜１４ａ、１４ｂは外側に向かって凸となるように湾曲するが、Ｘ線透過膜１４ｃは、第２の空洞部１１ｂ内のガスの膨張により、Ｘ線透過膜１４ａ側に凸に湾曲する。この湾曲により、第１と第２のＸ線透過膜１４ａ、１４ｂの中央部での間隔は端部間隔に比較して広がることとなるが、Ｘ線顕微鏡観察で主要な視野領域でのＸ線光路長は、Ｘ線透過膜１４ｂ、１４ｃ間において長くなるものの、Ｘ線透過膜１４ａ、１４ｃ間においては殆ど変化がない。従って、鏡体内部でＸ線放射膜およびＸ線透過膜が湾曲しても、Ｘ線光路長が長くなるのはＸ線吸収が生じないガス部１１ｂにおいてであり、試料液１５によるＸ線の吸収は抑制される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線蛍光（ＸＲＦ）分光計により、タンパク質の特徴を測定し、生体認証解析に利用できるセキュリティシステムを含む装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線蛍光（ＸＲＦ）分光計は、タンパク質と小分子の結合現象を検出し、化学物質と受容体の間の結合選択性を測定するために使用される。ＸＲＦは、セキュリティシステムへの利用の他、タンパク質の純度を測定し化学物質の治療指数を推測するために、化学物質対化学物質類縁体の結合選択性を推測し、タンパク質の翻訳後修飾を測定するために、及び薬物の製造のためにも使用することができる。 （もっと読む）

【課題】ナノメートルオーダーの超微細な構造の顕微鏡観察を行うことができるようにする。
【解決手段】光源としてコヒーレントな軟Ｘ線を用い、軟Ｘ線の進路上に光学レンズは一切用いず、反射ミラー１１〜１３やハーフミラー１５等の反射光学系を用いて軟Ｘ線の進路を形成するとともに、軟Ｘ線の波面収差を除去する波面補償手段としてデフォーマブルミラー１４を備えることにより、反射光学系によって形成された進路上を超短波の軟Ｘ線が途中で吸収されることなく伝播し、ＣＣＤ検出器１７に対して試料２００の像を結像させることができるようにするとともに、デフォーマブルミラー１４により軟Ｘ線の波面収差を除去して、短波長の限界にせまる集光性を実現して空間分解能を上げることができるようにする。 （もっと読む）

【課題】生物試料のＸ線顕微鏡観察に好適なＸ線顕微鏡像観察用試料支持部材を提供すること。
【解決手段】試料支持部材（１０）は、窒化シリコン膜、カーボン膜、ポリイミド膜などの試料支持膜（１１）と、この試料支持膜の一方主面に設けられ荷電粒子の照射を受けて軟Ｘ線領域の特性Ｘ線を放射するＸ線放射膜（１３）と、試料支持膜（１１）の他方主面に設けられた金属膜であって吸着により観察対象試料（１）を固定する試料吸着膜（１２）とを備えている。生物試料の構成物質であるタンパク質は金属イオンに吸着し易い性質があるため、試料吸着膜（１２）を試料支持部膜（１１）の主面の一方に形成してこれに観察試料を吸着させるようにする。このような試料支持部材（１０）を用いれば、生物試料を含む溶液を試料吸着膜（１２）の上に滴下したり試料支持部材（１０）を収容したセル内に注入したりするだけで、観察試料を固定することが可能となる。 （もっと読む）

