電子ビーム殺菌デバイスは、電子発生フィラメント（１１０）と、電圧源に接続されたグリッド（１１４ａ、ｂ）と、ビーム成形器（１２８）と、出力窓（１１８）とを備える。高電圧源が、電子の加速用に電子発生フィラメントと出力窓との間に高電圧を発生させる。本デバイスの利便性は、電子発生フィラメント及び／又はグリッドが、出力電子ビームの電流及び形状の変更用の少なくとも二つの動作部分を備えることによって高められている。
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【課題】 容易に製造することができ、かつ解像度の高い冷陰極電子源およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の冷陰極電子源３０は、導電膜５および導電膜６に印加された電圧によってＣＮＴ膜４から電子を放出する冷陰極電子源であって、絶縁膜２と、絶縁膜２上に形成された導電膜５と、導電膜５上に形成された導電膜６と、導電膜５と導電膜６との間に形成された絶縁膜７とを備えている。絶縁膜２および導電膜５の各々には孔２ａ，５ａの各々が開口しており、導電膜６には孔２ａ，５ａに繋がる孔１２が開口している。さらに、孔２ａ，５ａの底部に形成されたＣＮＴ膜４を備えている。絶縁膜７から離れるに従って孔１２の口径が減少している。 （もっと読む）