【課題】使用周波数帯域内で安定したＶＳＷＲ特性を得るとともに、各部品の寸法精度を維持する。
【解決手段】本発明のピルボックス真空窓は、円板状セラミック１、メタライズ層２、金属部品３、および金属部品４からなる。円板状セラミック１は、ピルボックス真空窓の中心に配置され、外周部分にメタライズ層２が形成される。金属部品３は、円板状セラミック１の外径と略同一の内径を備える大径円筒部３ａと、大径円筒部３ａよりも小さな内径を備え、大径円筒部３ａと結合してその結合部分に段差部３ｃを形成する小径円筒部３ｂとを含む。この段差部３ｃに円板状セラミック１が載置される。金属部品４は、円板状セラミック１の外径と略同一の外径を備える円筒部４ａを含む。この円筒部４ａが、金属部品３の段差部３ｃに円板状セラミック１が載置されている状態で、円板状セラミック１の段差部３ｃに嵌合する。 （もっと読む）