【課題】平均粒径が０．３μｍ以下の粒子状で分散してなるトリウムタングステン（Ｔｈ−Ｗ）合金、Ｔｈ−Ｗ線、及び耐変形性が改善されたコイル、並びに電子管用陰極構体の提供。
【解決手段】Ｗマトリクス中にＴｈ及び／又はＴｈ化合物が粒子状で分散してなるＴｈ−Ｗ合金であって、前記Ｔｈ及び／又は化合物の含有量が０．５〜２重量％でありかつこのＴｈ及び／又はＴｈ化合物粒子の平均粒径が０．３μｍ以下である、Ｔｈ−Ｗ合金、
上記Ｔｈ−Ｗ合金よりなる、Ｔｈ−Ｗ線、
上記のＴｈ−Ｗ線よりなるコイル、及び
一対の支持部材間に加熱線条が支持されてなる電子管用陰極構体であって、前記加熱線条が上記Ｔｈ−Ｗ線よりなる、電子管用陰極構体。 （もっと読む）

【課題】寿命を短縮することなく輝度の向上が可能な電子銃用のエミッタ使用方法を提供する。
【解決手段】電子銃用のエミッタ使用方法において、エミッタ１４は、結晶質の金属六硼化物を用いて構成され、形状が円柱体の先端側を円錐台に形成して端面２が平面であるとともに、円錐台端面２が（３１０）結晶面であるように構成されており、そのエミッタを１×１０^−５Ｐａ以下の真空圧力で動作させるようにする。エミッタは、１６５０Ｋ〜１９００Ｋの動作温度で動作させることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】六ホウ化ランタンなどの希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバを耐熱金属支持針に接合して熱陰極電子放出源として使用しようとすると、高温使用過程で生じる、希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバと耐熱金属支持針との接合面における高温化学反応により損傷・劣化を起こして、耐久性・長期間使用可能性の面で問題を引き起こす恐れがある。
【解決手段】少なくとも耐熱金属支持針の希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバとの接合箇所が当該ナノファイバに対して高温でも化学反応しない耐熱材料よりなる熱陰極電子放出源を構成することにより、上記問題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 同軸構造の熱陰極の内部導体の温度上昇を抑制して、内部導体の寿命ひいては熱陰極の寿命を長くする。
【解決手段】 この熱陰極１０は、中空の外部導体２と、その内側に同軸状に配置されている中空の内部導体１と、両導体１、２の先端部を電気的に接続する接続導体３とを備えている。加熱電流Ｉ_H は、接続導体３を通して折り返されて、外部導体２と内部導体１とで互いに逆向きに流される。 （もっと読む）

【目的】従来の熱電子放射陰極に於ける陰極チップ把持部での経時的反応消耗を抑えることで、信頼性が高く長時間に渡り極めて安定な電子ビーム特性を維持し、電子顕微鏡や電子ビーム露光装置用として利用効果の大きい熱電子放射陰極を提供する。
【構成】希土類六硼化物からなる陰極チップと、前記陰極チップを把持し加熱するための炭素質材料からなるヒーターとを有する熱電子放射陰極であって、高融点金属薄板からなるコ字形の支持片が前記陰極チップ基部の相対する側面に沿うように反応障壁層を介して焼結固着され、かつ前記支持片の相対する面を介して、前記陰極が前記ヒーターによって把持されていることを特徴とする熱電子放射源。 （もっと読む）

【課題】電子放出部材の通電性を向上すると共に、電子放出部材における電子放出面の面積を増加する。
【解決手段】カソード５３は、タングステンで形成された給電部材５８と、タンタルで形成された線材である電子放出部材５９と、を備えている。また、隣接する電子放出部材５９の外周面が互いに接触するように、電子放出部材５９が給電部材５８に巻き回されている。よって、電子放出部材５９では、巻回方向に沿って電流が流れるだけでなく、巻き進む方向に沿っても電流が流れるため、電子放出部材５９の通電性が向上される。さらに、巻き回された電子放出部材５９において露出する外周面Ｓ２が電子放出面として機能することから、電子放出部材５９が線材であるため、電子放出面Ｓ２が凹凸の連続するような波状曲面となり、電子放出面Ｓ２の面積が増加される。 （もっと読む）

【課題】熱陰極からの放熱を減らすことにより、集積化および大面積化を可能とするとともに、消費電力を少なくでき、さらに、通電後の高速応答を可能とすることにより、待機電力を不要とし消費電力を少なくできる熱電子源を提供する。
【解決手段】基板２と、基板２上に設けられ、表面に複数の微細な穴６を有する導電性の熱陰極３とを備え、熱陰極３からの放熱を減らし集積化および大面積化を可能とするとともに、通電後の高速応答を可能とすることにより、消費電力を少なくした。 （もっと読む）

【課題】ＳＣＡＬＰＥＬおよび同様な投影電子リソグラフシステムで使用される、従来の結合品の欠点を、単結晶カソードと部材を含む結合品により、熱および／または構造体のサポートを与え、その結果、単結晶カソードの結晶構造は、カソードを部材に結合した後も維持されるようにする。
【解決手段】単結晶カソードと、単結晶カソードに接合される部材を有する接合品において、単結晶カソードの単結晶構造は、接合後も保持されている。 （もっと読む）

熱電子陰極（１００）は、２つの電極（１０４、１０６）の間に取付けられた個々のカーボンナノチューブ（１０２）を含む。電極（１０４、１０６）は各々、支柱（１１０、１１２）および炭素繊維（１１４、１１６）を含む。ナノチューブ（１０２）の長さよりも狭い隙間（１１８）が２つの炭素繊維の間に設けられ、カーボンナノチューブ（１０２）がその隙間を埋める。これにより、極めて効率的な熱電子陰極（１００）がもたらされる。
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