フレネルゾーンプレート（１３）の製造方法であって、中心軸（１ａ、４ａ、７ａ）に関して回転対称である基材（１、４、７）を利用可能にするステップと、前記基材（１、４、７）を回転させずに該基材（１、４、７）の面（１ｂ〜ｃ；４ｂ〜ｃ；７ｂ〜ｃ）へと原子層堆積（ＡＬＤ）法によって層（２ａ〜ｄ；５ａ〜ｄ；８ａ〜ｄ；１１）を順に堆積し、コート済みの基材を形成するステップと、前記コート済みの基材（１、４、７）を前記中心軸（１ａ、４ａ、７ａ）に対して直角に少なくとも１回分割することによって、該コート済みの基材（１、４、７）から少なくとも１つのスライス（１３）を分断するステップ（３ａ、ｂ；６ａ、ｂ；９ａ、ｂ）とを含んでいる方法。
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【課題】荷電粒子線を高い効率で「水の窓」領域を含む０．６〜６ｎｍの波長領域の軟Ｘ線に変換すること及び荷電粒子線の試料内での拡散範囲を狭く抑えて試料へのダメージを抑制すること。
【解決手段】
本発明の試料支持部材（１１）は、窒化シリコン膜またはカーボン膜の試料支持膜（１１ａ）の一方主面に、電子線照射により０．６〜６．０ｎｍの波長領域の特性Ｘ線を放射する金属膜（１１ｂ）が設けられている。これは、電子線の照射を受けた金属膜（１１ｂ）から軟Ｘ領域の特性Ｘ線を高効率（高強度）で放射させるためであり、このような高強度の特性Ｘ線を試料（１０）に照射させることにより、観察画像のＳＮ比を向上させることができる。また、金属膜（１１ｂ）には、試料支持膜（１１ａ）内での電子の拡散範囲を抑制するという効果もあるため、入射電子線の加速電圧を高めることが可能となり、ＳＮ比の向上のみならず分解能の向上にも効果がある。 （もっと読む）

【課題】高い空間分解能と高い時間分解能と簡便なモニタリングとを兼ね備えた走査型リアルタイム顕微システムを実現する。
【解決手段】走査型リアルタイム顕微システム１０ａは、Ｘ線ビームを照射する光源３と、光源３から照射されたＸ線ビームを集光するゾーンプレート１と、Ｘ線ビームを集光するゾーンプレート１を動かす駆動機構２とを備え、駆動機構２は、ゾーンプレート１に入射するＸ線ビームの進行方向に垂直な方向の周りにゾーンプレート１を回動させる。 （もっと読む）

【課題】生体物質や有機物質などの極めて脆弱な試料に対してもダメージを与えることなく、その形態や３次元構造を、簡便且つ高分解能に観察し得る手法を提供すること。
【解決手段】
本発明では、例えば直径１ｎｍ程度に収束させた電子線を、観察試料を支持する観察試料支持部材に比較的低加速電圧で入射させて該観察試料支持部材からＸ線を発生させ、電子線入射側とは反対側に配置された検出器によりＸ線を検知する。そして、電子線の入射位置を観察試料支持部材上で走査させてＸ線画像を形成する。上述の手法で検知されるＸ線は、概ね、観察試料支持部材内での入射電子の拡散範囲内の領域から放出されることとなり、当該入射電子の拡散範囲を数ｎｍ程度に制御すれば、得られる走査型Ｘ線顕微鏡像の分解能は、従来の手法の理論的限界とされていた１０ｎｍ以下とすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】マイクロリトグラフィーのための物体の検査を可能にし、短い全長を有する反射型顕微鏡を提供する。
【解決手段】物体平面内での物体を検査する反射型Ｘ線顕微鏡であって、物体は、波長＜１００ｎｍ、特に、＜３０ｎｍの光線で照明され、像平面に拡大して結像され、第１鏡と第２鏡とを含み、物体平面から像平面までの光路内に配置される第１副系とを備える。反射型Ｘ線顕微鏡が光路内で第１副系に後置されて少なくとも第３鏡を有する第２副系を含むことにより特徴付けられる。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線の検出効率を高めるために、Ｘ線を発生するターゲットから試料までの距離、試料から蛍光Ｘ線の検出器の検出素子までの距離を可能な限り小さくすると共に、蛍光Ｘ線の取り出し角を可能な限り大きくした蛍光Ｘ線分析機能付き高分解能Ｘ線顕微装置を提供する。
【解決手段】対物レンズによって電子線をＸ線発生用のターゲットに集束させ、ターゲットから発生したＸ線を試料に照射することによって試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、検出器の検出結果から蛍光Ｘ線を分析する分析部とを具備した蛍光Ｘ線分析機能付き高分解能Ｘ線顕微装置において、検出器の全部又は一部を対物レンズの磁気回路内に組み込む。 （もっと読む）