【課題】導電性流体用の流体注入口から導電性流体が流出することを抑制できる接点開閉装置を提供することにある。
【解決手段】接点開閉装置１は、半導体基板３及び絶縁基板６を用いて形成され、導電性流体Ｌ１が流動自在に収納されるとともに一対の接点７ａ，８ａが露設される流体収納室２ｄ、及び該流体収納室２ｄに導電性流体Ｌ１を注入する流体注入口３ｆを有する本体部２と、流体収納室２ｄ内に収納された導電性流体Ｌ１を流動させ、一対の接点７ａ，８ａ間の導通状態を切り換えるアクチュエータ９とを備え、流体収納室２ｄにおいて流体注入口３ｆと連通する部位である第１チャンネル２ｂは、流体注入口３ｆの開口の大きさ以上の大きさに形成され、流体注入口３ｆの内面には、流体流入口３ｆの内面よりも導電性流体Ｌ１に対する濡れ性が良好な金属材料製の薄膜からなる流出防止部４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で常開接点、常閉接点およびトランスファ接点として使用可能な接点開閉装置を提供する。
【解決手段】シリコン基板１に設けた注入用孔２０ａからはチャンバ２２とチャンネル２３の一部に導電性流体６ａが、注入用孔２０ｂからはチャンネル２４の一部とチャンネル２５の一部にかけて導電性流体６ｂが注入され、導電性流体６ａ，６ｂ間には非導電性流体５が、チャンネル２４の残部には圧縮性流体１９が配置される。チャンネル２３には、圧電アクチュエータ８の非動作時は非導電性流体５と導電性流体６ａとの界面３９ａよりもチャンネル２５側であって、動作時は界面３９ａよりもチャンバ２２側となる位置に接点３２ａ，３２ｂが配置される。チャンネル２５には、非動作時は非導電性流体５と導電性流体６ｂとの界面３９ｂよりもチャンネル２４側であって、動作時は界面３９ｂよりもチャンネル２３側となる位置に接点３４ａ，３４ｂが配置される。 （もっと読む）