【課題】プログラム機能を有する静電型ＭＥＭＳアクチュエータを実現する。
【解決手段】本発明の例に係るプログラマブルアクチュエータは、第１駆動電極３Ａを含む可動部１と、第１駆動電極３Ａに対向し、第１及び第２部分５ａ，５ｂから構成される第２駆動電極３Ｂと、第２駆動電極３Ｂの第１部分５ａと第１駆動電極３Ａとの間に第１電位差を発生させることにより両電極を電気的に接触させない状態で可動部１を複数回動作可能にする第１駆動回路６ａと、第２駆動電極３Ｂの第２部分５ｂと第１駆動電極３Ａとの間に第２電位差を発生させることにより両電極を電気的に接触させた状態で可動部１を固定可能にする第２駆動回路６ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】 従来の方法に比べ格段に大容量で、かつ、プリント基板またはＬＳＩパッケージを作製した後に容量を容易に変更できる容量可変型コンデンサを提供する。
【解決手段】 プリント基板に実装される集積回路の電源電極と接地電極との間に配設されるバイパスコンデンサであり、電源電極に電気的に接続される第１の電極と接地電極に電気的に接続される第２の電極との間に誘電体を形成したコンデンサ素子を複数設け、コンデンサ素子間にスイッチング素子を設ける。 （もっと読む）